本发明专利技术涉及一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，包括管理服务器、手持式PDA扫码数据终端和蓝牙模块；蓝牙模块安装在化学品设备上，并与化学品设备的PLC交互数据，对化学品设备的门进行控制；蓝牙模块与手持式PDA扫码数据终端通信连接，蓝牙模块设定与手持式PDA扫码数据终端的通信距离，超过该距离则通信连接断开；管理服务器通过信息网和无线接入点实时连接手持式PDA扫码数据终端，并将管理数据实时更新下载到手持式PDA扫码数据终端，以及将手持式PDA扫码数据终端的扫码结果、操作记录、结果照片实时上传到管理服务器做数据记录；本发明专利技术严格规定权限和操作流程，确保酸桶更换安全可靠性，避免酸桶更换失误的现象发生。避免酸桶更换失误的现象发生。避免酸桶更换失误的现象发生。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统及方法
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][0001]本专利技术涉及半导体制程
，具体地说是一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统及方法。
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技术介绍
][0002]在半导体制造流程中，大量使用各种化学品，大多数化学品都是用200L酸桶作为包装材料运输到厂务端，再通过化学品输送系统(CDS)设备供应到制程设备端。CDS系统中有数十台化学品供应设备，这些设备使用的酸桶形状和大小相同，一旦失误将错误的化学品供应到制程设备，不仅会造成化学品设备管道污染、产品硅片圆晶报废，而且化学品之间会发生化学反应，造成火灾甚至爆炸等重大安全事故。
[0003]因此，化学品设备必须具备防止更换酸桶失误的机制。纵观化学品设备供应过程，当酸桶中的化学品用完，就必须由操作人员手动打开设备门，将空的酸桶从设备内取出，再将满的新酸桶从仓库取出，放入设备内，通过设备上安装的条码扫描仪扫描酸桶上的贴着的化学品名称条形码，判断是否与设备相一致，如果一致，则认为换桶成功，操作人员连接好管路后，关闭设备门，按下开始按钮通知设备换桶成功；如果不一致，则设备报警，提醒操作人员确认酸桶是否正确。
[0004]然而，在此过程中，防止酸桶更换错误的技术保证只是扫码判断条码是否一致，比较单薄，更多的依靠管理制度和操作人员的业务熟练程度来保证。在实际运营中，就发生过新的操作人员，扫描正确的酸桶上的条码后，却将另外的酸桶装入设备的重大失误。
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技术实现思路
][0005]本专利技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，加强化学品设备、操作人员、条码的认证，严格规定权限和操作流程，确保酸桶更换安全可靠性，避免酸桶更换失误的现象发生。
[0006]为实现上述目的设计一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，包括管理服务器1、基于以太网的信息网2、基于以太网的无线接入点3、手持式PDA扫码数据终端4和蓝牙模块5；所述蓝牙模块5安装在化学品设备7上，所述蓝牙模块5与化学品设备7通过PLC交互数据，并对化学品设备7的门锁进行控制；当化学品设备7更换酸桶时，通过PLC通知蓝牙模块5开门；换桶完成后，所述蓝牙模块5通知化学品设备7换桶完成，并关门；所述蓝牙模块5与手持式PDA扫码数据终端4通信连接，所述手持式PDA扫码数据终端4扫描化学品原料酸桶6上的条码，所述蓝牙模块5设定与手持式PDA扫码数据终端4之间的通信距离，超过该距离则蓝牙模块5与手持式PDA扫码数据终端4之间的通信连接被断开，所述手持式PDA扫码数据终端4无蓝牙连接时无法进行扫描操作；所述管理服务器1通过信息网2和无线接入点3实时连接手持式PDA扫码数据终端4，并将管理数据实时更新下载到手持式PDA扫码数据终端4，以及将手持式PDA扫码数据终端4的扫码结果、操作记录、结果照片实时上传到管理服务器1做数据记录。
[0007]进一步地，所述蓝牙模块5上设置有功率调节旋钮，所述蓝牙模块5通过调节功率调节旋钮设定其与手持式PDA扫码数据终端4之间的通信距离，以确保手持式PDA扫码数据终端4的扫描动作在当前化学品设备7处完成。
[0008]进一步地，所述管理服务器1通过权限管理化学品设备7、手持式PDA扫码数据终端4及操作人员，所述管理服务器1授权合格的操作人员对指定的化学品设备7更换酸桶，并使用指定的手持式PDA扫码数据终端4扫描化学品原料酸桶6上的条码，加强权限规定，进一步提高操作安全性。
[0009]进一步地，所述管理服务器1上具有数据报表功能，所述管理服务器1通过数据报表功能查询并报告相应的数据，以及通过报表展示所有数据。
[0010]进一步地，所述手持式PDA扫码数据终端4开发有操作软件，并通过操作软件规定更换酸桶的操作流程和操作人员的权限以防止更换酸桶失误。
[0011]进一步地，所述蓝牙模块5设置有至少两个，至少两个蓝牙模块5相互之间并联布置，每个蓝牙模块5分别安装在对应的化学品设备7上，并与对应的手持式PDA扫码数据终端4通信连接。
[0012]本专利技术还提供了一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统的防呆方法，包括以下步骤：
[0013]Step1、当化学品设备7检测到化学品原料酸桶6已空，需要更换酸桶时，则通知操作人员，同时发送要求到蓝牙模块5；
[0014]Step2、操作人员携带手持式PDA扫码数据终端4抵达蓝牙模块5附近，手持式PDA扫码数据终端4与蓝牙模块5建立并保持蓝牙连接，操作人员使用手持式PDA扫码数据终端4扫描自己的工号条码，以确定操作人员本人有使用手持式PDA扫码数据终端4和对蓝牙模块5操作的权限；
[0015]Step3、操作人员使用手持式PDA扫码数据终端4发送指令到蓝牙模块5打开化学品设备7的门，取出空的酸桶；
[0016]Step4、操作人员使用手持式PDA扫码数据终端4扫描新酸桶贴附的药品名称条码，确保正确无误后更换酸桶；
[0017]Step5、操作人员使用手持式PDA扫码数据终端4对新换上的酸桶拍照留存；
[0018]Step6、操作人员使用手持式PDA扫码数据终端4发送指令到蓝牙模块5关闭门，蓝牙模块5通知化学品设备7换桶已完成，化学品设备7继续供酸。
[0019]进一步地，Step4与Step5之间还包括以下步骤，操作人员使用手持式PDA扫码数据终端4扫描新酸桶贴附的除药品名称之外的其他条码信息，以全面核实信息无误。
[0020]进一步地，Step1至Step6整个流程中，所述手持式PDA扫码数据终端4与蓝牙模块5保持连接，以确保手持式PDA扫码数据终端4的扫描动作在当前化学品设备7处完成，所述手持式PDA扫码数据终端4通过信息网2和无线接入点3连接管理服务器1，并实时将操作记录、扫码结果和留存照片保存至数据库。
[0021]本专利技术同现有技术相比，具有如下优点：
[0022](1)本专利技术通过酸桶更换控制系统严格规定权限和操作流程，避免了酸桶更换失误的现象发生；
[0023](2)本专利技术通过调节蓝牙通信功率保证了操作必须在化学品设备附近(2m之内)发
生，以避免存放在旁边的相似酸桶的影响；
[0024](3)本专利技术针对半导体制造流程中的化学品酸桶更换流程，加强化学品设备、操作人员、条码的认证，确保酸桶更换安全可靠性；
[0025](4)本专利技术保留新更换上酸桶的照片作为数据回溯和证据留存，使得换桶过程可追溯，并可以通过报表展示所有数据。
[附图说明][0026]图1是本专利技术控制系统的结构示意图；
[0027]图2是本专利技术蓝牙模块与化学品设备的连接示意图；
[0028]图3是本专利技术防呆方法的流程示意图；
[0029]图中：1、管理服务器 2、信息网 3、无线接入点 4、手持式PDA扫码数据终端 5、蓝牙模块 6、化学品原料酸桶 7、化学品设备。
[具体实施方式][0030]如附图所示，本专利技术提供了一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，包括管理服务器 1、基于以太网的信息网 2、基于以太网本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，其特征在于：包括管理服务器(1)、基于以太网的信息网(2)、基于以太网的无线接入点(3)、手持式PDA扫码数据终端(4)和蓝牙模块(5)；所述蓝牙模块(5)安装在化学品设备(7)上，所述蓝牙模块(5)与化学品设备(7)通过PLC交互数据，并对化学品设备(7)的门锁进行控制；当化学品设备(7)更换酸桶时，通过PLC通知蓝牙模块(5)开门；换桶完成后，所述蓝牙模块(5)通知化学品设备(7)换桶完成，并关门；所述蓝牙模块(5)与手持式PDA扫码数据终端(4)通信连接，所述手持式PDA扫码数据终端(4)扫描化学品原料酸桶(6)上的条码，所述蓝牙模块(5)设定与手持式PDA扫码数据终端(4)之间的通信距离，超过该距离则蓝牙模块(5)与手持式PDA扫码数据终端(4)之间的通信连接被断开，所述手持式PDA扫码数据终端(4)无蓝牙连接时无法进行扫描操作；所述管理服务器(1)通过信息网(2)和无线接入点(3)实时连接手持式PDA扫码数据终端(4)，并将管理数据实时更新下载到手持式PDA扫码数据终端(4)，以及将手持式PDA扫码数据终端(4)的扫码结果、操作记录、结果照片实时上传到管理服务器(1)做数据记录。2.如权利要求1所述的半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，其特征在于：所述蓝牙模块(5)上设置有功率调节旋钮，所述蓝牙模块(5)通过调节功率调节旋钮设定其与手持式PDA扫码数据终端(4)之间的通信距离，以确保手持式PDA扫码数据终端(4)的扫描动作在当前化学品设备(7)处完成。3.如权利要求1所述的半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，其特征在于：所述管理服务器(1)通过权限管理化学品设备(7)、手持式PDA扫码数据终端(4)及操作人员，所述管理服务器(1)授权合格的操作人员对指定的化学品设备(7)更换酸桶，并使用指定的手持式PDA扫码数据终端(4)扫描化学品原料酸桶(6)上的条码。4.如权利要求1所述的半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，其特征在于：所述管理服务器(1)上具有数据报表功能，所述管理服务器(1)通过数据报表功能查询并报告相应的数据，以及通过报表展示所有数据。5.如权利要求1所述的半导体制程用酸桶更换防呆控制系统，其特征在于：所述手持式PD...
【专利技术属性】
技术研发人员：高峰，李方，夏良，王梦婷，赵迎奥，
申请(专利权)人：苏州冠礼科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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