本发明专利技术涉及一种电热膜及其制造方法，属于半导体发热技术领域。其主要采用四氯化锡、四氯化钛、四氯化镍、三氯化钛、三氯化铁、三氯化锑、二氯化钙、氯化钾、氯化镉、二氧化锡、四氧化锡、氢氟酸、硼酸、乙醇、异丙醇和无机水。采用上述配方经混合搅拌加热，制成电热膜处理液，接着将电热膜处理液负压喷雾在电热膜载体上为电热膜半成品，然后在电热膜半成品上涂氧化银浆经烘烧即为电热膜成品。本发明专利技术配比合理、制造工艺简单，可制成各种电热膜加热装置，其工作温度可达５００℃，适用范围更广；本发明专利技术电热膜还具有远红外辐射功能，对人体起到理疗保健的作用，也有助于提升农产品品质和产量。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，属于半导体发热技 术领域。
技术介绍
电热膜发热元件作为 一 种面发热元件，其电热效率大于90% ，加热速度快，同时具有远红外辐射加热功能。 一 文献号 为CN1 529534C的专利技术专利公开了 ， 该电热膜组成配比(质量百分比)为A:四氯化锡，40 50;B:三氯化钛，30 40; C:三氯化锑，0.1 0.3; D: 二氯化 转，0.1 0.3; E:异丙醇，2 3; F:乙醇，10 13; G:水，2 5;其最高工作温度仅为450。C ，应用范围较窄。此电热膜 制造过程中需多次喷入电热膜处理液，效率低。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述电热膜及其制造方法存在的问题，提供 一 种工作温度高，应用范围广的电热膜； 该电热膜用途极广，制造方法简单、高效。为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是 ' 一种电热膜，其组成配比(质量百分比)为A:四氯化锡5 15B:四氯化钛2 8C:四氯化镍2 8D:氯化钛2 8E:~"\氯化铁20 45F:氯化锑0. 5 0.G:氯化钙0. 5 0.H:孰化钾l 4I:氯化镉2 7J:氧化锡3 10K:四氧化锡 5 15L:氢氟酸 3 8M:硼酸 0. 2 1N:乙醇 5 150:异丙醇 4 8P:无机水 20 45采用上述配方经混合搅拌加热，制成电热膜处理液，接着 将电热膜处理液负压喷雾在龟热膜载体上为电热膜半成品，然 后在电热膜半成品上涂氧化银浆经烘烧即为电热膜成品。上述电热膜制造方法如下1 、 电热膜处理液制作取四氯化锡、四氯化钛、四氯化镍、三氯化钛、三氯 化铁、三氯化锑、二氯化钙、氯化钾、氯化镉、二氧化锡、 四氧化锡、氢氟酸、硼酸、乙醇、异丙醇和无机水放入混合加热机混合加热，加热温度为60 80°C,混合搅拌均 匀，使固体全部溶解，冷却至0——2'C，经过滤即得电热膜处理液。 '2 、 电热膜半成品制作取加热炉，炉温为600 800°C，电热膜载体放入炉 内加热，用负压喷雾法将电热膜镀在电热膜载体表面，通 过测试即为电热膜半成品。3、 电热膜成品制作在上述电热膜半成品两端或四端表面涂上氧化银浆，送入电极加工炉经300 55CTC烘烤后，使氧化银完全还 原银同时与电热膜层熔合为一体即为电热膜成品，氧化银 还原银形成层状电极，该层状电极厚度很薄，为微米量级。 本专利技术原料为市场所购，所述电热膜载体为普通玻璃、普通陶瓷、搪瓷、云母、石英玻璃、微晶玻璃、微晶陶瓷、碳化硅等各种电介质，具有很大的选择性。本专利技术所述负压喷雾法由负压喷枪将6 8ml的电热膜处理液一次性喷入炉内，此时电热膜处理液在高温中完全汽化， 同时发生化学反应，在化学能的作用下，电热膜载体表面沉积 结晶形成多晶硅半导体薄膜，此工艺简单、高效。本专利技术配比合理、制造工艺简单，电热膜成品最大功率可达到5KW，最高工作温度可达500°C,功率密度可做成0.1 20W/cm2的任 一 值，由本专利技术制成的电热膜加热装置电热效率 高，升温快，节能、环保，适用范围更广；本专利技术电热膜还具 有远红外辐射功能，辐射波长为2.5 15微米的电磁波，对人 体起到理疗保健的作用，也有助于提升农产品品质和产量；由 本电热膜制成的各种产品无冲击电流，电压适用范围宽，适从 3 400V的电源；本电热膜层与载体以化学键结合为一体，无 脱落之虑，其物理化学性能好，耐湿、耐酸碱，无毒，无有害 辐射，无任何污染；电热膜产品尺寸和形状可根据需要制成多 样，如制成板状或管状电热膜成品；本电热膜产品无明火，安 全可靠，5000小时以内膜层稳定。具体实施方式本专利技术第一种实施方式如下1 、 取(各组分按质量百分比)四氯化锡10 ,四氯化 钛3，四氯化镍3，三氯化钛3，三氯化铁21，三氯化锑0.8， 二氯化钙0.5，氯化钾2，氯化镉4， 二氧化锡5，四氧化锡6， 氢氟酸7，硼酸1，乙醇6，异丙醇6，无机水21. 7放入混合 加热机混合加热至75 °C ，搅拌均匀，使固体原料全部溶解，待溶液冷却至一rc时过滤即得电热膜处理液。2 、取加热炉，该炉炉芯由碳化硅制成，加热功率为13KW,炉温为70(TC，石英玻璃(电热膜载体)放入炉内加热 至700'C，用负压喷雾法将电热膜镀在石英玻璃表面，通过测 试即为电热膜半成品。本专利技术原料为市场所购，所述电热膜载体为普通玻璃、普 通陶瓷、搪瓷、云母、石英玻璃、微晶玻璃、微晶陶瓷、碳化 硅等各种电介质，具有很大的选择性。本专利技术所述负压喷雾法是由负压喷枪将6 8ml的电热膜处理液 一 次性喷入加热炉 内，电热膜处理液在高温中完全汽化同时发生化学反应，在化 学能的作用下，电热膜载体表面沉积结晶形成多晶硅半导体薄 膜，此工艺简单、高效。上述测试主要是测电热膜半成品的常 温电阻，常温电阻在1 1000 Q即为合格品。3、 在上述电热膜半成品两端或四端表面涂上氧化银 浆，送入电极加工炉经450'C烘烤后，使氧化银完全还原银同 时与电热膜层熔合为 一 体即为电热膜成品，氧化银还原银形成 层状电极，该层状电极厚度很薄，为微米量级。本专利技术第二种实施方式取(各组分按质量百分比)四氯 化锡12 ，四氯化钛3，四氯化镍3,三氯化钛3，三氯化铁 19，三氯化锑0.8， 二氯化钙0.5，氯化钾2，氯化镉4， 二氧 化锡5,四氧化锡10，氢氟酸7，硼酸1，乙醇6，异丙醇6， 无机水17.7，采用第一种实施方式中的制作工艺制得符合要 求的电热膜成品。本实施例中混合加热温度为60°C ，加热炉 加热功率为15KW，炉温控制在80(TC。本专利技术第三种实施方式取(各组分按质量百分比)四氯化锡5，四氯化钛6，四氯化镍3，三氯化钛6，三氯化铁20， 三氯化锑0.8, 二氯化钙0.5，氯化钾2，氯化镉4， 二氧化锡 5，四氧化锡6，氢氟酸7，硼酸1，乙醇10，异丙醇6，无机 水17.7，采用第一或第二种实施方式中的制作工艺制得符合 要求的电热膜成品。本专利技术电热膜成品接电方法在本申请人已经递交申请的 《电热膜接电方法》(200910105806.6)中有记载，供电电源 不分正负、交直流电均可，电压可以是3 400V间的任一值。经国家红外及工业电热产品质量监督检验中心检验，本发 明所述电热膜产品各项指标均符合标准要求，某些项目甚至好 于标准要求，具体检验数据见本申请所附检验报告。所述电热 膜为远红外面发热，其法向全反射率为0.83(+)，传热集中， 升温快。电热辐射转换效率为68%，比标准要求高出近20%,其电热转换效率达95%以上(电热转换效率=电热辐射转换 效率X1.4)。所述电热膜通电后相对辐射能谱(红外辐射波长 范围)为5 20iim，人体对此波段的远红外线具有最佳的吸 收。表面温度分布性能，平均温度为326.4'C，最高温度为 351. O'C ，最低温度为262. 4°C ，其最高工作温度接近500。C(最 高工作温度二最高温度X1.4)。工作寿命符合标准要求，大于 5000小时。安全性方面，泄漏电流为0. 013mA，远小于标准要 求(0.75mA);电气强度符合要求，即基本绝缘能承受交流试 验电压1500V,历时lmin，无击穿或闪络。由美国麻省理工学院等离子融合物科学中心提供的测试 报告可知(具体测本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电热膜，其组成配比（质量百分比）为： Ａ：四氯化锡 ５～１５ Ｂ：四氯化钛 ２～８ Ｃ：四氯化镍 ２～８ Ｄ：三氯化钛 ２～８ Ｅ：三氯化铁 ２０～４５ Ｆ：三氯化锑 ０．５～０．８Ｇ：二氯化钙 ０．５～０．８ Ｈ：氯化钾 １～４ Ｉ：氯化镉 ２～７ Ｊ：二氧化锡 ３～１０ Ｋ：四氧化锡 ５～１５ Ｌ：氢氟酸 ３～８ Ｍ：硼酸 ０．２～１ Ｎ：乙醇 ５～１５Ｏ：异丙醇 ４～８ Ｐ：无机水 ２０～４５。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：罗日良，罗冰，
申请(专利权)人：罗日良，
类型：发明
国别省市：35[中国|福建]
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