本实用新型专利技术涉及磷化铟加工技术领域，公开了一种磷化铟加工用烘烤装置，所述烘烤罐的内壁盘绕设置有加热盘管，且烘烤罐的内部设置有旋转烘烤机构，所述烘烤罐的罐体后侧设置有端盖启闭机构，所述支撑底板的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱。本实用新型专利技术通过手摇式的端盖启闭机构对烘烤罐的旋转启闭，能够轻松、便捷的将烘烤罐的罐口启闭开合，而后在堆叠放置形式的旋转烘烤机构中的集料箱体对磷化铟的堆叠放置下，能够以相互堆叠组装的形式，将磷化铟装入烘烤罐内进行烘烤工作，其方面具有简单、便捷的上料、取料性能，能够便于工作人员对磷化铟进行上下料，降低操作强度，另一方面能够提高上下料高效性，节省劳动时长。节省劳动时长。节省劳动时长。
【技术实现步骤摘要】
一种磷化铟加工用烘烤装置
[0001]本技术涉及磷化铟加工
，特别涉及一种磷化铟加工用烘烤装置。
技术介绍
[0002]磷化铟是一种重要的化合物半导体材料，其具有饱和电子漂移速度高、抗辐射能力强、导热性好、光电转换效率高、禁带宽度高等诸多优点，被广泛应用于生产射频器件、光模块、LED、激光器、探测器、传感器、太空太阳能电池等器件上；而为了能够提高磷化铟生长材料的质量，改善其电学性质，磷化铟在生产过程中，往往需利用高温退火处理方法，以改善晶片的电学均匀性和制备半绝缘磷化铟材料，例如现有专利技术所示：经检索，中国专利网公开了一种具有防烫结构的磷化铟加工用烘烤装置(公开公告号CN216977401U)，此类装置通过主动电机上的主动轮通过皮带带动从动轮转动，进而带动烘烤炉转动，使磷化铟在加工的过程中受热均匀，完成对磷化铟的烘烤。
[0003]但是，针对上述公开专利以及现有市场所采取的磷化铟烘烤装置，还存在一些不足之处：此类利用主动电机驱动烘烤炉转动对磷化铟进行均匀烘烤的方式，由于烘烤炉为固定形式，无论是对磷化铟进行上料烘烤，还是将烘烤后的磷化铟取出，其上下料都极为不便，增加操作强度的同时，又降低了生产效率。为此，本领域技术人员提供了一种磷化铟加工用烘烤装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的主要目的在于提供一种磷化铟加工用烘烤装置，可以有效解决
技术介绍
中现有对于磷化铟烘烤过程中，其上下料较为不便捷的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种磷化铟加工用烘烤装置，包括烘烤罐，所述烘烤罐的内壁盘绕设置有加热盘管，且烘烤罐的内部设置有旋转烘烤机构，所述烘烤罐的罐体后侧设置有端盖启闭机构；
[0006]所述旋转烘烤机构包括安装在烘烤罐罐底的支撑轴以及安装在支撑轴底部输出端一侧的传动电机，所述支撑轴的顶部输出端设置有支撑底板，所述支撑底板的板架下方位于边缘位置处沿其周向排布设置有多组支撑滚轮，且支撑底板的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述烘烤料箱包括堆叠放置在支撑底板上方的集料箱体，所述集料箱体的端口处呈星三角对称形式设置有三组吊环。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述集料箱体的箱体外部对称开设有多组卡扣槽，所述支撑底板的板架上方位于边缘位置处对称设置有卡扣在卡扣槽内部的多组臂力支杆。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述传动电机的输出端设置有同步带轮A，所述支撑轴的底部输出端设置有同步带轮B，且同步带轮A与同步带轮B之间通过同步带连接。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述端盖启闭机构包括安装在烘烤罐罐体后侧
的支撑立架，所述支撑立架的支架内部转动连接有旋转轴，所述旋转轴的轴杆上半部设置有旋转架，且旋转架的支架顶端设置有压盖烘烤罐罐口的启闭端盖，所述旋转轴的轴杆底端设置有贯穿烘烤罐罐底的传动轴，且传动轴的轴杆一端设置有启闭手轮。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述传动轴的轴杆另一端设置有锥齿轮A，所述旋转轴的轴杆底端设置有与锥齿轮A相啮合的锥齿轮B。
[0012]作为本技术再进一步的方案：所述启闭端盖的板面对称连通有两组风筒，所述风筒的筒道内部由里向外依次设置有通风扇、吸附网板、除尘网板，所述吸附网板采用活性炭材质构件，所述除尘网板采用不锈钢滤网材质构件。
[0013]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0014]本技术通过手摇式的端盖启闭机构对烘烤罐的旋转启闭，能够轻松、便捷的将烘烤罐的罐口启闭开合，而后在堆叠放置形式的旋转烘烤机构中的集料箱体对磷化铟的堆叠放置下，能够以相互堆叠组装的形式，将磷化铟装入烘烤罐内进行烘烤工作，其方面具有简单、便捷的上料、取料性能，能够便于工作人员对磷化铟进行上下料，降低操作强度，另一方面能够提高上下料高效性，节省劳动时长，提高烘烤效率。
附图说明
[0015]图1为本技术一种磷化铟加工用烘烤装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术一种磷化铟加工用烘烤装置中端盖启闭机构的结构示意图；
[0017]图3为本技术一种磷化铟加工用烘烤装置中旋转烘烤机构的结构示意图；
[0018]图4为本技术一种磷化铟加工用烘烤装置中烘烤料箱的结构示意图。
[0019]图中：1、烘烤罐；2、臂力支杆；3、烘烤料箱；31、集料箱体；32、吊环；33、卡扣槽；4、启闭端盖；5、风筒；6、旋转架；7、旋转轴；8、支撑立架；9、启闭手轮；10、传动轴；11、锥齿轮A；12、锥齿轮B；13、通风扇；14、吸附网板；15、除尘网板；16、加热盘管；17、支撑底板；18、支撑滚轮；19、支撑轴；20、传动电机；21、同步带轮A；22、同步带；23、同步带轮B。
具体实施方式
[0020]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]请参照图1
‑
4所示，一种磷化铟加工用烘烤装置，包括烘烤罐1，烘烤罐1的内壁盘
绕设置有加热盘管16，且烘烤罐1的内部设置有旋转烘烤机构，旋转烘烤机构包括安装在烘烤罐1罐底的支撑轴19以及安装在支撑轴19底部输出端一侧的传动电机20，支撑轴19的顶部输出端设置有支撑底板17，支撑底板17的板架下方位于边缘位置处沿其周向排布设置有多组支撑滚轮18，且支撑底板17的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱3，烘烤料箱3包括堆叠放置在支撑底板17上方的集料箱体31，集料箱体31的端口处呈星三角对称形式设置有三组吊环32，集料箱体31的箱体外部对称开设有多组卡扣槽33，支撑底板17的板架上方位于边缘位置处对称设置有卡扣在卡扣槽33内部的多组臂力支杆2，在对磷化铟进行烘烤工作时，将待烘烤加工的磷化铟放入至集料箱体31内，而后可利用吊装设备，将其吊钩挂入烘烤料箱3的吊环32，将装有磷化铟本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磷化铟加工用烘烤装置，包括烘烤罐(1)，其特征在于，所述烘烤罐(1)的内壁盘绕设置有加热盘管(16)，且烘烤罐(1)的内部设置有旋转烘烤机构，所述烘烤罐(1)的罐体后侧设置有端盖启闭机构；所述旋转烘烤机构包括安装在烘烤罐(1)罐底的支撑轴(19)以及安装在支撑轴(19)底部输出端一侧的传动电机(20)，所述支撑轴(19)的顶部输出端设置有支撑底板(17)，所述支撑底板(17)的板架下方位于边缘位置处沿其周向排布设置有多组支撑滚轮(18)，且支撑底板(17)的板架上方堆叠放置有多组烘烤料箱(3)。2.根据权利要求1所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述烘烤料箱(3)包括堆叠放置在支撑底板(17)上方的集料箱体(31)，所述集料箱体(31)的端口处呈星三角对称形式设置有三组吊环(32)。3.根据权利要求2所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述集料箱体(31)的箱体外部对称开设有多组卡扣槽(33)，所述支撑底板(17)的板架上方位于边缘位置处对称设置有卡扣在卡扣槽(33)内部的多组臂力支杆(2)。4.根据权利要求1所述的一种磷化铟加工用烘烤装置，其特征在于，所述传动电机(20)的输出端设置有同步带轮A(...
【专利技术属性】
技术研发人员：李雪峰，周一，肖迪，杨亚辉，
申请(专利权)人：青岛立昂晶电半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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