本发明专利技术公开了一种曝光平台及LDI曝光装置，所述曝光平台包括用于放置线路板且为方形的台面板，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。本发明专利技术通过调节机构和顶边对位条的配合，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内。内。内。
【技术实现步骤摘要】
一种曝光平台及LDI曝光装置
[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体涉及一种曝光平台及LDI曝光装置。
技术介绍
[0002]目前业内激光直接成像的LDI曝光设备，做PCB印制线路板内层板时，因内层板无对位靶点的特点，并且需要实现两面(A面图形、B面图形)的曝光图形互套对准精度，一般设计在其设备曝光台面或平台上有多组烧对位点的激光装置，在内层板上曝光制作A面图形的同时，在背面用烧对位点的激光装置在内层板B面的感光干膜或湿膜上烧制多组对位点，然后在A面图形制作好后，翻转内层板曝光制作B面图形时，通过先抓取烧制的多组对位点来计算图形的起始曝光位置、旋转角度、平移误差来曝光B面的图形，使得B面图形与A面图形能够精确的实现图形套准。
[0003]但现有LDI曝光设备中烧对位点的激光装置位置是固定的，不能调节，由于不同批次线路板的板边尺寸一般是不相同的，有些板边比较大，有些板边比较小，当板边较小时进行激光烧点就容易使烧的对位点刚好位于线路板的单元板内，导致单元板处的干膜被烧穿而影响后期曝光后的蚀刻，降低了良品率。
技术实现思路
[0004]本专利技术目的在于为克服现有的技术缺陷，提供一种曝光平台及LDI曝光装置，通过调节机构和顶边对位条的配合，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内。
[0005]第一方面，为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种曝光平台，包括用于放置线路板且为方形的台面板，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。
[0006]进一步的，在设有顶边对位条的至少两相邻边的板边上均设有若干所述第一激光器，以对放置在台面板上的线路板的两相邻边均进行烧点。
[0007]进一步的，两相邻边上设置的第一激光器数量不相同。
[0008]进一步的，两相邻边上设置的第一激光器数量相同，但两相邻边上设置的第一激光器的间隔距离不相同。
[0009]进一步的，所述顶边对位条通过至少一组导轨和滑块滑动设于所述台面板的板边表面处，所述导轨固定于所述台面板的表面，所述滑块嵌设于所述顶边对位条的底面，且所述滑块滑动设于所述导轨上。
[0010]进一步的，所述调节机构包括固定于所述台面板侧边的支撑座以及转动设于支撑座上的调节旋钮，所述调节旋钮的一端与所述顶边对位条螺纹连接。
[0011]第二方面，本专利技术还提供了一种LDI曝光装置，包括如第一方面任一项所述的曝光
平台。
[0012]进一步的，所述的LDI曝光装置还包括底座、设于底座上的直线导轨以及与直线导轨配套的直线电机，所述曝光平台通过固定柱固定于所述直线电机上，以使所述曝光平台在直线电机的驱动下沿所述直线导轨移动。
[0013]进一步的，所述的LDI曝光装置还包括若干通过固定支架设于所述直线导轨上方的第二激光器和曝光镜头，所述第二激光器和曝光镜头的数量相同并一一对应，且相对应的所述第二激光器和曝光镜头之间设有用于将第二激光器发出的激光传导至曝光镜头中的光纤；所述曝光镜头朝下设置，且所述曝光镜头的高度高于所述曝光平台的高度，以使所述曝光平台沿直线导轨移动时穿过所述第二激光器的下方。
[0014]进一步的，所述固定支架包括沿直线导轨的延伸方向前后间隔设置的第一支架和第二支架，所述第一支架和第二支架均为倒置的U字状支架，且所述第一支架和第二支架的高度均高于所述曝光平台的高度，所述曝光镜头上下穿设于所述第一支架上，所述第二激光器设于所述第二支架上。
[0015]本专利技术具有以下有益效果：
[0016]本专利技术中，通过调节机构和顶边对位条的配合，可以调节顶边对位条和第一激光器之间的距离，从而可根据线路板的实际板边宽度对顶边对位条的位置进行移动调节，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，使顶边对位条与第一激光器发射点之间的垂直距离小于线路板的板边即可，在线路板与顶边对位条的内侧边接触放置时，可确保烧点对位点不落入线路板的单元板范围内，解决了现有中烧点激光在板边比较小时容易落入单元板范围内的问题，提高了良品率。
[0017]本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0018]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本专利技术的不当限定，在附图中：
[0019]图1为实施例中曝光平台的示意图；
[0020]图2为图1中A处的放大示意图；
[0021]图3为实施例中曝光平台另一视角的剖视图；
[0022]图4为实施例中曝光平台去除顶边对位条后的示意图；
[0023]图5为图4中B处的放大示意图；
[0024]图6为实施例2中LDI曝光装置的示意图；
[0025]图7为实施例2中LDI曝光装置的侧视图；
[0026]图8为实施例2中LDI曝光装置的俯视图。
具体实施方式
[0027]为了更充分的理解本专利技术的
技术实现思路
，下面将结合附图以及具体实施例对本专利技术作进一步介绍和说明；需要说明的是，正文中如有“第一”、“第二”等描述，是用于区分不同的部件等，不代表先后顺序，也不限定“第一”和“第二”是不同的类型。
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]实施例1
[0030]如图1至图5所示，本实施例所示的曝光平台10，包括用于放置线路板且为方形的台面板1，台面板1的两条相邻边表面上均滑动设有顶边对位条2，该顶边对位条2起到线路板放置时的靠边对位作用，即线路板的两相邻边会分别与两顶边对位条2一一接触，实现线路板顶边放置的方式，方便在线路板两表面制作曝光图形时的对位；台面板1的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条2内侧并朝上设置的第一激光器3，即第一激光器3上发射的激光朝上射出，以利用第一激光器3发射的激光对放置在台面板1上的线路板进行烧点，形成对位的对位点；台面板1上还设有至少两个一一对应驱动顶边对位条2移动的调节机构，以调节顶边对位条2与第一激光器3发射点(即发射激光的点)之间的垂直距离。
[0031]上述中，通过调节机构和顶边对位条的配合，可以调节顶边对位条和第一激光器之间的距离，从而可根据线路板的实际板边宽度对顶边对位条的位置进行移动调节，以适应不同大小板边的线路板的烧点对位，使顶边对位条与第一激光器发射点之间的垂直距离小于线路板的板边即可，在线路板与顶边对位条的内侧边本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种曝光平台，包括用于放置线路板且为方形的台面板，其特征在于，所述台面板的至少两条相邻边上均滑动设有顶边对位条，所述台面板的板边上还嵌设有若干位于顶边对位条内侧并朝上设置的第一激光器，所述第一激光器用于对放置在台面板上的线路板进行烧点，所述台面板上还设有至少两个一一对应驱动所述顶边对位条移动的调节机构，以调节所述顶边对位条与第一激光器之间的垂直距离。2.如权利要求1所述的曝光平台，其特征在于，在设有顶边对位条的至少两相邻边的板边上均设有若干所述第一激光器，以对放置在台面板上的线路板的两相邻边均进行烧点。3.如权利要求2所述的曝光平台，其特征在于，两相邻边上设置的第一激光器数量不相同。4.如权利要求2所述的曝光平台，其特征在于，两相邻边上设置的第一激光器数量相同，但两相邻边上设置的第一激光器的间隔距离不相同。5.如权利要求1所述的曝光平台置，其特征在于，所述顶边对位条通过至少一组导轨和滑块滑动设于所述台面板的板边表面处，所述导轨固定于所述台面板的表面，所述滑块嵌设于所述顶边对位条的底面，且所述滑块滑动设于所述导轨上。6.如权利要求1
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5任一项所述的曝光平台，其特征在于，所述调节机构包括固定于所述台面板侧边的支撑座以及转动设...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈果，李华团，夏云平，段绍华，肖金辉，
申请(专利权)人：江西景旺精密电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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