一种大尺寸版架制造技术

本实用新型专利技术提供一种大尺寸版架，涉及光掩膜基板技术领域，包括壳体，所述壳体内侧设置有支撑台，所述壳体内侧设置有定位机构；所述定位机构包括转动台和移动块，所述转动台顶部表面设置有螺旋状滑槽，所述滑槽位于支撑台内侧，所述转动台位于支撑台下方，所述转动台上方设置有三个滑动块，所述滑动块底部固定连接有移动块，所述移动块底部固定连接有多个卡块，所述卡块位于滑槽内部，所述滑动块一侧固定连接有挤压垫。本实用新型专利技术将大尺寸版架放置在三个限位块内侧，然后通过转动轴、驱动齿轮、齿条、转动台、滑槽和卡块可以控制三个滑动块移动，然后通过三个挤压垫将需要加工的大尺寸版架定位好，可以适应于不同尺寸的基板。可以适应于不同尺寸的基板。可以适应于不同尺寸的基板。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸版架


[0001]本技术涉及光掩膜基板
，尤其涉及一种大尺寸版架。

技术介绍

[0002]光掩膜基板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版。
[0003]现有技术中，如中国专利CN206833141U公开了一种用于光刻的版架，包括真空承载盘，真空承载盘的中部设置有真空环槽，真空承载盘上还设置有真空接口，真空环槽内设置有与真空接口相连通的连通孔，真空承载盘的上部设置有可以拆卸更换的掩膜板。本技术中真空承载盘、真空环槽以及掩膜板的配合设计，能够有效地保证接触的紧密程度，并可以对晶片损伤程度降到最低的曝光；该技术制得的晶片光刻线条和设计偏差小，线条尺寸均匀性好，且操作简单方便。
[0004]但是，在进行光刻工艺时，需要通过版架将光掩膜基板的基板进行定位，在对基板固定时，在对大尺寸版架定位时，由于不同基板的尺寸不同，而且一般的版架不能根据基板随意调整，所以需要更换另外的版架，因此需要对不同的基板提供不同的版架。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有的技术中存在在进行光刻工艺时，需要通过版架将光掩膜基板的基板进行定位，在对基板固定时，在对大尺寸版架定位时，由于不同基板的尺寸不同，而且一般的版架不能根据基板随意调整，所以需要更换另外的版架，因此需要对不同的基板提供不同的版架的问题，而提出的一种大尺寸版架。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种大尺寸版架，包括壳体，所述壳体内侧设置有支撑台，所述壳体内侧设置有定位机构；
[0007]所述定位机构包括转动台和移动块，所述转动台顶部表面设置有螺旋状滑槽，所述滑槽位于支撑台内侧，所述转动台位于支撑台下方，所述转动台上方设置有三个滑动块，所述滑动块底部固定连接有移动块，所述移动块底部固定连接有多个卡块，所述卡块位于滑槽内部，所述滑动块一侧固定连接有挤压垫，所述转动台底部设置有齿条，所述齿条底部设置有驱动齿轮，所述驱动齿轮内侧设置有转动轴。
[0008]优选的，所述转动轴与驱动齿轮固定连接，所述驱动齿轮与齿条啮合。
[0009]优选的，所述齿条为环形结构，所述转动轴一端向内凹槽设置有插接口。
[0010]优选的，所述支撑台表面开设有三个限位槽，所述移动块滑动设置在限位槽内部。
[0011]优选的，所述转动台边缘与壳体内壁转动连接，所述支撑台外表面与壳体内表面固定连接。
[0012]优选的，所述支撑台固定设置有三个限位块，所述限位块和挤压垫均为弧形结构。
[0013]优选的，三个所述限位块间距大于挤压垫切面宽度，且三个所述限位块以支撑台
中心为圆心均匀分布在支撑台表面。
[0014]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于：
[0015]1、本技术中，将大尺寸版架放置在三个限位块内侧，然后通过转动轴、驱动齿轮、齿条、转动台、滑槽和卡块可以控制三个滑动块移动，然后通过三个挤压垫将需要加工的大尺寸版架定位好，可以适应于不同尺寸的基板。
[0016]2、本技术中，通过挤压垫可以将支撑台表面的大尺寸版架定位时，移动槽可以在限位槽的导向和限位下，会在限位槽内部移动，可以稳定准确将大尺寸版架定位好。
附图说明
[0017]图1为本技术提出一种大尺寸版架的立体图；
[0018]图2为本技术提出一种大尺寸版架的支撑台和转动台立体图；
[0019]图3为本技术提出一种大尺寸版架的转动台底部立体图；
[0020]图4为本技术提出一种大尺寸版架的转动台表面立体图。
[0021]图例说明：1、壳体；11、支撑台；12、限位块；13、限位槽；2、定位机构；21、滑动块；211、移动块；212、卡块；22、挤压垫；23、转动轴；231、插接口；24、驱动齿轮；25、转动台；251、齿条；26、滑槽。
具体实施方式
[0022]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0023]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0024]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种大尺寸版架，包括壳体1，壳体1内侧设置有支撑台11，壳体1内侧设置有定位机构2；
[0025]定位机构2包括转动台25和移动块211，转动台25顶部表面设置有螺旋状滑槽26，滑槽26位于支撑台11内侧，转动台25位于支撑台11下方，转动台25上方设置有三个滑动块21，滑动块21底部固定连接有移动块211，移动块211底部固定连接有多个卡块212，卡块212位于滑槽26内部，滑动块21一侧固定连接有挤压垫22，转动台25底部设置有齿条251，齿条251底部设置有驱动齿轮24，驱动齿轮24内侧设置有转动轴23；转动轴23与驱动齿轮24固定连接，驱动齿轮24与齿条251啮合。
[0026]将大尺寸版架防止在三个限位块12内侧时，通过拧动转动轴23转动，接着，转动轴23表面的驱动齿轮24也会一起转动，由于驱动齿轮24和齿条251啮合，齿条251在驱动齿轮24的带动下，可以带动转动台25转动，然后，转动台25转动时，通过滑槽26配合卡块212可以控制移动块211移动，当移动块211移动时，移动块211可以在限位槽13的限位下，沿着限位槽13轨迹进行移动，最后，滑动块21在移动块211带动下，通过三个挤压垫22将大尺寸版架夹持住，便于将不同尺寸的大尺寸版架定位好。
[0027]如图2
‑
4所示，齿条251为环形结构，转动轴23一端向内凹槽设置有插接口231；支
撑台11表面开设有三个限位槽13，移动块211滑动设置在限位槽13内部；转动台25边缘与壳体1内壁转动连接，支撑台11外表面与壳体1内表面固定连接；支撑台11固定设置有三个限位块12，限位块12和挤压垫22均为弧形结构；三个限位块12间距大于挤压垫22切面宽度，且三个限位块12以支撑台11中心为圆心均匀分布在支撑台11表面，通过插接口231可以与相匹配的把手进行插接，然后通过把手旋转转动轴23，可以降低转动的难度，当转动台25底部的齿条251在驱动齿轮24的带动下转动时，可以方便控制三个滑动块21移动，进行定位大尺寸版架，接着，挤压垫22在移动定位大尺寸版架时，会穿过两个限位板之间的间隙，通过限位块12可以在放置大尺寸版架时起初步限位的效果。
[0028]本装置的使用方法及工作原理：将大尺寸版架防止在三个限位块12内侧时，通过拧动转动轴23转动，接着，转动轴23表本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸版架，包括壳体(1)，所述壳体(1)内侧设置有支撑台(11)，其特征在于：所述壳体(1)内侧设置有定位机构(2)；所述定位机构(2)包括转动台(25)和移动块(211)，所述转动台(25)顶部表面设置有螺旋状滑槽(26)，所述滑槽(26)位于支撑台(11)内侧，所述转动台(25)位于支撑台(11)下方，所述转动台(25)上方设置有三个滑动块(21)，所述滑动块(21)底部固定连接有移动块(211)，所述移动块(211)底部固定连接有多个卡块(212)，所述卡块(212)位于滑槽(26)内部，所述滑动块(21)一侧固定连接有挤压垫(22)，所述转动台(25)底部设置有齿条(251)，所述齿条(251)底部设置有驱动齿轮(24)，所述驱动齿轮(24)内侧设置有转动轴(23)。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸版架，其特征在于：所述转动轴(23)与驱动齿轮(24)固定连接，所述驱动齿轮(24...

【专利技术属性】
技术研发人员：萧训山，谭斌，
申请(专利权)人：深圳市精石光掩膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：