一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法技术

本发明专利技术提供一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法，包括承载装置、抓取装置、升降装置、第一转动关节、第二转动关节等装置，其中抓取装置包括两个抓取手臂，能够交替通过两个抓取手臂从两侧连续对晶圆进行抓取以及翻转移载，能够将晶圆连续放置于料盒内，完成晶圆的连续移载，保证晶圆位置放置的准确；通过上述设备能够对将晶圆连续稳定的放置于料盒内，保证晶圆放置的连续以及稳定，极大地提高了晶圆翻转移载的效率。该发明专利技术解决了晶圆翻转移载过程中空载回程的问题，极大地提高了晶圆翻转移载过程的效率。程的效率。程的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法


[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，尤其涉及一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法。

技术介绍

[0002]在Fab厂晶圆制程中常常会用到很多种类的料盒去装载晶圆，晶圆需要通过移载机设备进行翻转；晶圆在料盒摆放的方向及正反面要求一致，要求晶圆表面的朝向以及刻字码相对一致。
[0003]目前现有的移载机实现的是单面的移载技术，只能实现单面移载，在晶圆移载的过程中，抓取手臂需要反复在抓取位置以及翻转位置之间进行循环移动，并且在抓取后需要对晶圆进行翻转移载放置于料盒中；在移载回程的过程中，抓取手臂处于空载无晶圆的状态，且晶圆在往复移动的过程中，需要反复进行抓取定位，这直接导致晶圆在翻转移载过程中所耗费时间较长，效率低下的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本专利技术提供一种晶圆翻转移载设备及翻转移载方法，该专利技术解决了晶圆翻转移载过程中空载回程的问题，极大地提高了晶圆翻转移载过程的效率。
[0005]为解决上述问题，本专利技术所采用的技术方案是：一种晶圆翻转移载设备，包括：承载装置，包括间距设置的第一承载平台以及第二承载平台，所述第一承载平台以及第二承载平台之间活动设置有第三承载平台；抓取装置，安装于第三承载平台表面，具有两个对称设置的抓取手臂；升降装置，设置于第一承载平台以及第二承载平台之间，用于控制第三承载平台上下移动；第一转动关节，设置于第三承载平台侧壁，用于控制两个抓取手臂围绕轴线翻转；第二转动关节，设置于第二承载平台上方，用于控制承载装置以及抓取手臂在水平平面上转动；其中，通过抓取手臂抓取晶圆后，先通过第二转动关节控制抓取手臂在水平平面上转动，转动至预定位置后，通过第一转动关节控制抓取手臂围绕轴线翻转，完成晶圆的移载。
[0006]优选地，所述第一转动关节包括第一转动主体以及第一转动末端，所述第一转动末端贯穿第一转动主体两侧，并且与两个抓取手臂相固定。
[0007]优选地，所述升降装置包括液压伸缩杆以及位于液压伸缩杆外侧的导向杆，所述导向杆位于第一承载平台以及第二承载平台之间并且贯穿第三承载平台。
[0008]优选地，所述第二转动关节包括第二转动末端，所述第二转动末端外套设有调节装置，在第二转动关节转动过程中，通过调节装置将液压油泵入至液压伸缩杆内以控制其
伸出。
[0009]优选地，所述调节装置包括调节组件，所述调节组件包括调节套筒，所述调节套筒轴线位置转动设置有调节转轴，所述调节转轴与第二转动末端固定连接，所述调节转轴侧壁固定连接有第一调节挡板，所述调节套筒内壁固定连接有第二调节挡板，所述第一调节挡板以及第二调节挡板之间设置有泵送装置。
[0010]优选地，所述泵送装置包括泵送组件以及控制组件，所述泵送组件具有泵送末端，其中控制组件位于泵送末端的移动路径上，通过调节控制组件的刚性长度来调节泵送组件的泵送量。
[0011]优选地，所述调节装置还包括存储罐，所述存储罐与泵送组件之间通过泵送管道连通，所述泵送管道内设置有单向阀门，所述存储罐与液压伸缩杆之间通过泄压管道连通，所述泄压管道内设置有泄压阀门，所述液压伸缩杆内设置有用于复位的弹性元件。
[0012]优选地，所述调节组件为上下并列设置的两组，两组调节组件转动设置方向相反。
[0013]优选地，还包括驱动装置，通过驱动装置让抓取装置靠近料盒，完成晶圆的放置。
[0014]一种晶圆翻转移载方法，包括如下步骤：S1、控制第一个抓取手臂至外侧预定位置，并且完成对第一个晶圆的抓取；S2、待第一个晶圆抓取完毕后，通过第二转动关节控制两个抓取手臂水平转动，让第一个抓取手臂转动至内侧预定位置；S3、通过第一转动关节控制第一个抓取手臂翻转，完成第一个晶圆的翻转移载；S4、待第一个抓取手臂完成对第一个晶圆的翻转移载后，直接通过第二个抓取手臂完成对第二个晶圆的抓取；S5、重复上述步骤，完成对多个晶圆的连续翻转移载。
[0015]本专利技术的有益效果为：与传统的晶圆翻转移载方式相比较，通过设置两个对称设置的抓取手臂，能够对晶圆进行连续的抓取以及翻转移载，能够缩减晶圆在翻转移载过程中空载以及定位的时间，极大的提高了晶圆翻转移载的效率；并且先通过第二转动关节控制抓取手臂在水平平面上转动，能够减少晶圆翻转面朝下转动的时间，保证晶圆移载过程中的稳定性，以及定位准确度，进一步提高了晶圆翻转移载的效率。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的立体结构示意图；图2为本专利技术的主视结构示意图；图3为本专利技术的侧视结构示意图；图4为本专利技术的俯视结构示意图；图5为本专利技术的调节组件内部结构示意图；图6为本专利技术图5的俯视结构示意图。
[0017]图中：100、料盒；110、晶圆；200、驱动装置；300、抓取装置；310、抓取手臂；400、第一转动关节；410、第一转动主体；420、第一转动末端；500、升降装置；510、液压伸缩杆；520、导向杆；600、第二转动关节；700、调节装置；710、调节组件；711、调节套筒；712、第二调节挡板；713、调节转轴；714、第一调节挡板；720、存储罐；800、承载装置；810、第三承载平台；
820、第一承载平台；830、第二承载平台；900、泵送装置；910、泵送组件；920、控制组件。
实施方式
[0018]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0019]参照附图1
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附图6，一种晶圆翻转移载设备，包括承载装置800、抓取装置300、升降装置500、第一转动关节400、第二转动关节600等装置，其中抓取装置300包括两个抓取手臂310，能够交替通过两个抓取手臂310从两侧连续对晶圆进行抓取以及翻转移载，能够将晶圆110连续放置于料盒100内，完成晶圆的连续移载，保证晶圆位置放置的准确；通过上述设备能够对将晶圆110连续稳定的放置于料盒100内，保证晶圆放置的连续以及稳定，极大地提高了晶圆翻转移载的效率。
[0020]承载装置800包括间距设置的第一承载平台820以及第二承载平台830，第一承载平台820以及第二承载平台830之间活动设置有第三承载平台810，其中通过第三承载平台810与料盒100位置相对，其安装于中间位置且可以活动，能够上下移动至料盒100的不同位置，实现晶圆110的准确放置。
[0021]抓取装置300安装于第三承载平台810表面，具有两个对称设置的抓取手臂310，第一个抓取手臂310从外侧对晶圆110抓取完毕后，控制其转动至内侧，即料盒100的位置，再控制其转动，能够对晶圆110进行翻转，翻转后的晶圆110位置准确，推动至料盒100内，完成晶圆110的放置；第一个抓取手臂310转动后，第二个抓取手臂310位于外侧，能够连续对晶圆110进行抓取，缩减了晶圆110抓取的时间，与传统的单机械手进行抓取或者两个机械手配合进行抓取相比较，其能够连续对晶圆进行抓取，且能够一次对两个抓取手臂310进行定位，极大地提高了晶圆抓取定位以及后续本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转移载设备，其特征在于，包括：承载装置（800），包括间距设置的第一承载平台（820）以及第二承载平台（830），所述第一承载平台（820）以及第二承载平台（830）之间活动设置有第三承载平台（810）；抓取装置（300），安装于第三承载平台（810）表面，具有两个对称设置的抓取手臂（310）；升降装置（500），设置于第一承载平台（820）以及第二承载平台（830）之间，用于控制第三承载平台（810）上下移动；第一转动关节（400），设置于第三承载平台（810）侧壁，用于控制两个抓取手臂（310）围绕轴线翻转；第二转动关节（600），设置于第二承载平台（830）上方，用于控制承载装置（800）以及抓取手臂（310）在水平平面上转动；其中，通过抓取手臂（310）抓取晶圆（110）后，先通过第二转动关节（600）控制抓取手臂（310）在水平平面上转动，转动至预定位置后，通过第一转动关节（400）控制抓取手臂（310）围绕轴线翻转，完成晶圆（110）的移载。2.根据权利要求1所述的一种晶圆翻转移载设备，其特征在于，所述第一转动关节（400）包括第一转动主体（410）以及第一转动末端（420），所述第一转动末端（420）贯穿第一转动主体（410）两侧，并且与两个抓取手臂（310）相固定。3.根据权利要求1所述的一种晶圆翻转移载设备，其特征在于，所述升降装置（500）包括液压伸缩杆（510）以及位于液压伸缩杆（510）外侧的导向杆（520），所述导向杆（520）位于第一承载平台（820）以及第二承载平台（830）之间并且贯穿第三承载平台（810）。4.根据权利要求3所述的一种晶圆翻转移载设备，其特征在于，所述第二转动关节（600）包括第二转动末端，所述第二转动末端外套设有调节装置（700），在第二转动关节（600）转动过程中，通过调节装置（700）将液压油泵入至液压伸缩杆（510）内以控制其伸出。5.根据权利要求4所述的一种晶圆翻转移载设备，其特征在于，所述调节装置（700）包括调节组件（710），所述调节组件（710）包括调节套筒（711），所述调节套筒（711）轴线位置转动设置有调节转轴（713）...

【专利技术属性】
技术研发人员：桂安东，金海生，陈磊，
申请(专利权)人：安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：