阴极支承件及离子源制造技术

本发明专利技术提供一种阴极支承件及离子源，改善进行灯丝与阴极之间的间隔调整时的作业性。阴极支承件具备：筒状或棒状的阴极支架(1)，在一端支承阴极(6)，在另一端具有凸缘部(2)；及夹持件(3、4、5)，支承阴极支架(1、61)，夹持件(3、4、5)在阴极支架(1、61)的轴向上具有第一调整面(31、41、51)和第二调整面(32、42、52)，通过使阴极支架(1、61)绕阴极支架(1、61)的轴旋转且在阴极支架(1、61)的轴向上移动，能够实现凸缘部(2)从第一调整面(31、41、51)向第二调整面(32、42、52)的配置。52)的配置。52)的配置。

【技术实现步骤摘要】
阴极支承件及离子源


[0001]本专利技术涉及支承阴极的阴极支承件和具备该阴极支承件的离子源。

技术介绍

[0002]从离子源的长寿命化的期望出发，使用旁热型离子源。
[0003]旁热型离子源具备由灯丝和从灯丝放出的热电子加热而自己放出热电子的阴极。向电弧室导入掺杂气体，通过从阴极放出的热电子，从该气体生成等离子体。
[0004]旁热型离子源的灯丝和阴极隔开规定距离而配置。该规定距离被称作间隔，在离子源组装时被调整。
[0005]在进行间隔调整时，在规定方向上，将阴极定位于两个位置。首先将阴极定位于第一位置。接着，以被定位后的阴极为基准来进行灯丝的定位和位置固定。之后，将阴极从第一位置向第二位置移动，将阴极的位置固定。通过该阴极的位置固定，在阴极与灯丝之间形成规定的间隔。
[0006]作为间隔调整的一例，在专利文献1中，提出了在阴极的定位中使用定位销。
[0007]专利文献1具备在端部支承阴极的支承棒和对支承棒的另一端进行支承的夹持件。在支承棒和夹持件形成有在与支承棒的轴向正交的方向上贯通两个构件的开口。
[0008]在支承棒的轴向上，形成于支承棒的开口尺寸比形成于夹持件的开口尺寸大。
[0009]在将与支承棒的轴向上的夹持件的开口尺寸相同的尺寸的定位销插入到支承棒和夹持件的各开口的状态下，使支承棒沿着其轴向上下移动。
[0010]支承棒的移动在支承棒的开口端部在支承棒的轴向上与定位销的端部抵接的下侧的位置和上侧的位置这两处被限制，因此，支承棒的位置在这些部位被定位。由于在支承棒的端部支承有阴极，因此通过对支承棒进行定位，能够实现阴极的定位。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1：美国专利申请公开第2008/0072413A1公报

技术实现思路

[0014]专利技术所要解决的课题
[0015]在专利文献1的结构中，在进行间隔调整时，在支承阴极的支承棒的定位中，定位销的使用是必须的，因此进行间隔调整时的作业变得繁杂。
[0016]在本专利技术中，将改善进行间隔调整时的作业性设为主要的课题。
[0017]用于解决课题的手段
[0018]一种阴极支承件，具备：
[0019]筒状或棒状的阴极支架，在一端支承阴极，在另一端具有凸缘部；及
[0020]夹持件，支承所述阴极支架，
[0021]所述夹持件在所述阴极支架的轴向上具有第一调整面和第二调整面，
[0022]通过使所述阴极支架绕所述阴极支架的轴旋转且在所述阴极支架的轴向上移动，能够实现所述凸缘部从所述第一调整面向所述第二调整面的配置。
[0023]仅将阴极支架的凸缘部配置于第一调整面和第二调整面，就能够实现阴极在两个位置处的定位。在配置凸缘部时，不需要在以往技术中使用的定位销，因此进行间隔调整时的作业性格外提高。
[0024]更具体而言，
[0025]所述夹持件在所述第一调整面与所述第二调整面之间具有台阶部，所述台阶部与配置于所述第二调整面的所述凸缘部相对。
[0026]优选的是，所述第一调整面与配置于所述第二调整面的所述凸缘部的上表面处于同一平面。
[0027]在进行间隔调整后固定阴极支架时，能够容易地确认阴极支架是否被适当地配置。
[0028]优选的是，所述凸缘部在所述阴极支架的整周与所述台阶部相对，且所述台阶部限制所述阴极支架绕轴的旋转。
[0029]若是上述结构，则阴极支架的位置偏移抑制效果提高。
[0030]作为离子源的结构，优选是具有上述结构的阴极支承件的离子源，其中，
[0031]所述离子源具有电弧室，该电弧室在内部生成等离子体，
[0032]所述电弧室具有：
[0033]上盖，形成有引出开口，该引出开口用于从所述等离子体引出离子束；及
[0034]底板，与所述上盖相对，
[0035]所述台阶部在所述上盖与所述底板的相对方向上与所述凸缘部相对。
[0036]在离子源组装时，从上盖朝向底板的方向成为重力方向的情况下，若在上盖与底板的相对方向上凸缘部和台阶部相对，则由阴极的重量引起的阴极支架的倾斜由台阶部部分抑制，能够简单地进行阴极支架的固定作业。
[0037]专利技术效果
[0038]仅将阴极支架的凸缘部配置于第一调整面和第二调整面，就能够实现阴极在两个位置处的定位。在配置凸缘部时，不需要在以往技术中使用的定位销，因此进行间隔调整时的作业性格外提高。
附图说明
[0039]图1是涉及间隔调整的说明的示意性剖视图。
[0040]图2是示出夹持件的结构的平面图。
[0041]图3是示出在图2的夹持件搭载了阴极支架时的状态的平面图。
[0042]图4是示出使图3的阴极支架旋转了90度时的状态的平面图。
[0043]图5是示出离子源组装时的状态的示意性平面图。
[0044]图6是关于重力对组装作业造成的影响的说明图。
[0045]图7是涉及阴极支架和夹持件的其他结构例的平面图。
[0046]图8是涉及使用棒状的阴极支架的间隔调整的说明的示意性剖视图。
[0047]图9是示出图8的(A)中的阴极支架与夹持件的关系的平面图。
[0048]图10是示出图8的(B)中的阴极支架与夹持件的关系的平面图。
[0049]标号说明
[0050]IS离子源
[0051]1、61阴极支架
[0052]2凸缘部
[0053]3第一夹持件
[0054]4第二夹持件
[0055]5第三夹持件
[0056]6阴极
[0057]11灯丝
[0058]31、41、51第一调整面
[0059]32、42、52第二调整面
[0060]D台阶部
[0061]G重力方向
具体实施方式
[0062]图1是涉及间隔调整的说明的示意性剖视图。在本说明书中，将与后述的筒状或棒状的阴极支架1、61的轴向平行的方向设为Z方向，将与Z方向正交的两个方向设为X方向、Y方向。需要说明的是，轴是阴极支架长度方向的中心轴。
[0063]阴极6通过环状的锁定线13而支承于圆筒状的阴极支架1的一端。关于阴极支架1处的阴极6的支承结构，除了由图示的锁定线13实现的固定之外，也可以采用以往已知的使用锁定板、螺纹紧固的其他的固定结构。
[0064]在阴极支架1的与支承有阴极6的一侧相反的一侧的另一端设置有朝向阴极支架1的径向外侧突出的凸缘部2。在图示的XY平面中，凸缘部2从阴极支架1突出的尺寸根据圆筒状的阴极支架1的周向的部位而不同。
[0065]在固定支承阴极支架1的第一夹持件3和第二夹持件4插通有未图示的螺栓，通过将螺母9螺合于螺栓来调整各夹持件3、4间的间隙，进行阴极支架1的固定支承。
[0066]第一夹持件3、第二夹持件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极支承件，具备：筒状或棒状的阴极支架，在一端支承阴极，在另一端具有凸缘部；及夹持件，支承所述阴极支架，所述夹持件在所述阴极支架的轴向上具有第一调整面和第二调整面，通过使所述阴极支架绕所述阴极支架的轴旋转且在所述阴极支架的轴向上移动，能够实现所述凸缘部从所述第一调整面向所述第二调整面的配置。2.根据权利要求1所述的阴极支承件，其中，所述夹持件在所述第一调整面与所述第二调整面之间具有台阶部，所述台阶部与配置于所述第二调整面的所述凸缘部相对。3.根据权利要求2所述的阴极支承件，其中，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：平井裕也，岩波悠太，糸井骏，足立昌和，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：