带有缓流功能的特气加热装置制造方法及图纸

技术编号:38665903 阅读:21 留言:0更新日期:2023-09-02 22:46
本实用新型专利技术公开了带有缓流功能的特气加热装置,属于气体供应技术领域,本实用新型专利技术包括加热机体,所述加热机体底部固定安装有定位稳固组件,所述定位稳固组件包括固定架、支撑板、定位螺栓、定位孔和定位柱,所述加热机体两侧底部均对称固定安装有固定架,所述固定架内侧底部转动连接有支撑板,所述固定架内侧底部螺纹连接有定位螺栓,所述支撑板顶端等距开设有定位孔,本实用新型专利技术通过定位稳固组件,便于工作人员对支撑板进行旋转固定,降低了工作人员定位支撑板难度,从而便于工作人员将加热机体与外界物体固定连接,保证了加热机体使用时的稳定性,也便于工作人员在支撑板不使用时对其进行收纳处理。其进行收纳处理。其进行收纳处理。

【技术实现步骤摘要】
带有缓流功能的特气加热装置


[0001]本技术涉及气体供应
,具体为带有缓流功能的特气加热装置。

技术介绍

[0002]特气柜是特种气体供应系统里主要设备,特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑原材料,从而在特气供应过程中,往往会使用到加热装置对气体进行升温处理。
[0003]为此中国专利网公开了一种特气加热装置,申请号为202021997886.9,通过特气钢瓶中的特气经过加热电夹克加热之后从进入装置加热管中,然后从排气口出去供应到机台端,由于装置外壳体内的装置加热管为螺旋管状结构,既能够缓存一定量的特气,又能保证稳定的特气状态,以实现机台对于特气的不间断需求,有效的解决了特气供应不顺畅的问题。
[0004]虽然上述申请在一定程度上满足了使用者的使用需求,但在使用过程中仍存在一定的缺陷,具体问题如下,由于加热装置在使用时不便于工作人员对其位置进行固定,从而使得加热装置在使用时容易受到外界的碰撞而发生晃动的现象,进而降低了加热装置使用时的稳定性,基于此,本技术设计了带有缓流功能的特气加热装置,以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供带有缓流功能的特气加热装置,以解决上述
技术介绍
中提出由于加热装置在使用时不便于工作人员对其位置进行固定,从而使得加热装置在使用时容易受到外界的碰撞而发生晃动的现象,进而降低了加热装置使用时的稳定性的问题。
[0006]为了解决上述技术问题,本技术提供如下技术方案:带有缓流功能的特气加热装置,包括加热机体,所述加热机体底部固定安装有定位稳固组件,所述定位稳固组件包括固定架、支撑板、定位螺栓、定位孔和定位柱;
[0007]所述加热机体两侧底部均对称固定安装有固定架,所述固定架内侧底部转动连接有支撑板,所述固定架内侧底部螺纹连接有定位螺栓,所述支撑板顶端等距开设有定位孔,四个所述定位孔内侧嵌入滑动连接有定位柱,便于工作人员对移动后的加热机体位置进行固定;
[0008]所述加热机体内侧固定安装有缓流加热组件,所述缓流加热组件包括缓流管、缓流板、橡胶薄片和电热丝;
[0009]所述加热机体内侧中部嵌入固定安装有缓流管,所述缓流管内侧等距交错固定安装有缓流板,所述缓流板一侧中部固定安装有橡胶薄片,所述加热机体内侧对应缓流管外侧位置处固定安装有电热丝,便于工作人员对气体进行缓流加热处理。
[0010]优选的,所述定位稳固组件还包括弹簧伸缩柱和卡块;
[0011]所述固定架顶端两边部均嵌入固定安装有弹簧伸缩柱,两个所述弹簧伸缩柱顶端共固定安装有卡块。
[0012]优选的,所述缓流加热组件还包括进气管和出气管;
[0013]所述缓流管一端部固定连接有进气管,所述缓流管另一端部固定连接有出气管。
[0014]与现有技术相比,本技术所达到的有益效果是:
[0015]1.通过定位稳固组件,便于工作人员对支撑板进行旋转固定,降低了工作人员定位支撑板难度,从而便于工作人员将加热机体与外界物体固定连接,保证了加热机体使用时的稳定性,也便于工作人员在支撑板不使用时对其进行收纳处理。
[0016]2.通过缓流加热组件,便于工作人员对气体的流动速度进行减缓,从而增强了气体在缓流管内侧的流动时间,进而便于工作人员对气体进行升温处理,降低了工作人员加热气体的难度。
附图说明
[0017]附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:
[0018]图1是本技术带有缓流功能的特气加热装置的结构示意图;
[0019]图2是本技术定位稳固组件的结构示意图;
[0020]图3是本技术缓流加热组件的结构示意图;
[0021]图中:1、加热机体;
[0022]2、定位稳固组件;201、固定架;202、支撑板;203、定位螺栓;204、定位孔;205、定位柱;206、弹簧伸缩柱;207、卡块;
[0023]3、缓流加热组件;301、缓流管;302、缓流板;303、橡胶薄片;304、电热丝;305、进气管;306、出气管。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1

图3,本技术提供技术方案:带有缓流功能的特气加热装置,包括加热机体1,加热机体1底部固定安装有定位稳固组件2,定位稳固组件2包括固定架201、支撑板202、定位螺栓203、定位孔204和定位柱205;
[0026]加热机体1两侧底部均对称固定安装有固定架201,固定架201内侧底部转动连接有支撑板202,支撑板202底端开设有防滑纹,增大支撑板202与地面的摩擦力,固定架201内侧底部螺纹连接有定位螺栓203,定位螺栓203滑动连接于支撑板202内侧,能够对支撑板202旋转后位置进行固定,支撑板202顶端等距开设有定位孔204,四个定位孔204内侧嵌入滑动连接有定位柱205;
[0027]加热机体1内侧固定安装有缓流加热组件3,缓流加热组件3包括缓流管301、缓流板302、橡胶薄片303和电热丝304;
[0028]加热机体1内侧中部嵌入固定安装有缓流管301,缓流管301内侧等距交错固定安装有缓流板302,缓流板302一侧中部固定安装有橡胶薄片303,橡胶薄片303一侧与缓流管301内侧接触,能够对气体进行缓流处理,加热机体1内侧对应缓流管301外侧位置处固定安装有电热丝304,电热丝304输入端与外部电源的输出端电性连接。
[0029]定位稳固组件2还包括弹簧伸缩柱206和卡块207;
[0030]固定架201顶端两边部均嵌入固定安装有弹簧伸缩柱206,两个弹簧伸缩柱206顶端共固定安装有卡块207,卡块207卡接于支撑板202内侧,能够对支撑板202旋转后的位置进行固定。
[0031]当工作人员需要对加热机体1进行支撑时,工作人员拉动卡块207,能够使得卡块207与支撑板202分离,之后,工作人员松开卡块207,通过卡块207底端固定安装的弹簧伸缩柱206弹性作用,能够对卡块207移动后的位置进行复位处理,此时,通过支撑板202与固定架201转动连接,能够对支撑板202进行旋转,当支撑板202旋转到合适位置后,工作人员将定位螺栓203穿过支撑板202,并扭转定位螺栓203,通过定位螺栓203外侧与固定架201螺纹连接,能够对旋转后的支撑板202位置进行固定,此时,工作人员移动定位柱20本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.带有缓流功能的特气加热装置,包括加热机体(1),其特征在于:所述加热机体(1)底部固定安装有定位稳固组件(2),所述定位稳固组件(2)包括固定架(201)、支撑板(202)、定位螺栓(203)、定位孔(204)和定位柱(205);所述加热机体(1)两侧底部均对称固定安装有固定架(201),所述固定架(201)内侧底部转动连接有支撑板(202),所述固定架(201)内侧底部螺纹连接有定位螺栓(203),所述支撑板(202)顶端等距开设有定位孔(204),四个所述定位孔(204)内侧嵌入滑动连接有定位柱(205);所述加热机体(1)内侧固定安装有缓流加热组件(3),所述缓流加热组件(3)包括缓流管(301)、缓流板(302)、橡胶薄片(303)和电热丝(304);所述加热机体(1)内侧中部嵌入固定安装有缓流管(301),所述缓流管(301)内侧等距交错固定安装有缓流板(302),所述缓流板(302)一侧中部固定安装有橡胶薄片(303),所述加热机体(1)内侧对应缓流管(301)外侧位置处固定安装有电热丝(304)。2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭开春喻正义
申请(专利权)人:阁壹工程技术上海有限公司
类型:新型
国别省市:

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