透明导电膜玻璃单面减薄承载装置及其减薄方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及透明导电膜玻璃单面减薄承载装置及其减薄方法，所述装置包括密封并全面覆盖平板玻璃４导电膜面并将平板玻璃４吸附住的真空吸盘１；在真空吸盘１内部设有密闭的抽气孔道１ｃ以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体１ｆ，通过抽气孔道１ｃ与真空缓冲腔体１ｆ形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘１与平板玻璃４之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中始终吸附住平板玻璃４。利用本发明专利技术装置承载的平板玻璃在其减薄过程中，其一面没有任何遮挡便于减薄处理而被密闭的另一面可保证透明导电膜免受化学溶液侵蚀，使透明导电膜玻璃的单面减薄过程大大简化，也降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及玻璃基板承载装置及其减薄方法，更具体地说，涉及一种透明导电膜玻璃单面减薄用承载装置及利用这种装置承载导电膜玻璃进行单面减薄的方法。
技术介绍
透明导电膜玻璃是制造平板显示器(FPD)的主要材料，广泛应用于液晶显示器 (LCD)、等离子显示屏(PDP)、触摸屏(TP)、有机发光显示器(0LED)等领域。随着当今世界 高新技术产品飞速发展，对FPD面板的轻薄化要求越来越高，因而透明导电膜玻璃的减薄 工艺成为了终端显示产品能否实现薄型化的核心问题之一。 所谓减薄就是用化学药液将透明导电膜玻璃基板均匀蚀刻到目标厚度，从减薄方 式来讲分单面减薄和双面减薄两种。单面减薄即对玻璃基板的其中一面采取保护措施，对 另一面进行减薄；双面减薄即对玻璃基板的两面同时进行减薄。从减薄工艺来讲，目前流 行的减薄工艺有浸泡减薄工艺和喷淋减薄工艺，浸泡减薄工艺是把玻璃基板浸泡在化学药 液中，然后辅助以鼓泡或抛动等机械手段，其玻璃夹具通常是带有卡槽的蚀刻篮，通过将玻 璃基板两端卡在相邻的卡条间实现夹持固定(如专利CN101234853A描述)；喷淋减薄工艺 是用水平传输辊作为支撑部件，通过从玻璃输送方向的左右支撑玻璃板两端来实现夹持固 定，然后向其表面均匀喷射化学药液，(如专利CN1669967A描述)。浸泡减薄工艺和喷淋减 薄工艺相比，后者蚀刻速率快，药液利用率高，得到的玻璃基板厚度均匀，表观缺陷少，因而 代表了减薄工艺的主流方向。 采用上述喷淋蚀刻工艺进行透明导电膜玻璃单面减薄时，其夹持治具是该方法实 施的关键。 一方面要保护镀导电膜面使其免受化学药液侵蚀；另一方面要实现另一面没有 任何遮挡物体的夹持状态以保证减薄的均匀性。现有技术的做法是在玻璃基板进行化学减 薄前在无需被蚀刻的表面涂覆掩模作为保护层，然后通过从玻璃输送方向的左右支撑玻璃 基板两端的输送辊实现玻璃基板的夹持以便完成减薄工艺(如专利CN1669967A描述)。现 有技术的缺点如下 1.增加了保护层涂覆、烘干、去除工序，增加了原材料成本和制作工序，增加了品 质控制难度，降低了生产效率。 2.增加了涂布机、烘干机、脱膜机等相应配套设备的投资，增加了生产成本。 3.对导电膜面的保护以及对整个玻璃的夹持是通过两个相互独立的装置来实现 的，从而增加了整体制作成本。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术无法实现在固定玻璃基板的同时实 现对玻璃镀膜面的有效区域进行保护的缺陷，提供一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置 及采用本装置的减薄方法。 本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是构造一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，包括密封并全面覆盖平板玻璃导电膜面并将平板玻璃吸附住的真空吸盘；在真 空吸盘内部设有密闭的抽气孔道以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体，通过抽气孔道 与真空缓冲腔体形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘与平板玻璃 之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中吸附住平板玻璃。 在上述承载装置中，所述真空吸盘包括用作支撑骨架的刚性平板、分别设置在刚 性平板上用于贴合平板玻璃边缘的密闭围墙以及用于控制真空吸盘抽气和/或进气操作 的常闭阀门；所述抽气孔道连通密闭围墙内部区域与阀门。 在上述承载装置中，所述刚性平板由两块同质平板贴合而成，其中一块平板的一 面钻有充当抽气孔道的通孔，另一面铣有充当真空缓冲腔体的多个沟槽，所述通孔与沟槽 相通。 在上述承载装置中，所述真空缓冲腔体的体积与平板玻璃面积成正比，并且其比 例范围优选介于200cm3 : 1000cm2至600cm3 : 1000ci^之间。 在上述承载装置中，所述刚性平板上还设置有用于嵌入所述密闭围墙的环形开口 沟槽，所述环形开口沟槽的轮廓形状与密闭围墙边框轮廓形状相适，并且二者的平面轮廓 形状与平板玻璃的轮廓形状相适。 在上述承载装置中，还包括固定在真空吸盘底部的传输辊，以及固定在真空吸盘 顶部的导向滑轮。 在上述承载装置中，密闭围墙为弹性变形材料，并且其外轮廓尺寸比平板玻璃大2 毫米至5毫米。 在上述承载装置中，所述环形开口沟槽槽宽比密闭围墙边框宽度大0.5毫米至 1. 5毫米，其深度比密闭围墙边框厚度小0. 1毫米至0. 6毫米。 在上述承载装置中，所述真空吸盘至少吸住和密封所述平板玻璃导电膜面距离边 缘l毫米以内的部分。 本专利技术解决其技术问题所采用的另一技术方案是提供一种利用上述装置承载透 明导电膜玻璃进行单面减薄方法，包括如下步骤 A :将平板玻璃的镀膜面与真空吸盘的密闭围墙区域进行对位贴合； B :连接真空泵源，打开真空吸盘阀门对真空吸盘抽真空； C:将贴合了平板玻璃的承载装置传送入减薄工作区，对暴露在外的平板玻璃的另 一面，以利用化学液体喷淋方式完成单面减薄； D :卸下平板玻璃。 在上述减薄方法中，所述步骤B进一步包括在真空吸盘与平板玻璃之间达到足 够吸附平板玻璃的真空度后，关闭阀门，切断真空泵源。 在上述减薄方法中，所述步骤C中对平板玻璃的传送是通过分别设置在承载装置 上、下的导向滑轮及传输辊实现的。 在所述减薄方法中，所述步骤D进一步包括打开阀门，待真空吸盘内、外部的气 压平衡后，卸下平板玻璃。 实施本专利技术提供的承载装置，使得其真空吸盘吸附的平板玻璃，其一面没有任 何遮挡便于化学液体减薄，而另一面的透明导电膜被完全密封而免受化学溶液侵蚀，在 保护透明导电膜前提下，用化学溶液蚀刻玻璃另一面全部面积的制作过程被大大简化，也降低了加工成本。此外，所述刚性平板内的真空缓冲腔体在保证刚性平板刚性支撑作 用的前提下，其总体积与平板玻璃面积成正比，并且比例范围介于200cm3 : 1000cm2至 600cm3 : 1000cm2之间，以保证足够的容积来维持玻璃减薄蚀刻过程中不致掉落所需的真 空度，即关闭阀门、切断真空泵源后所述真空吸盘能够保证在所有减薄蚀刻工序完成之前 玻璃基板稳定夹持在吸盘上而不致掉落，所述减薄工序整个过程所用时间至少为1小时。 具体地说，实施本专利技术的承载装置以及采用该承载装置进行的减薄方法，具有以 下有益效果 1.在被减薄玻璃的竖直承载状态下，实现被减薄玻璃面垂直方向上无任何遮挡 物； 2.竖直承载的玻璃在传送过程中不会掉落、不会倾覆，蚀刻面受较大垂直方向的 喷淋液压力时不会破损； 3.不用化学掩蔽膜覆盖需要保护的一面，而是采用可反复使用的结构件保护透明 导电膜玻璃的膜面； 4.将上述承载和保护的措施集成于一套装置中。 本专利技术的各种优点、各个方面和创新特征，以及其中所示例的实施例的细节，将在 以下的描述和附图中进行详细介绍。附图说明 下面将结合附图及实施例对本专利技术作进一步说明，附图中 图1为现有技术进行减薄工艺的流程图； 图2为采用本专利技术的承载装置进行单面减薄的流程示意图； 图3为本专利技术透明导电膜玻璃单面减薄承载装置一较优实施例的结构示意图； 图4为图3的侧视图； 图5为本专利技术提供的对透明导电膜玻璃进行单面减薄的方法的流程示意图； 图6为采用本专利技术所述承载装置的结构示意图； 图7为专利技术所述承载装置一实施例的示意图； 图8为专利技术所述承载装置另一实施例的示意图。附图标记统一说明如下 1-真空吸盘；2-传输辊；3-导向滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，其特征在于，所述装置包括密封并全面覆盖平板玻璃（４）导电膜面并将平板玻璃（４）吸附住的真空吸盘（１）；在真空吸盘（１）内部设有密闭的抽气孔道（１ｃ）以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体（１ｆ），通过抽气孔道（１ｃ）与真空缓冲腔体（１ｆ）形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘（１）与平板玻璃（４）之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中吸附住平板玻璃（４）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金弼，张莉，刘志斌，
申请(专利权)人：中国南玻集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]