一种防挡溅环平整度的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种防挡溅环平整度的检测装置，所述检测装置包括工作台、夹具以及连接杆，将拆装或清洗后的防挡溅环放置在工作台上从而利用多个限位柱进行固定，并结合气泡水平仪以及竖直设置在工作台的底部的高度可调的支撑脚杯进行水平调准，对设置于夹具一端的高度显示器进行调零后，将高度显示器旋转一周，通过读取高度显示器的数值变化以判断防挡溅环在拆装和清洗过程是否产生变形，当发现防挡溅环产生变形后，要及时对其进行更换以防止对晶圆的背面产生进一步的刮伤。对晶圆的背面产生进一步的刮伤。对晶圆的背面产生进一步的刮伤。

【技术实现步骤摘要】
一种防挡溅环平整度的检测装置


[0001]本技术涉及半导体检测设备领域，特别是涉及一种防挡溅环平整度的检测装置。

技术介绍

[0002]芯片制造主要包括晶圆制造和晶圆加工两段工艺过程，其中，晶圆加工过程是指在制备晶圆材料上构建完整的集成电路芯片的过程，其主要包含镀膜、光刻、刻蚀以及离子注入等工艺。尤其是在光刻工艺中，经常会使用涂胶以及显影设备来完成光刻胶的涂布工艺流程，现有的涂胶以及显影设备再日常使用过程中都会定期拆卸防挡溅环(CUP)并送外清洗，而随着防挡溅环的拆装次数和清洗的次数增加，防挡溅环会产生一定程度的变形，从而会严重影响防挡溅环的高度，而防挡溅环的高度发生改变容易导致晶圆的背面刮伤。

技术实现思路

[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种防挡溅环平整度的检测装置，用于解决现有技术中如何检测防挡溅环在多次拆装或清洗后是否产生形变的问题。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种防挡溅环平整度的检测装置，所述装置包括：
[0005]工作台，所述工作台的形状为空心圆柱体结构，具有相对设置的顶部和底部，且所述工作台的顶部设有限位柱，用以实现防挡溅环的固定；
[0006]夹具，所述夹具的形状为空心圆柱体结构且与所述工作台同轴设置；
[0007]连接杆，所述连接杆的底端与所述工作台顶部的中心固定连接，所述连接杆的顶端与所述夹具的中心转动连接；
[0008]高度显示器，所述高度显示器与所述夹具通过连接板连接，且所述连接板的一端设置有通孔。
[0009]可选地，所述工作台的顶部还设有气泡水平仪以监测所述工作台是否处于水平状态。
[0010]可选地，所述限位柱至少包括第一限位柱、第二限位柱和第三限位柱，其中，所述第一限位柱与所述第二限位柱关于所述连接杆对称设置且所述第三限位柱设在所述第一限位柱与所述第二限位柱连线的中轴线上。
[0011]可选地，所述第一限位柱、所述第二限位柱以及所述第三限位柱的高度一致且均为30mm。
[0012]可选地，所述工作台的直径至少为400mm且所述工作台的高度为30mm。
[0013]可选地，所述连接杆的直径为20mm、所述连接杆的高度为120mm且等于防挡溅环的高度。
[0014]可选地，所述夹具的直径至少为130mm且所述夹具的高度为10mm。
[0015]可选地，所述限位柱与所述工作台的顶部之间为可拆卸连接，其中，连接方式包括螺钉连接或卡扣连接中的一种或组合。
[0016]可选地，所述工作台的底部竖直设置有高度可调的支撑脚杯。
[0017]可选地，所述检测装置还包括有调零板，所述调零板上设置有凹槽，所述凹槽的直径大小与所述工作台一致且所述调零板至少延伸至所述高度显示器的下方。
[0018]如上所述，本技术的一种防挡溅环平整度的检测装置，具有以下有益效果：检测装置包括工作台、夹具以及连接杆，将拆装或清洗后的防挡溅环放置于工作台上利用多个限位柱进行固定，并结合气泡水平仪以及竖直设置在工作台的底部的高度可调的支撑脚杯进行水平调准，对设置于夹具一端的高度显示器进行调零后，将高度显示器旋转一周，通过读取高度显示器的数值变化以判断防挡溅环在拆装和清洗过程是否产生变形，当发现防挡溅环产生变形后，要及时对其进行更换以防止对晶圆的背面产生进一步的刮伤。
附图说明
[0019]图1显示为本技术的一种防挡溅环平整度的检测装置的结构示意图。
[0020]图2显示为本技术的一种防挡溅环平整度的检测装置的爆炸结构示意图。
[0021]图3显示为本技术的一种防挡溅环平整度的检测装置的多角度示意图。
[0022]元件标号说明
[0023]101、工作台；1011、第一限位柱；1012、第二限位柱；1013、第三限位柱；102、连接杆；103、夹具；104、气泡水平仪；105、高度显示器；1051、通孔；106、防挡溅环；107、连接板；108、调零板。
具体实施方式
[0024]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0025]请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。
[0026]在本技术中，除另有明确规定外，如有术语“组装”、“相连”、“连接”等术语应作广义去理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；也可以是机械连接；可以是直接相连，也可以是通过中间媒介相连，可以是两个元件内部相连通。此外，使用“第一”、“第二”、“第三”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对上述零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本技术保护范围的限制。
[0027]如图1和图2所示，本技术提供一种防挡溅环106平整度的检测装置，所述检测
装置包括：
[0028]工作台101，所述工作台101的形状为空心圆柱体结构，具有相对设置的顶部和底部，且所述工作台101的顶部设有限位柱，用以实现防挡溅环106的固定；
[0029]夹具103，所述夹具103的形状为空心圆柱体结构且与所述工作台101同轴设置；
[0030]连接杆102，所述连接杆102的底端与所述工作台101顶部的中心固定连接，所述连接杆102的顶端与所述夹具103的中心转动连接；
[0031]高度显示器105，所述高度显示器105与所述夹具103通过连接板107连接，且所述连接板107的一端设置有通孔1051。
[0032]作为示例，所述工作台101的顶部还设有气泡水平仪104以监测所述工作台101是否处于水平状态。
[0033]具体的，如图1和图2所示，在本实施例中，工作台101的形状为空心圆柱体结构，其具有相对设置的顶部和底部，在工作台101的顶部设置有气泡水平仪104，且气泡水平仪104的位置尽量靠近工作台101的边缘部位以防止防挡溅环106放置于工作台101上后对其造成遮挡，从而影响观测效果，当气泡水平仪104中的气泡位于中间时，说明工作台101是处于水平状态，此外，气泡水平仪104与工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防挡溅环平整度的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：工作台，所述工作台的形状为空心圆柱体结构，具有相对设置的顶部和底部，且所述工作台的顶部设有限位柱，用以实现防挡溅环的固定；夹具，所述夹具的形状为空心圆柱体结构且与所述工作台同轴设置；连接杆，所述连接杆的底端与所述工作台顶部的中心固定连接，所述连接杆的顶端与所述夹具的中心转动连接；高度显示器，所述高度显示器与所述夹具通过连接板连接，且所述连接板的一端设置有通孔。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述工作台的顶部还设有气泡水平仪以监测所述工作台是否处于水平状态。3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于：所述限位柱至少包括第一限位柱、第二限位柱和第三限位柱，其中，所述第一限位柱与所述第二限位柱关于所述连接杆对称设置且所述第三限位柱设在所述第一限位柱与所述第二限位柱连线的中轴线上。4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于：所述第一限位柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗斌，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：