一种制备氧化镓的方法和设备技术

本发明专利技术涉及氧化镓制备技术领域，尤其涉及一种制备氧化镓的方法和设备，其技术方案包括蒸发组件，混合槽，壳体和储料仓，所述壳体的内部一侧开设有导向槽，所述壳体内部的底部一侧安装有冷却槽，所述壳体的底部安装有底座，所述底座的顶部一侧安装有抽气泵，所述壳体内部的底部一侧安装有蒸发组件，所述蒸发组件内设置有蒸发箱，所述蒸发箱两侧的内壁开设有导轨。本发明专利技术通过在壳体的内部安装有蒸发组件，能够通过蒸发组件对氧化镓进行结晶处理，并且结晶处理所使用的结晶板为陶瓷混合材料制成，可以满足煅烧的温度，进而可以使氧化镓在结晶板的表面进行二次结晶，在缩小设备体积的同时，可以保证氧化镓的结晶效果。可以保证氧化镓的结晶效果。可以保证氧化镓的结晶效果。

【技术实现步骤摘要】
一种制备氧化镓的方法和设备


[0001]本专利技术涉及氧化镓制备
，具体为一种制备氧化镓的方法和设备。

技术介绍

[0002]氧化镓是一种半导体材料，通过使用氧化镓，可以提高半导体元器件的性能，随着半导体行业的不断发展，氧化镓的需求量也逐渐增加，进而需要对氧化镓进行批量制备，氧化镓的制备现有的技术还不够成熟，需要使用大量的设备配合进行生产。
[0003]现有技术中制备氧化镓的设备在使用的过程中还存在以下缺陷：
[0004]1、现有的氧化镓制备设备为多台设备组成的生产线，对于氧化镓后期的结晶处理，现有的生产线需要使用多台设备，进而增加了氧化镓制备设备的投入，并且氧化镓后期结晶后再蒸发处理时，会导致氧化镓晶体的耗损；
[0005]2、现有的氧化镓制备设备对于氧化镓制备的原料无法进行长时间存放，在氧化镓制备前期，需要人工对高纯镓和高纯硝酸进行添加，进而导致工作人员前期的工作较为繁琐，影响氧化镓整体的制备效率。
[0006]鉴于此我们提出一种制备氧化镓的方法和设备来解决现有的问题。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种制备氧化镓的方法和设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种制备氧化镓的方法和设备，包括蒸发组件，混合槽，壳体和储料仓，所述壳体的内部一侧开设有导向槽，所述壳体内部的底部一侧安装有冷却槽，所述壳体的底部安装有底座，所述底座的顶部一侧安装有抽气泵，所述壳体内部的底部一侧安装有蒸发组件，所述蒸发组件内设置有蒸发箱，所述蒸发箱两侧的内壁开设有导轨，所述导轨的内部安装有驱动轮，所述驱动轮的底部通过固定板安装有两组液压伸缩杆，所述蒸发箱内部的底部安装有电热线圈，所述电热线圈的顶部等间距安装有铜柱，所述铜柱的顶部安装有卡接座，且卡接座的顶部安装有结晶板，所述壳体内部的顶部一侧安装有储料罐，所述壳体内部的顶部远离储料罐的一侧安装有储料仓，所述储料仓内设置有防腐仓，所述防腐仓的外侧安装有外壳，所述外壳的内部两侧安装有四组制冷晶片，所述外壳的底部两侧安装有散热风机，所述壳体的内部位于储料仓和储料罐的下方安装有混合槽，所述混合槽的底部安装有过滤管。
[0009]优选的，所述液压伸缩杆的底部安装有安装板，且安装板的底部安装有四组吸盘。
[0010]优选的，所述抽气泵的外侧安装有防护壳，且抽气泵的输出端安装有排气歧管。
[0011]优选的，所述混合槽的顶部安装有电动机，且电动机的输出端安装有搅拌架。
[0012]优选的，所述储料罐的顶部安装有延伸出壳体的入料管，且入料管的一端安装有单向阀。
[0013]优选的，所述防腐仓的底部安装有下料管，且防腐仓的顶部安装有顶盖。
[0014]优选的，一种制备氧化镓的方法，其步骤如下：
[0015]第一步，将高纯镓与一定比例的高纯硝酸分别注入混合槽中进行混合，并利用搅拌架搅拌均匀；
[0016]第二步，高纯镓和高纯硝酸经过搅拌混合后，再通过过滤管从混合槽中排出；
[0017]第三步，过滤后的混合物在通风环境下进行加热，使其蒸发结晶；
[0018]第四步，蒸发完成后将结晶体从蒸发组件中取出，使得结晶体进入冷却槽中进行自然冷却，进而生成高纯度的氧化镓晶体。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0020]1、本专利技术通过在壳体的内部安装有蒸发组件，能够通过蒸发组件对氧化镓进行结晶处理，并且结晶处理所使用的结晶板为陶瓷混合材料制成，可以满足煅烧的温度，进而可以使氧化镓在结晶板的表面进行二次结晶，在缩小设备体积的同时，可以保证氧化镓的结晶效果。
[0021]2、本专利技术通过在壳体的内部分别安装有储料罐和储料仓，可以通过储料罐和储料仓对高纯镓和高纯硝酸进行低温避光存储，并且可以按照实际使用需求对高纯镓和高纯硝酸进行投放，进而对氧化镓进行精确的制备。
附图说明
[0022]图1为本专利技术的正面剖面结构示意图；
[0023]图2为本专利技术的正面外部结构示意图；
[0024]图3为本专利技术的蒸发组件局部结构示意图；
[0025]图4为本专利技术的储料仓结构示意图；
[0026]图5为本专利技术的流程示意图。
[0027]图中：1、蒸发组件；101、蒸发箱；102、驱动轮；103、导轨；104、安装板；105、结晶板；106、卡接座；107、电热线圈；108、铜柱；109、液压伸缩杆；2、底座；201、排气歧管；202、抽气泵；203、防护壳；3、混合槽；301、搅拌架；302、过滤管；4、储料罐；401、入料管；5、壳体；501、冷却槽；502、导向槽；6、储料仓；601、防腐仓；602、制冷晶片；603、外壳；604、散热风机；605、下料管；606、顶盖。
具体实施方式
[0028]下文结合附图和具体实施例对本专利技术的技术方案做进一步说明。
[0029]实施例一
[0030]如图1、图2、图3、图4和图5所示，本专利技术提出的一种制备氧化镓的方法和设备，包括蒸发组件1，混合槽3，壳体5和储料仓6，壳体5的内部一侧开设有导向槽502，壳体5可以对内部的组件提供安装的位置，导向槽502可以为驱动轮102提供移动的空间，进而可以带动底部的组件进行水平移动，壳体5内部的底部一侧安装有冷却槽501，冷却槽501可以对结晶板105提供放置的空间，进而可以便于将结晶板105从卡接座106的顶部取下，进行自然冷却，从而对氧化镓晶体进行结晶制取，壳体5的底部安装有底座2，底座2可以对顶部的组件进行支撑，以保证装置整体的稳定性，底座2的顶部一侧安装有抽气泵202，抽气泵202可采用NMP850KPDC型，抽气泵202通电后可以持续吹气，进而带动壳体5内部的空气流动，使得装
置可以在内部通风的环境下进行氧化镓的制备，壳体5内部的底部一侧安装有蒸发组件1，蒸发组件1可以对高纯镓和高纯硝酸的混合物进行加热，进而使其蒸发结晶，蒸发组件1内设置有蒸发箱101，蒸发箱101可以为内部的组件提供安装的位置，并且蒸发箱101的一侧安装有盖板，盖板可以翻转开闭，蒸发箱101两侧的内壁开设有导轨103，导轨103可以对驱动轮102提供限位，进而可以使驱动轮102带动底部的组件水平移动，导轨103的内部安装有驱动轮102，驱动轮102采用电机加滚轮的形式，可以带动底部的组件进行水平移动，驱动轮102的底部通过固定板安装有两组液压伸缩杆109，液压伸缩杆109可以在垂直方向伸缩，进而可以带动底部的组件进行垂直移动，蒸发箱101内部的底部安装有电热线圈107，电热线圈107通电后可以发出热量，进而可以对顶部的组件进行加热，以便于对氧化镓进行蒸发结晶，电热线圈107的顶部等间距安装有铜柱108，铜柱108可以对热量进行传导，进而可以对结晶板105进行加热，铜柱108的顶部安装有卡接座106，卡接座106可以对结晶板105提供安装的位置，并且对热量进行传导，以便于对结晶板105进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制备氧化镓的方法和设备，包括蒸发组件(1)，混合槽(3)，壳体(5)和储料仓(6)，其特征在于：所述壳体(5)的内部一侧开设有导向槽(502)，所述壳体(5)内部的底部一侧安装有冷却槽(501)，所述壳体(5)的底部安装有底座(2)，所述底座(2)的顶部一侧安装有抽气泵(202)，所述壳体(5)内部的底部一侧安装有蒸发组件(1)，所述蒸发组件(1)内设置有蒸发箱(101)，所述蒸发箱(101)两侧的内壁开设有导轨(103)，所述导轨(103)的内部安装有驱动轮(102)，所述驱动轮(102)的底部通过固定板安装有两组液压伸缩杆(109)，所述蒸发箱(101)内部的底部安装有电热线圈(107)，所述电热线圈(107)的顶部等间距安装有铜柱(108)，所述铜柱(108)的顶部安装有卡接座(106)，且卡接座(106)的顶部安装有结晶板(105)，所述壳体(5)内部的顶部一侧安装有储料罐(4)，所述壳体(5)内部的顶部远离储料罐(4)的一侧安装有储料仓(6)，所述储料仓(6)内设置有防腐仓(601)，所述防腐仓(601)的外侧安装有外壳(603)，所述外壳(603)的内部两侧安装有四组制冷晶片(602)，所述外壳(603)的底部两侧安装有散热风机(604)，所述壳体(5)的内部位于储料仓(6)和储料罐(4)的下方安装有混合槽(3)，所述混合槽(3)的底部安装有过滤管(302)。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯英俊，冯涛，
申请(专利权)人：苏州璋驰光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：