一种硅烷气体输送的控制箱制造技术

技术编号:38759281 阅读:23 留言:0更新日期:2023-09-10 09:44
本发明专利技术涉及气压控制技术领域,具体为一种硅烷气体输送的控制箱,包括气体输送管,气体输送管的上端固定连接有控制箱,控制箱的中间为中空结构,控制箱的上端设有泄压罐,泄压罐的两侧都固定连接有连接管,两个连接管都与控制箱的侧端固定连接,控制箱的下端左侧设有泄压孔,控制箱箱的下端右侧设有排气孔,泄压孔和排气孔分别与两个连接管连通,泄压孔处内部滑动连接有第一密封橡胶头,第一密封橡胶头的上端固定连接有驱动控制机构,驱动控制机构由控制块、导向斜面、辅助板和辅助轮组成,排气孔的中间设有第二密封橡胶头,控制箱的中间设有安装腔,本发明专利技术能自动对气体输送管内的压力进行平衡,同时能手动控制内部压力。同时能手动控制内部压力。同时能手动控制内部压力。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷气体输送的控制箱


[0001]本专利技术涉及气压控制机构
,具体为一种硅烷气体输送的控制箱。

技术介绍

[0002]硅烷通过热分解或与其它气体的化学反应,能通过硅烷制得单晶硅、多晶硅、氧化硅等一系列含硅物质,因此硅烷气体在实际的生产中会被广泛的应用。能够利用硅烷可以进行各种化学反应,从而加工成各种复杂精细的含硅材料。
[0003]硅烷气体具有一定的毒性,硅烷在管道内输送的时候,一旦管道内的压力长时间过高会造成管道损坏,若压力较低不利于后续加工,现有的管道在输送硅烷气体的时候缺乏必要的压力调节装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种硅烷气体输送的控制箱,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种硅烷气体输送的控制箱,包括气体输送管,所述气体输送管的上端固定连接有控制箱,所述控制箱的中间为中空结构,所述控制箱的上端设有泄压罐,所述泄压罐的两侧都固定连接有连接管,两个所述连接管都与控制箱的侧端固定连接,所述控制箱的下端左侧设有泄压孔,所述控制箱箱的下端右侧设有排气孔,所述泄压孔和排气孔分别与两个连接管连通,所述泄压孔处内部滑动连接有第一密封橡胶头,所述第一密封橡胶头和泄压孔之间设有复位弹簧,所述第一密封橡胶头的上端固定连接有驱动控制机构,所述驱动控制机构由控制块、导向斜面、辅助板和辅助轮组成,所述排气孔的中间设有第二密封橡胶头,所述控制箱的中间设有安装腔,所述控制箱的中间固定连接有锁止控制机构,所述锁止控制机构由固定部、变形部、挤压部、锁止部、锁止凹槽、连接部和驱动部组成,所述锁止控制机构的上端设有驱动挤压机构,所述驱动挤压机构由驱动柱、挤压凸起和限位杆组成,所述控制箱的中间转动连接有调节斜齿轮,所述控制箱的中间设有控制斜齿轮,所述控制斜齿轮和调节斜齿轮啮合连接,所述控制斜齿轮的中间设有固定轴,固定轴贯穿控制箱,所述控制箱的中间滑动连接有滑动块,所述滑动块的顶端固定连接有驱动杆,所述驱动杆的顶端和第二密封橡胶头固定连接,所述泄压罐的中间设有压力传感器,所述压力传感器的下端固定连接有导电杆,所述导电杆的下端位于控制箱内。
[0006]优选的,所述限位杆固定连接于安装腔的内壁上,所述驱动柱和限位杆滑动连接,所述挤压凸起固定连接于驱动柱的中间,所述驱动杆的右侧设有螺纹,所述调节斜齿轮和驱动杆螺纹连接,所述挤压凸起的侧壁为倾斜结构,所述挤压凸起的从左向右直径逐渐减小。
[0007]优选的,所述挤压凸起的内部中空,所述挤压凸起的前端设有连接盖,所述挤压凸起的侧端固定连接有两个电极触点,所述驱动柱的前端设有调节柱,所述调节柱的侧端固
定连接有回缩杆,所述调节柱和驱动柱之间固定连接有第一连接弹簧,所述驱动柱的两端都铰接有阻挡板,所述阻挡板为U字型结构,所述阻挡板的侧端固定连接有卡接扣,所述调节柱的侧端固定连接有两个顶板,所述阻挡板侧端为弧形结构,所述阻挡板的侧端抵靠在顶板处。
[0008]优选的,所述调节柱的中间转动连接有旋转环,旋转环的内侧壁固定连接有延伸板,所述延伸板和调节柱之间固定连接有第二连接弹簧,所述旋转环的中间设有限位口,所述限位口的中间插接有保险丝,所述调节柱上固定连接有两个电极杆,所述保险丝的两端和电极杆固定连接,两个所述电极杆和两个电极触点电性连接,所述旋转环的侧端固定连接有复位凸起。
[0009]优选的,所述固定部固定连接于安装腔的内壁上,所述变形部固定连接于固定部的上端,所述锁止部固定连接于变形部的上端,所述连接部固定连接于锁止部的下端,所述变形部为弹性铁片,所述挤压部固定连接于变形部的顶端,所述挤压部的左侧为水平结构,所述挤压部的右侧为V字型结构,所述挤压部上端抵靠在挤压凸起处。
[0010]优选的,所述锁止凹槽位于锁止部的中间,所述控制箱的中间设有锁止板,所述锁止板的下端卡接于锁止凹槽内。
[0011]优选的,所述锁止板为V字型结构,所述锁止板的拐角处为环状结构,所述控制箱的中间固定连接有弹簧轴,所述锁止板的拐角处和弹簧轴固定连接,所述锁止板的上端设有承接板,承接板正对驱动柱。
[0012]优选的,所述连接部为V字型结构,所述驱动部位于连接部的中间,所述驱动部和锁止凹槽都由冲压一体成型,所述驱动部的顶端和滑动块固定连接。
[0013]优选的,所述控制块固定连接于连接柱的中间,所述辅助板固定连接于滑动块的侧端,所述辅助轮转动连接于辅助板的顶端。
[0014]优选的,所述辅助板为V字型结构,所述辅助板的左侧倾斜设置,所述导向斜面位于控制块的下端面,所述辅助轮抵靠在导向斜面处。
[0015]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0016]一、气体输送管内的压力过高的时候,气压能将第一密封橡胶头顶起,从而将气体顺着泄压孔进入到泄压罐内部,从而减少气体输送管内部的压力,避免气体输送管长时间高压状态,避免气体输送管损坏;
[0017]二、当气体输送管内部的压力较低的时候,连接柱向下移动,从而带动滑动块和第二密封橡胶头移动,将排气孔打开,使得泄压罐内部的气体排出,从而对气体输送管进行增压,能够自动对气体输送管内部增加气体,确保气体输送管的内部压力平衡;
[0018]三、能通过旋转控制斜齿轮,从而对锁止控制机构进行控制,来控制第二密封橡胶头的移动,强行控制排气孔的打开或关闭,从而控制气体输送管内部的气压;
[0019]四、当对锁止控制机构进行锁止固定后,一旦泄压罐内部的压力过大,会自动对锁止固定机构的锁止解除,从而避免泄压罐内部压力过大。
附图说明
[0020]图1为控制箱连接结构示意图。
[0021]图2为锁止控制机构连接示意图。
[0022]图3为驱动挤压机构连接结构示意图。
[0023]图4挤压凸起内部连接示意图。
[0024]图5阻挡板连接结构示意图。
[0025]图6为滑动块连接结构示意图。
[0026]图7为锁止板连接结构示意图。
[0027]图8为锁止控制机构和驱动挤压机构连接示意图。
[0028]图中:1气体输送管、2控制箱、3泄压孔、4排气孔、5泄压罐、6连接管、7锁止控制机构、71固定部、72变形部、73挤压部、74锁止部、75锁止凹槽、76连接部、77驱动部、8调节斜齿轮、9控制斜齿轮、10驱动挤压机构、101驱动柱、102挤压凸起、103限位杆、11连接柱、12驱动控制机构、121控制块、122导向斜面、123辅助板、124辅助轮、13滑动块、14第一密封橡胶头、15驱动杆、16第二密封橡胶头、17锁止板、18弹簧轴、1011调节柱、1012回缩杆、1013旋转环、1014限位口、1015保险丝、1016阻挡板、1017卡接扣、1018卡接头、1019顶板、10110复位凸起、1021连接盖、1022电极触点、1023电极杆。
具体实施方式
[0029]下面为了加深对本专利技术的理解和认识,将结合本专利技术实施例中的附图,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷气体输送的控制箱,包括气体输送管(1),其特征在于:所述气体输送管(1)的上端固定连接有控制箱(2),所述控制箱(2)的中间为中空结构,所述控制箱(2)的上端设有泄压罐(5),所述泄压罐(5)的两侧都固定连接有连接管(6),两个所述连接管(6)都与控制箱(2)的侧端固定连接,所述控制箱(2)的下端左侧设有泄压孔(3),所述控制箱(2)箱的下端右侧设有排气孔(4),所述泄压孔(3)和排气孔(4)分别与两个连接管(6)连通,所述泄压孔(3)处内部滑动连接有第一密封橡胶头(14),所述第一密封橡胶头(14)和泄压孔(3)之间设有复位弹簧,所述第一密封橡胶头(14)的上端固定连接有驱动控制机构(12),所述驱动控制机构(12)由控制块(121)、导向斜面(122)、辅助板(123)和辅助轮(124)组成,所述排气孔(4)的中间设有第二密封橡胶头(16),所述控制箱(2)的中间设有安装腔,所述控制箱(2)的中间固定连接有锁止控制机构(7),所述锁止控制机构(7)由固定部(71)、变形部(72)、挤压部(73)、锁止部(74)、锁止凹槽(75)、连接部(76)和驱动部(77)组成,所述锁止控制机构(7)的上端设有驱动挤压机构(10),所述驱动挤压机构(10)由驱动柱(101)、挤压凸起(102)和限位杆(103)组成,所述控制箱(2)的中间转动连接有调节斜齿轮(8),所述控制箱(2)的中间设有控制斜齿轮(9),所述控制斜齿轮(9)和调节斜齿轮(8)啮合连接,所述控制斜齿轮(9)的中间设有固定轴,固定轴贯穿控制箱(2),所述控制箱(2)的中间滑动连接有滑动块(13),所述滑动块(13)的顶端固定连接有驱动杆(15),所述驱动杆(15)的顶端和第二密封橡胶头(16)固定连接,所述泄压罐(5)的中间设有压力传感器,所述压力传感器的下端固定连接有导电杆(51),所述导电杆(51)的下端位于控制箱(2)内。2.根据权利要求1所述的一种硅烷气体输送的控制箱,其特征在于:所述限位杆(103)固定连接于安装腔的内壁上,所述驱动柱(101)和限位杆(103)滑动连接,所述挤压凸起(102)固定连接于驱动柱(101)的中间,所述驱动杆(15)的右侧设有螺纹,所述调节斜齿轮(8)和驱动杆(15)螺纹连接,所述挤压凸起(102)的侧壁为倾斜结构,所述挤压凸起(102)的从左向右直径逐渐减小。3.根据权利要求1所述的一种硅烷气体输送的控制箱,其特征在于:所述挤压凸起的内部中空,所述挤压凸起的前端设有连接盖(1021),所述挤压凸起的侧端固定连接有两个电极触点(1022),所述驱动柱的前端设有调节柱(1011),所述调节柱(1011)的侧端固定连接有回缩杆(1012),所述调节柱(1011)和驱动柱之间固定连接有第一连接弹簧,所述驱动柱的两端都铰接有阻挡板(1016),所述阻挡板(1016)为U字型结构,所述阻挡板(1016...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹中华何志飞陈仕俊
申请(专利权)人:深圳沃飞科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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