本发明专利技术涉及一种用于Bar条切割装置的三轴平台，从上往下依次包括平台底板、Y轴底板、旋转轴底板、旋转电机定子和旋转电机动子；旋转电机动子上沿着Y轴正方向的一侧安装有定位块一，旋转电机动子上沿着X轴正方向的一侧安装有定位块二，旋转电机动子沿着X轴负方向一侧的旋转电机定子上、沿着Y轴负方向一侧的旋转电机定子上均安装有定位卡扣组件。本发明专利技术通过设置有定位卡扣组件，可钢环进行定位处理，且定位卡扣组件包含用于对8寸钢环卡扣的8寸卡块和用于对6寸钢环卡扣的6寸卡块的结构，使得可兼容6寸钢环和8寸钢环。可兼容6寸钢环和8寸钢环。可兼容6寸钢环和8寸钢环。
【技术实现步骤摘要】
用于Bar条切割装置的三轴平台
[0001]本专利技术涉及Bar条加工相关
，尤其涉及一种用于Bar条切割装置的三轴平台。
技术介绍
[0002]Bar条切割是将Bar条通过矩阵形式均匀排布在标准尺寸钢环上，并通过膜使其与钢环固定，最终排布完成的产品结构形式为钢环内呈矩形排布结构的Bar条等间距阵列，加工时对首条Bar切割，再步进到下一条Bar切割。
[0003]当前使用的切割装置为晶圆裂片设备，该设备因晶圆切割工艺需求，使用能覆盖晶圆直径尺寸的大长度切割刀片，且移动平台只有伺服电机加滚珠丝杠传动的单向步进轴和伺服电机加同步带传动的旋转轴。使用此装置对Bar条进行切割，因等间距阵列排布的Bar条因排布位置误差，无法对同一钢环上的所有Bar条同时进行切割，因此只能对单条切割完成后平台装置步进到下一条进行切割，使用晶圆裂片装置切割Bar条，因其配套的大长度切割刀片，无法对矩阵排列的Bat条进行切割，因此只能一只钢环粘贴一根Bar条，切割完成后替换下一根Bar条，极大减缓加工效率，增加Bar条切割成本，降低设备使用率。
[0004]再比如公开号为CN114632975B的一种Bar条切割装置中，在对Bar条切割时，缺少对钢环定位处理的定位机构。
[0005]有鉴于上述的缺陷，本申请人积极加以研究创新，以期创设一种用于Bar条切割装置的三轴平台，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种用于Bar条切割装置的三轴平台。<br/>[0007]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0008]用于Bar条切割装置的三轴平台，从上往下依次包括平台底板、Y轴底板、旋转轴底板、旋转电机定子和旋转电机动子，安装在平台底板上的X轴驱动系统可驱动上方的Y轴底板沿着X轴方向运动，安装在Y轴底板上的Y轴驱动系统可驱动上方的旋转轴底板沿着Y轴方向运动，旋转电机定子安装在旋转轴底板上，旋转电机定子的顶部内侧安装有旋转电机动子；
[0009]旋转电机动子上沿着Y轴正方向的一侧安装有定位块一，旋转电机动子上沿着X轴正方向的一侧安装有定位块二，旋转电机动子沿着X轴负方向一侧的旋转电机定子上、沿着Y轴负方向一侧的旋转电机定子上均安装有定位卡扣组件；
[0010]定位卡扣组件包括定位气缸、解锁拉扣和钢环卡扣，定位气缸通过气缸支架安装在旋转轴底板上，定位气缸的驱动端通过解锁拉扣与内侧的钢环卡扣相连接，钢环卡扣可伸入内侧的旋转电机动子内。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，钢环卡扣远离定位气缸的一侧依次包括用于对8寸钢环卡扣的8寸卡块和用于对6寸钢环卡扣的6寸卡块。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，X轴驱动系统包括减速机、X轴伺服电机、X轴滚珠丝杆、X轴螺母连接座和X轴丝杆螺母，安装在平台底板上的X轴伺服电机的驱动端通过减速机和X轴联轴器与X轴滚珠丝杆相连接，X轴滚珠丝杆沿着X轴方向的两侧分别通过X轴丝杆支撑侧轴承座和X轴丝杆固定侧轴承座安装在平台底板上，X轴滚珠丝杆通过X轴丝杆螺母和X轴螺母连接座与上方的Y轴底板相连接。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，Y轴底板下方的平台底板上沿着Y轴方向的两侧均安装有X轴直线导轨，Y轴底板的底部通过X轴滑块与下方的X轴直线导轨相连接。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，Y轴驱动系统包括Y轴伺服电机、Y轴滚珠丝杆、Y轴螺母连接座和Y轴丝杆螺母，安装在Y轴底板上的Y轴伺服电机的驱动端通过Y轴联轴器与Y轴滚珠丝杆相连接，Y轴滚珠丝杆沿着Y轴方向的两侧分别通过Y轴丝杆固定侧轴承座和Y轴丝杆支撑侧轴承座安装在Y轴底板上，Y轴滚珠丝杆通过Y轴丝杆螺母和Y轴螺母连接座与上方的旋转轴底板相连接。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，旋转轴底板下方的Y轴底板上沿着X轴方向的两侧均安装有Y轴直线导轨，旋转轴底板的底部通过Y轴滑块与下方的Y轴直线导轨相连接。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，旋转轴底板的底部安装有光栅尺读数头，光栅尺读数头一侧的Y轴直线导轨上沿着Y轴方向安装有与光栅尺读数头相配合的光栅尺。
[0017]借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点：
[0018]本专利技术利用X轴、Y轴伺服电机加滚珠丝杆和Y轴高精密光栅尺协助下的闭环控制方式，以及高精度旋转电机，为粘贴在钢环上的Bar条阵列排布的布置形式的切割，提供了Bar条任意位置和任意角度的移动需求，不再受制于晶圆裂片设备加工该类产品时，因大尺寸切割刀片只能进行单条切割的局限，很好的解决了钢环内阵列排布的Bar条切割问题。
[0019]本专利技术的Y轴因搭载高精密光栅尺，使用闭环控制方式，保证了产品切割尺寸精度，极大的提高加工质量，保证产品切割一致性。
[0020]本专利技术通过设置有定位卡扣组件，可钢环进行定位处理，且定位卡扣组件包含用于对8寸钢环卡扣的8寸卡块和用于对6寸钢环卡扣的6寸卡块的结构，使得可兼容6寸钢环和8寸钢环。
[0021]上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0023]图1是本专利技术一种用于Bar条切割装置的三轴平台的结构示意图；
[0024]图2是图1中关于A
‑
A处的剖视图；
[0025]图3是图1中关于B
‑
B处的剖视图；
[0026]图4是图1中钢环卡扣的结构示意图；
[0027]图5是图1中旋转电机动子的结构示意图；
[0028]图6是本专利技术6寸钢环安装在图5中旋转电机动子时的结构示意图；
[0029]图7是本专利技术8寸钢环安装在图5中旋转电机动子时的结构示意图。
[0030]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0031]1‑
平台底板，2
‑
Y轴底板，3
‑
旋转轴底板，4
‑
定位气缸，5
‑
解锁拉扣，6
‑
钢环卡扣，7
‑
定位块一，8
‑
旋转电机动子，9
‑
旋转电机定子，10
‑
减速机，11
‑
X轴伺服电机，12
‑
定位块二，13
‑
Y轴伺服电机，14
‑
Y轴联轴器，15
‑
Y轴丝杆固定侧轴承座，16
‑
Y轴滚珠丝杆，17
‑
Y轴螺母连接座，18
‑
Y轴丝杆本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.用于Bar条切割装置的三轴平台，从上往下依次包括平台底板(1)、Y轴底板(2)、旋转轴底板(3)、旋转电机定子(9)和旋转电机动子(8)，安装在所述平台底板(1)上的X轴驱动系统可驱动上方的Y轴底板(2)沿着X轴方向运动，安装在所述Y轴底板(2)上的Y轴驱动系统可驱动上方的旋转轴底板(3)沿着Y轴方向运动，所述旋转电机定子(9)安装在旋转轴底板(3)上，所述旋转电机定子(9)的顶部内侧安装有旋转电机动子(8)；其特征在于：所述旋转电机动子(8)上沿着Y轴正方向的一侧安装有定位块一(7)，所述旋转电机动子(8)上沿着X轴正方向的一侧安装有定位块二(12)，所述旋转电机动子(8)沿着X轴负方向一侧的旋转电机定子(9)上、沿着Y轴负方向一侧的旋转电机定子(9)上均安装有定位卡扣组件；所述定位卡扣组件包括定位气缸(4)、解锁拉扣(5)和钢环卡扣(6)，所述定位气缸(4)通过气缸支架安装在旋转轴底板(3)上，所述定位气缸(4)的驱动端通过解锁拉扣(5)与内侧的钢环卡扣(6)相连接，所述钢环卡扣(6)可伸入内侧的旋转电机动子(8)内。2.如权利要求1所述的用于Bar条切割装置的三轴平台，其特征在于，所述钢环卡扣(6)远离定位气缸(4)的一侧依次包括用于对8寸钢环(35)卡扣的8寸卡块(32)和用于对6寸钢环(34)卡扣的6寸卡块(33)。3.如权利要求1所述的用于Bar条切割装置的三轴平台，其特征在于，所述X轴驱动系统包括减速机(10)、X轴伺服电机(11)、X轴滚珠丝杆(25)、X轴螺母连接座(26)和X轴丝杆螺母(27)，安装在所述平台底板(1)上的X轴伺服电机(11)的驱动端通过减速机(10)和X轴联轴器(29)与X轴滚珠丝杆(25)相连接，所述X...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，卢铎文，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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