一种弧形悬臂桨制造技术

本实用新型专利技术属于半导体生产工装技术领域，具体公开了一种弧形悬臂桨，包括互相连接的桨柄和桨叶，桨叶包括两个沿其长度方向延伸的支撑板，两个支撑板之间围设形成型腔，其中至少一个支撑板被配置为弧形板。通过型腔和弧形板的结构设置，有利于提高桨叶的承重能力，桨叶的强度较高，不易发生弯曲变形或折断。并且桨叶中位于下方的支撑板向桨柄一侧延伸，并与桨柄过渡连接，使得桨柄与桨叶之间的连贯性较好，且结构简单，制作成本较低。制作成本较低。制作成本较低。

【技术实现步骤摘要】
一种弧形悬臂桨


[0001]本技术涉及半导体生产工装
，尤其涉及一种弧形悬臂桨。

技术介绍

[0002]随着太阳能发电的普及，相关的半导体和光伏产品需求量越来越大，在日益提高的产能需求前提下，对于扩散工艺设备的主要零配件要求也越来越高。
[0003]其中，桨是承载石英舟的推送机构的重要配件。随着硅片尺寸的增大、硅片数量的增加和石英舟尺寸重量的增加，桨需要承受的负载和弯矩也越来越大。现有光伏行业扩散设备普遍使用的桨在使用时，由于过大负载加上高温条件的双层影响，桨的承重能力较差，长时间使用后容易发生折断，一旦发生折断，桨所承载的石英管、石英舟与硅片会破碎，造成损失。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种弧形悬臂桨，其结构强度大，承重能力强，在使用过程中不易折断。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]本技术提供一种弧形悬臂桨，该弧形悬臂桨包括：
[0007]桨柄；以及
[0008]桨叶，所述桨叶与所述桨柄连接，所述桨叶限定出型腔，所述型腔沿所述桨叶长度方向延伸的侧壁中至少一个为弧形壁。
[0009]可选地，所述桨叶包括两个沿其长度方向延伸的支撑板，两个所述支撑板之间围设形成型腔，其中至少一个所述支撑板被配置为弧形板。
[0010]可选地，两个所述支撑板均设置为弧形板，且两个所述弧形板朝向同一侧凸起。
[0011]可选地，所述型腔内设有加强筋板，所述加强筋板的两端分别与两个所述支撑板连接，所述加强筋板与所述支撑板之间围设形成加强腔。
[0012]可选地，所述加强筋板的数量为两个，两个所述加强筋板沿所述桨叶的轴线对称分布，且两个所述加强筋板将所述型腔分隔成位于中部的通风腔以及位于两侧的所述加强腔。
[0013]可选地，所述支撑板与所述加强筋板为一体成型结构。
[0014]可选地，所述加强筋板与所述支撑板的轴线之间具有夹角α，所述夹角α的取值范围为10
°
～50
°
。
[0015]可选地，两个所述加强筋板的倾斜方向相对设置。
[0016]可选地，两个所述支撑板上均设有通气孔，所述通气孔与所述型腔连通。
[0017]可选地，每个所述支撑板上的所述通气孔设置为至少一个，两个所述支撑板上的所述通气孔的位置一一对应。
[0018]可选地，所述通气孔设置为腰型孔。
[0019]可选地，所述弧形悬臂桨还包括过渡段，所述过渡段的两端分别连接所述桨柄和所述桨叶，所述桨柄的轴线与所述桨叶的轴线平行。
[0020]可选地，所述过渡段一端与所述桨柄的形状匹配，另一端与所述桨叶的形状匹配。
[0021]可选地，所述桨柄的内部中空形成空腔。
[0022]本技术的有益效果为：
[0023]本技术提供一种弧形悬臂桨，包括互相连接的桨柄和桨叶，桨叶包括两个沿其长度方向延伸的支撑板，两个支撑板之间围设形成型腔，其中至少一个支撑板被配置为弧形板。通过型腔和弧形板的结构设置，有利于提高桨叶的承重能力，桨叶的强度较高，不易发生弯曲变形或折断。并且桨叶中位于下方的支撑板向桨柄一侧延伸，并与桨柄过渡连接，使得桨柄与桨叶之间的连贯性较好，且结构简单，制作成本较低。
[0024]同时支撑板上设有通气孔，能够使得气源等穿过桨叶，并在桨叶周围顺畅流通，从而解决硅片暗片或者扩散不均的问题，有利于提高产品的良率。
附图说明
[0025]图1是本技术实施例中提供的弧形悬臂桨的结构示意图；
[0026]图2是图1中A处的局部放大图；
[0027]图3是本技术实施例中提供的弧形悬臂桨的俯视图；
[0028]图4是本技术实施例中提供的弧形悬臂桨的主视图；
[0029]图5是本技术实施例中提供的桨叶的剖面图；
[0030]图6是本技术实施例中提供的桨柄的剖面图。
[0031]图中：
[0032]100、桨柄；200、桨叶；201、通气孔；202、加强腔；203、通风腔；210、支撑板；220、加强筋板；300、过渡段。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0034]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0035]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0036]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0037]如图1
‑
图4所示，本实施例提供一种弧形悬臂桨，该弧形悬臂桨包括互相连接的桨柄100和桨叶200，桨叶200限定出型腔，型腔沿桨叶200长度方向延伸的侧壁中至少一个为弧形壁。
[0038]示例性地，桨叶200包括两个沿其长度方向延伸的支撑板210，两个支撑板210之间围设形成型腔，其中至少一个支撑板210被配置为弧形板。需要说明的是，桨叶200的其中一个支撑板210直接承受负载(石英舟与硅片的重量)，承受拉应力，另一个支撑板210承受压应力。通过型腔和弧形板的结构设置，有利于提高桨叶200的承重能力，桨叶200的强度较高，不易发生弯曲变形或折断。可选地，桨叶200中位于下方的支撑板210向桨柄100一侧延伸，并与桨柄100过渡连接，使得桨柄100与桨叶200之间的连贯性较好，且结构简单，制作成本较低。
[0039]进一步地，弧形悬臂桨还包括过渡段300，过渡段300的两端分别连接桨柄100和桨叶200，桨柄100的轴线与桨叶200的轴线平行，通过过渡段300的设置，提高了桨柄1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弧形悬臂桨，其特征在于，包括：桨柄(100)；以及桨叶(200)，所述桨叶(200)与所述桨柄(100)连接，所述桨叶(200)限定出型腔，所述型腔沿所述桨叶(200)长度方向延伸的侧壁中至少一个为弧形壁。2.根据权利要求1所述的弧形悬臂桨，其特征在于，所述桨叶(200)包括两个沿其长度方向延伸的支撑板(210)，两个所述支撑板(210)之间围设形成所述型腔，其中至少一个所述支撑板(210)为弧形板。3.根据权利要求2所述的弧形悬臂桨，其特征在于，两个所述支撑板(210)均设置为弧形板，且两个所述弧形板朝向同一侧凸起。4.根据权利要求2所述的弧形悬臂桨，其特征在于，所述型腔内设有加强筋板(220)，所述加强筋板(220)的两端分别与两个所述支撑板(210)连接，所述加强筋板(220)与所述支撑板(210)之间围设形成加强腔(202)。5.根据权利要求4所述的弧形悬臂桨，其特征在于，所述加强筋板(220)的数量为两个，两个所述加强筋板(220)沿所述桨叶(200)的轴线对称分布，且两个所述加强筋板(220)将所述型腔分隔成位于中部的通风腔(203)以及位于两侧的所述加强腔(202)。6.根据权利要求5所述的弧形悬臂桨，其特征在于，所述加强筋板(220)与所述支撑板(210)的轴线之间具有夹角α，所述夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：