一种平板显示材料的多功能镀膜生产线制造技术

本发明专利技术提供一种平板显示材料的多功能镀膜生产线，其包括：上下片端、真空室、镀膜室以及组合式传动装置，所述真空室和镀膜室内包括两组相互独立的空间，每组独立空间内设置一单面镀膜生产线；所述组合式传动装置包括平移架和旋转架。本发明专利技术提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线采用组合式传动装置后，能够实现多种镀膜形式，节约了成本，提高了效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示的真空镀膜装置领域，尤其涉及一种多功能的平板显示镀膜生产线。
技术介绍
真空镀膜技术已广泛地应用于光学、电子学、能源开发、理化仪器、建筑机械、包 装、民用制品、表面科学等领域中。真空镀膜方法主要有物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉 积法(CVD)、以及分子束外延等。真空镀膜的目的是改变物质表面的物理、化学性能，因此这 一技术又是真空表面处理技术中的重要组成部分。平板显示材料领域的透明导电玻璃、电 视面板的减反射玻璃、触摸屏用的电极玻璃等都是采用真空镀膜设备生产的。现有平板显示材料的镀膜生产线存在以下问题首先，不同的平板显示材料有不 同的镀膜要求，例如高温中温镀膜，常温镀膜，单面镀多层膜，双面镀光学膜，通过各种不同 工作气体镀膜等，而目前的平板显示材料的镀膜生产线只能实现一种镀膜功能，比如TN/ STN玻璃镀膜生产线，AR镀膜生产线，CF/IT0镀膜生产线等，均只能具有一种镀膜功能。其 次，限于现有的镀膜生产线的传动方式，其要么只能单面镀膜，要么只能双面镀膜，无法同 时实现即可以单面镀膜又可以双面镀膜。再者，现有专用生产线的靶位设置和进出片方式 都无法实现单面镀多层膜的功能。因此，提供一种能够实现多种镀膜方式的多功能镀膜生产线实属必要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种平板显示材料的多功能镀膜生产线，旨在解决现有技 术中存在的镀膜生产线功能单一、不能同时实现多种镀膜方式这一技术问题。本专利技术是这样实现的，一种平板显示材料的多功能镀膜生产线，其包括上下片端，其包括平移架和旋转架；连接上述上下片端的真空室，此真空室内包括两组相互独立的空间，每组独立空 间内设置一单面镀膜生产线；连接上述真空室的组合式传动装置，此组合式传动装置包括平移架和旋转架。所述上片端的平移架设置在百级净化间内，下片端的平移架设置在千级净化间 内。所述上下片端包括两组平移架和外回架装置。所述真空室的每组独立空间内包括两组溅射镀膜区。所述组合式传动装置的上片平移架设置在百级净化间内。所述组合式传动装置内回架的旋转架和平移架设置在十级净化间内。所述真空室包括高真空室、低真空室、溅射镀膜室和过渡室。所述两组溅射镀膜区之间包括一过渡室。本专利技术提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线采用组合式传动装置后，能够实现多种镀膜形式，节约了成本，提高了效率。 附图说明图1是本专利技术平板显示材料的多功能镀膜生产线的结构示意图；图2是本专利技术实现单面镀两层膜时的外平移外回架结构示意图；图3是本专利技术实现双面分别镀两层膜时的外平移内回架结构示意图； 图4是本专利技术实现单面镀多层膜时的外旋转内回架结构示意图。具体实施例方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对 本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并 不用于限定本专利技术。参见图1中所示，本专利技术所述的平板显示材料的多功能镀膜生产线包括上下片端 10和连接上下片端10的真空室11。需要被镀膜的平板显示材料的基片通过上下片端10进 入到真空室11中，本实施例中，上下片端10包括两个平移架101、102、或一个平移架103， 均设置在百级净化间内，其中平移架101、102为一组，需外回架时使用；平移架103自成一 组，需内回架时使用。两组平移架分别根据不同需要对上述基片进行上片(即，将基片送入 到真空室11中)和下片(S卩，接收从真空室11中送出的已经镀膜的基片)。真空室11(万 级净化间)内包括两组相互独立的空间，每组独立空间内各设置一组单面镀膜生产线，本 实施例中，其中一组单面镀膜设备包括两个溅射镀膜区111、112，另一组单面镀膜设备包括 两个溅射镀膜区113、114。本专利技术提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线还包括一连接 真空室11的组合式传动装置，此组合式传动装置包括平移架和旋转架，其中，在本实施例 中，旋转架127或平移架126设置在千级净化间123的十级净化间内，而平移架为两组，其 中一组平移架124、125设置在千级净化间121内。以下结合图2、图3、图4说明本专利技术平板显示材料的多功能镀膜生产线的实现多 种镀膜方式的工作原理，需要强调的是，图2、图3、图4仅仅是根据不同的镀膜功能将图1 中的功能模块分离出来以便于解释，本专利技术提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线实际 上是揭示在图1中的。本专利技术提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线能够通过上下片端10和组合式 传动装置实现单面镀两层膜、平移双面镀两层膜、旋转双面镀多层膜，具体原理举例如下如果需要单面镀两层膜时，采用图2中的双边外回架结构形式，其主要工艺流程 为通过平移架101、102同时上片，分别进入到真空室11的两个独立空间中，分别通过溅射 镀膜区111、112和溅射镀膜区113、114进行单面镀双层膜操作，然后通过平移架124、125 回到外回架115和116，最终回到平移架101和102进行下片，然后进行下一个循环。当然， 上下两条线路可以选择不同的工艺参数、加热温度、镀膜材料等等。如果需要单片双面分别镀两层膜时，采用图3中所示的外平移内回架结构形式， 其工艺流程为通过平移架103上片，经过溅射镀膜区113、114进行单面镀两层膜操作，然 后通过平移架126换面，回到真空室11，通过溅射镀膜区111、112将另一面也进行单面镀两 层膜操作，这样就完成了单片双面分别镀两层膜工艺。如果需要单面镀多层膜，采用图4中所示的外旋转内回架结构形式，其主要工艺 流程为通过平移架103上片，经过溅射镀膜区113、114进行单面镀两层膜操作，然后通过 旋转架127旋转平移回到真空室11，通过溅射镀膜区111、112将同一面再次进行单面镀两 层膜操作，这样就完成了单面镀多层膜工艺。当然，根据现有技术，所述真空室11包括高真空室和低真空室，而所述相邻两个 溅射镀膜区(例如溅射镀膜区113、114)之间还包括过渡室，上述的各工艺流程前还包括玻 璃清洗、进入低真空和高真空区域、进行速度调节等等，由于这些工艺过程是本领域内的公 知技术，并非本专利技术的重点，在此不作赘述。显然，本专利技术提供的平板显示材料的多功能镀膜生产线采用组合式传动装置后， 能够实现上面的三种镀膜形式，节约了成本，提高了效率。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，例如，每一组溅射 镀膜区的镀膜方式(例如AR镀膜、CF/IT0镀膜等)都是可以根据实际情况改变的，这样最 终的镀膜结果也随之发生改变。凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换 和改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。权利要求一种平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于包括上下片端，其包括平移架和旋转架；连接上述上下片端的真空室，此真空室内包括两组相互独立的空间，每组独立空间内设置一单面镀膜生产线；连接上述真空室的组合式传动装置，此组合式传动装置包括平移架和旋转架。2.根据权利要求1所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于所述上片端 的平移架设置在百级净化间内，下片端的平移架设置在千级净化间内。3.根据权利要求2所述平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于所述上下片 端包括两组平移架和外回架装置。4.根据权利要求1所述平板显本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平板显示材料的多功能镀膜生产线，其特征在于包括：　　上下片端，其包括平移架和旋转架；　　连接上述上下片端的真空室，此真空室内包括两组相互独立的空间，每组独立空间内设置一单面镀膜生产线；　　连接上述真空室的组合式传动装置，此组合式传动装置包括平移架和旋转架。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许生，谭晓华，庄炳河，
申请(专利权)人：深圳市豪威薄膜技术有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]