一种包套焊接方法技术

本发明专利技术涉及靶材组件焊接技术领域，具体公开了一种包套焊接方法。本发明专利技术提供的包套焊接方法，定位夹具用于固定环形套、上盖和下盖，避免在焊接时环形套、上盖和下盖发生位移，保证焊接的连贯性；在焊接过程中，焊接速度和送丝速度不变，保证焊缝均匀性好，且焊接的焊缝规则、致密性好，提高了包套焊接的密封性和包套焊接的质量；本发明专利技术的包套焊接方法代替了人工手动焊接，降低了人工劳动强度，且能保证包套焊接质量的一致性，提高了包套的良品率，降低了靶材和背板焊接的不良率。了靶材和背板焊接的不良率。了靶材和背板焊接的不良率。

【技术实现步骤摘要】
一种包套焊接方法


[0001]本专利技术涉及靶材组件焊接
，尤其涉及一种包套焊接方法。

技术介绍

[0002]靶材组件由具有溅射性能的靶材和背板组成，金属溅射靶材组件在溅射机台中被带正电荷的离子冲击，使靶材表面的金属以分子或原子的形式脱离并在阳极表面沉积。其中，靶材一般为高纯的铝、铜、钛、镍或钽等贵金属材料，背板一般为与其适配的合金材料，一般包括铝合金和铜合金等。在磁场和电场的作用下进行溅射时，背板可以为金属靶材的溅射起到支持和冷却的作用，还可以降低原料的成本。
[0003]在实际应用中，靶材和背板需要经过加工和焊接成型，才能进行后续的溅射应用。因此，靶材和背板通常需要较高的焊接结合强度和焊接结合率，若靶材和背板之间焊接效果较差，所得靶材组件在溅射过程中容易发生变形、开裂或从背板上脱落，严重影响了溅射靶材的使用性能，甚至可能从溅射机台上脱落引起设备损坏。目前靶材和背板的焊接方法包括热等静压扩散焊接、钎焊或电子束焊，其中，热等静压扩散焊接是目前常用的焊接方法。此方法需要将靶材和背板放入真空包套后送入焊接设备，采用热等静压工艺进行扩散焊接，焊接完成后进行冷却并拆掉包套，取出靶材组件。其中，热等静压焊接用包套是热等静压焊接的重要工具，其稳固性好，不会在高温下对靶材组件造成污染。
[0004]现有技术中的包套是由环形套和密封环形套两端的上盖板和下盖板组成的筒状结构，上盖板和下盖板通过焊接的方式与环形套连接。目前焊接上盖板和下盖板是通过人工手动焊接实现的，在手动焊接时会出现焊缝不均匀、焊缝不连贯、焊缝不规则和焊缝不致密等问题，进而会导致包套漏气，如果在热等静压焊接过程中包套出现漏气，会导致靶材和背板焊接失败。
[0005]因此，亟需提供一种包套焊接方法以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种包套焊接方法，代替人工手动焊接，提高了包套焊接的质量，提高了包套的密封性能。
[0007]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0008]一种包套焊接方法，用于焊接上盖和下盖于环形套的两端，包括：
[0009]固定所述环形套的第一端于定位夹具上，将所述上盖放置于所述环形套的第二端上；
[0010]控制所述定位夹具移动以调整所述环形套和所述上盖相对焊枪的位置；
[0011]根据所述环形套的直径确定焊接速度和焊丝的送丝速度；
[0012]控制所述定位夹具转动以驱动所述环形套和所述上盖转动，且控制焊枪焊接所述上盖于所述环形套上；
[0013]翻转所述环形套，固定所述环形套的第二端于所述定位夹具上；
[0014]将靶材和背板放置于所述环形套内，且将所述下盖放置于所述环形套的第一端上；
[0015]控制所述定位夹具转动以驱动所述环形套和所述下盖转动，且控制所述焊枪焊接所述下盖于所述环形套上。
[0016]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，在固定所述环形套的第一端于定位夹具上，将所述上盖放置于所述环形套的第二端上之前还包括：
[0017]清洁所述上盖、所述下盖和所述环形套。
[0018]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，所述定位夹具转动的速度为所述焊接速度，所述焊枪相对所述定位夹具静止。
[0019]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，在焊接时，所述定位夹具转动的角度为360
°‑
370
°
。
[0020]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，所述焊接速度为200mm/min
‑
500mm/min。
[0021]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，所述焊丝的送丝速度为0mm/min
‑
1000mm/min，所述焊丝的送丝速度与所述焊接速度匹配。
[0022]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，所述焊枪的焊接电流根据所述环形套、所述上盖和所述下盖的材质可调节。
[0023]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，所述焊枪的焊接电流为100A
‑
200A。
[0024]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，在控制所述定位夹具转动以驱动所述环形套和所述下盖转动，且控制所述焊枪焊接所述下盖于所述环形套上之后还包括：
[0025]通过设置于所述下盖上的脱气管抽出所述环形套内的空气；
[0026]密封所述脱气管。
[0027]作为上述的包套焊接方法的一种可选技术方案，所述密封所述脱气管包括：
[0028]切割所述脱气管；
[0029]焊接所述脱气管与所述下盖连通的孔。
[0030]本专利技术的有益效果：
[0031]本专利技术提供的包套焊接方法，定位夹具用于固定环形套、上盖和下盖，避免在焊接时环形套、上盖和下盖发生位移，保证焊接的连贯性；在焊接过程中，焊接速度和送丝速度不变，保证焊缝均匀性好，且焊接的焊缝规则、致密性好，提高了包套焊接的密封性和包套焊接的质量；本专利技术的包套焊接方法代替了人工手动焊接，降低了人工劳动强度，且能保证包套焊接质量的一致性，提高了包套的良品率，降低了靶材和背板焊接的不良率。
附图说明
[0032]图1是本专利技术实施例提供的包套的结构示意图；
[0033]图2是本专利技术实施例提供的包套焊接方法的主要步骤流程图；
[0034]图3是本专利技术实施例提供的包套焊接方法的详细步骤流程图。
[0035]图中：
[0036]1、环形套；2、上盖；3、下盖；4、脱气管。
具体实施方式
[0037]为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0038]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0039]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0040]如图1和图2所示，本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种包套焊接方法，用于焊接上盖(2)和下盖(3)于环形套(1)的两端，其特征在于，包括：固定所述环形套(1)的第一端于定位夹具上，将所述上盖(2)放置于所述环形套(1)的第二端上；控制所述定位夹具移动以调整所述环形套(1)和所述上盖(2)相对焊枪的位置；根据所述环形套(1)的直径确定焊接速度和焊丝的送丝速度；控制所述定位夹具转动以驱动所述环形套(1)和所述上盖(2)转动，且控制焊枪焊接所述上盖(2)于所述环形套(1)上；翻转所述环形套(1)，固定所述环形套(1)的第二端于所述定位夹具上；将靶材和背板放置于所述环形套(1)内，且将所述下盖(3)放置于所述环形套(1)的第一端上；控制所述定位夹具转动以驱动所述环形套(1)和所述下盖(3)转动，且控制所述焊枪焊接所述下盖(3)于所述环形套(1)上。2.根据权利要求1所述的包套焊接方法，其特征在于，在固定所述环形套(1)的第一端于定位夹具上，将所述上盖(2)放置于所述环形套(1)的第二端上之前还包括：清洁所述上盖(2)、所述下盖(3)和所述环形套(1)。3.根据权利要求1所述的包套焊接方法，其特征在于，所述定位夹具转动的速度为所述焊接速度，所述焊枪相对所述定位夹具静止。4.根据权利要求3所述的包套焊接方法，其特征在于，在焊接时，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，韩浙栋，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：