一种芯片制造生产用翻转装置制造方法及图纸

技术编号:38669916 阅读:17 留言:0更新日期:2023-09-02 22:48
本实用新型专利技术公开了一种芯片制造生产用翻转装置,涉及芯片生产加工技术领域;包括底板,底板顶部固定连接有两个中空的竖板,竖板内腔固定连接有气缸,气缸底端固定连接有U形板,U形板内侧活动连接有转动管,转动管内外两侧分别滑动连接有转动杆和移动管,转动杆上固定连接有气动夹爪,移动管外侧固定有齿轮和插接在第二开槽内的L形杆,竖板前侧内壁固定连接有若干个齿块。通过气缸带动U形板上移,继而带动齿轮和芯片同步上移,且上移过程中由于齿轮与齿块的啮合,使得齿轮带动芯片翻转,同时,由于气缸带动芯片上移,使芯片与底板之间的距离增大,从而使得芯片在翻转时有更大的高度空间,可以满足不同大小形状的芯片的翻转过程。可以满足不同大小形状的芯片的翻转过程。可以满足不同大小形状的芯片的翻转过程。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片制造生产用翻转装置


[0001]本技术涉及芯片生产加工
,具体为一种芯片制造生产用翻转装置。

技术介绍

[0002]芯片是对一种将电路小型化集成制造在半导体晶圆表面的半导体元件产品的统称,芯片在生产时需要对产品的两面都进行加工或检测,因此在生产过程中,需要对芯片进行翻转处理,一般通过翻转装置进行。
[0003]如公开号CN215796767U的一种芯片生产制造用翻转装置,包括底板,底板四角处设置有螺纹孔,底板上端设置有翻转台、控制器以及电机,控制器与电机电连接,控制器与外部电源电连接,电机左端设置有电机转动轴,电机转动轴贯穿于翻转台,且电机转动轴与翻转台通过轴承转动连接,电机转动轴左右两端设置有传动装置,翻转台上部设置有电缸以及转动柱,电缸与控制器电连接,电缸右端设置有伸缩杆,转动柱左端设置有支撑杆;通过本技术的设置,可以有效的解决了芯片生产过程中翻转困难的问题,提高了实用性。
[0004]上述的翻转装置在使用时仅能对夹持机构之间的距离进行调节,而夹持机构与下方台座之间的高度无法调节,使得在使用时,对长条状的芯片具有较高的适用性,而对于较大的方形或圆心芯片的翻转时,夹持机构与台座之间的距离无法满足芯片翻转所需要的空间,使得翻转过程无法进行。

技术实现思路

[0005]本技术解决的技术问题在于克服现有技术的适用范围小等缺陷,提供一种芯片制造生产用翻转装置。所述一种芯片制造生产用翻转装置具有适用范围广等特点。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种芯片制造生产用翻转装置,包括底板,所述底板顶部固定连接有两个左右设置的竖板,两个竖板均为中空设置,且内腔顶部均固定连接有气缸,所述气缸底端固定连接有U形板,所述U形板内侧活动连接有转动杆,且转动杆相靠近的一端穿过U形板和开设在竖板上的第一开槽延伸至竖板外侧,并固定连接有气动夹爪,所述转动杆上连接有齿轮,所述竖板前侧内壁固定连接有若干个齿块。
[0007]优选的,所述转动杆外侧套设有移动管,且转动杆与移动管滑动连接,所述移动管贯穿齿轮,所述移动管上固定连接有轴承,所述轴承外壁固定连接有L形杆,所述竖板前侧内壁开设有第二开槽,所述L形杆插接在第二开槽内。
[0008]优选的,所述转动杆与移动管之间套设有转动管,所述转动管与转动杆和移动管均为滑动连接,所述转动管两端与U形板活动连接,且转动管靠近气动夹爪一端穿过第一开槽延伸至竖板外侧,并活动连接有转环,所述转环内壁和转动杆外壁均开设有螺纹,并螺纹连接,所述竖板相远离一侧开设有第三开槽,所述转动杆穿过第三开槽。
[0009]优选的,所述第二开槽为回型封闭设置,且上下两侧为倾斜设置,所述第二开槽内位于上下两侧处均开设有开槽,所述开槽内活动连接有挡块,所述挡块与开槽之间固定连接有弹簧。
[0010]优选的,若干个所述齿块从上至下呈线性排列,且齿块的数量为齿轮齿数的一半。
[0011]优选的,所述移动管的两侧和U形板内壁均固定连接有外表粗糙的橡胶垫,且移动管与U形板相靠近一侧的橡胶垫相贴合。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果是:通过气缸带动U形板上移,继而带动齿轮和芯片同步上移,且上移过程中由于齿轮与齿块的啮合,使得齿轮带动芯片翻转,同时,由于气缸带动芯片上移,使芯片与底板之间的距离增大,从而使得芯片在翻转时有更大的高度空间,可以满足不同大小形状的芯片的翻转过程。
附图说明
[0013]图1为本技术立体图;
[0014]图2为本技术结构示意图;
[0015]图3为本技术竖板侧视结构图;
[0016]图4为本技术竖板俯视结构图;
[0017]图5为本技术第二开槽结构图。
[0018]图中标号:1、底板;2、竖板;3、气动夹爪;4、气缸;5、移动管;6、转动杆;7、转环;8、转动管;9、U形板;10、齿轮;11、轴承;12、L形杆;13、挡块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1

5,本技术提供一种技术方案:一种芯片制造生产用翻转装置,包括底板1,底板1顶部固定连接有两个左右设置的竖板2,两个竖板2均为中空设置,且内腔顶部均固定连接有气缸4,气缸4底端固定连接有U形板9,U形板9内侧活动连接有转动杆6,且转动杆6相靠近的一端穿过U形板9和开设在竖板2上的第一开槽延伸至竖板2外侧,并固定连接有气动夹爪3,转动杆6上连接有齿轮10,竖板2前侧内壁固定连接有若干个齿块,若干个齿块从上至下呈线性排列,且齿块的数量为齿轮10齿数的一半,使得齿轮10在与齿块啮合后转动时仅能转动180度,确保芯片翻转,且不会因为转动角度过小或过大而倾斜;
[0021]转动杆6外侧套设有移动管5,且转动杆6与移动管5滑动连接,转动杆6与移动管5之间套设有转动管8,转动管8与转动杆6和移动管5均为滑动连接,移动管5前后侧内壁均固定连接有第一滑块,转动管8前后两侧均开设有与第一滑块相匹配的第一滑槽,转动管8上下两侧内壁均固定连接有第二滑块,转动杆6顶部和底部均开设有与第二滑块相匹配的第二滑槽,转动管8两端与U形板9活动连接,且转动管8靠近气动夹爪3一端穿过第一开槽延伸至竖板2外侧,并活动连接有转环7,转环7内壁和转动杆6外壁均开设有螺纹,并螺纹连接,竖板2相远离一侧开设有第三开槽,转动杆6穿过第三开槽,通过转动转环7使转动杆6在转动管8内移动,从而可以调节两个气动夹爪3之间的距离,移动管5贯穿齿轮10,移动管5上固定连接有轴承11,轴承11外壁固定连接有L形杆12,竖板2前侧内壁开设有第二开槽,L形杆12插接在第二开槽内,第二开槽为回型封闭设置,且上下两侧为倾斜设置,气缸4带动移动
管5上移时,L形杆12在第二开槽内移动,当气缸4收缩至末端时,L形杆12移动至上侧斜边,此时,在移动管5上移的推力和斜边的阻力共同作用下,L形杆12移动至第二开槽的另一侧,并带动移动管5产生横向移动,从而使齿轮10与齿块错位,以此使得气缸4带动芯片下降时,齿轮10无法与齿块啮合,芯片不会再次翻转回去;
[0022]第二开槽内位于上下两侧处均开设有开槽,开槽内活动连接有挡块13,挡块13与开槽之间固定连接有弹簧,挡住L形杆12,防止L形杆12在随着移动管5移动时带动移动管5回移;
[0023]移动管5的两侧和U形板9内壁均固定连接有外表粗糙的橡胶垫,且移动管5与U形板9相靠近一侧的橡胶垫相贴合,使移动管5与U形板9之间接触,且具有较大的摩擦,避免移动管5在上下移动时受其他振动影响而转动。
[0024]工作原理:使用时,通过底板1将装本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片制造生产用翻转装置,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部固定连接有两个左右设置的竖板(2),两个竖板(2)均为中空设置,且内腔顶部均固定连接有气缸(4),所述气缸(4)底端固定连接有U形板(9),所述U形板(9)内侧活动连接有转动杆(6),且转动杆(6)相靠近的一端穿过U形板(9)和开设在竖板(2)上的第一开槽延伸至竖板(2)外侧,并固定连接有气动夹爪(3),所述转动杆(6)上连接有齿轮(10),所述竖板(2)前侧内壁固定连接有若干个齿块。2.根据权利要求1所述的一种芯片制造生产用翻转装置,其特征在于:所述转动杆(6)外侧套设有移动管(5),且转动杆(6)与移动管(5)滑动连接,所述移动管(5)贯穿齿轮(10),所述移动管(5)上固定连接有轴承(11),所述轴承(11)外壁固定连接有L形杆(12),所述竖板(2)前侧内壁开设有第二开槽,所述L形杆(12)插接在第二开槽内。3.根据权利要求2所述的一种芯片制造生产用翻转装置,其特征在于:所述转动杆(6)...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈建新
申请(专利权)人:上海益深电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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