一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置，包括基座、支架、光源、多个影像撷取单元、影像辨识单元及控制单元。基座包括晶舟放置部及第一开关，第一开关设置于晶舟放置部上。光源设置于支架上。多个影像撷取单元设置于支架上。控制单元电性连接第一开关、光源、多个影像撷取单元及影像辨识单元。因此，本发明专利技术的晶圆刻号辨识装置能够自动启闭光源、影像撷取单元和影像辨识单元，操作上相当简便。操作上相当简便。操作上相当简便。
【技术实现步骤摘要】
自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置
[0001]本专利技术是有关一种晶圆刻号辨识装置，特别是一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置。
技术介绍
[0002]混线(hybrid floor shop)生产中，常会出现不同供货商提供的晶圆同时加工生产的情形。如果不同批的晶圆，都需要重新设定和训练光学字符识别(optical character recognition，OCR)，会大幅影响生产速度，使检验环节成为生产在线的瓶颈。因此，晶圆刻号辨识便成为半导体封测厂中的重要环节，能够快速区分晶圆，以提升管理效率，并且降低晶圆混淆或丢失的风险。
[0003]然而，现有的晶圆辨识装置是利用手动按压第一开关启闭光源、影像撷取单元和影像辨识单元，操作上相当麻烦。
[0004]再者，现有的晶圆辨识装置缺乏光源补光且只有单一个影像撷取单元从单一角度撷取影像，容易受到外在环境的干扰(例如，多变且光扰环境)，辨识效果差。
[0005]此外，现有的晶圆辨识装置需要事先设定和训练光学字符识别以取得字型，难以应付混批多样的生产线。
技术实现思路
[0006]本专利技术的主要目的在于提供一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置，能够自动启闭光源、影像撷取单元和影像辨识单元，操作上相当简便。
[0007]本专利技术的另一目的在于提供一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置，能够通过光源补光以及多个影像撷取单元从不同角度撷取影像，不易受到外在环境的干扰，提高辨识效果。
[0008]本专利技术的又一目的在于提供一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置，无须事先知道字型及取得字型，易于应付混批多样的生产线。
[0009]为了达成前述的目的，本专利技术提供一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置，包括基座、支架、至少一个光源、多个影像撷取单元、影像辨识单元以及控制单元。基座包括晶舟放置部及至少一个第一开关，至少一个第一开关设置于晶舟放置部上。至少一个光源设置于支架上。多个影像撷取单元设置于支架上。控制单元电性连接至少一个第一开关、至少一个光源、多个影像撷取单元及影像辨识单元。其中，当一个晶舟放置在晶舟放置部时，至少一个第一开关传送第一启动信号至控制单元，控制单元根据第一启动信号启动至少一个光源、多个影像撷取单元及影像辨识单元，至少一个光源投射光线至晶舟中的多片晶圆以进行补光，多个影像撷取单元撷取晶舟中的多个晶圆的刻号的影像，控制单元接收多个晶圆的刻号的影像并且传送到影像辨识单元，影像辨识单元根据多个晶圆的刻号的影像辨识出多个晶圆的刻号。其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，至少一个第一开关传送第一关闭信号至控制单元，控制单元根据第一关闭信号关闭至少一个光源、多个影像撷取单元及
影像辨识单元。
[0010]在一些实施例中，基座还包括定位件，定位件设置于晶舟放置部上并且开设至少一个定位槽，至少一个第一开关位于至少一个定位槽中；以及，其中，当晶舟放置于晶舟放置部时，晶舟的至少一个突出部定位于至少一个定位槽中并且压住至少一个第一开关。
[0011]在一些实施例中，支架包括底座及支撑件，晶舟放置部设置于底座上，支撑件固定于底座上，至少一个光源与多个影像撷取单元设置于支撑件上。
[0012]在一些实施例中，支架包括底座及支撑件，晶舟放置部设置于底座上，支撑件能够相对底座升降，至少一个光源与多个影像撷取单元设置于支撑件上；其中，当晶舟放置在晶舟放置部时，支撑件往上移动至第一位置并且位于底座的上方；以及，其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，支撑件往下移动至第二位置并且位于底座的下方。
[0013]在一些实施例中，支架还包括升降机构，升降机构设置于底座上并且电性连接控制单元，支撑件设置于升降机构上；其中，当晶舟放置在晶舟放置部时，控制单元根据第一启动信号控制升降机构，使得升降机构驱动支撑件往上移动至第一位置；以及，其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，控制单元根据第一关闭信号控制升降机构，使得升降机构驱动支撑件往下移动至第二位置。
[0014]在一些实施例中，升降机构包括轨道、滑块及驱动单元，轨道固定于底座，滑块滑设于轨道，驱动单元连接滑块并且电性连接控制单元，支撑件设置于滑块上；其中，当晶舟放置在晶舟放置部时，控制单元根据第一启动信号控制驱动单元，驱动单元驱动滑块沿着轨道往上移动，使得滑块驱动支撑件往上移动至第一位置；其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，控制单元根据第一关闭信号控制驱动单元，驱动单元驱动滑块沿着轨道往下移动，使得滑块驱动支撑件往下移动至第二位置。
[0015]在一些实施例中，支架还包括第一位置传感器及第二位置传感器，第一位置传感器设置于升降机构上并且电性连接控制单元，第二位置传感器设置于升降机构上并且电性连接控制单元；其中，当第一位置传感器感测到支撑件位于第一位置时，第一位置传感器传送第一感测信号至控制单元，控制单元根据第一感测信号判定支撑件位于第一位置并且进一步根据第一启动信号启动至少一个光源、多个影像撷取单元及影像辨识单元；以及，其中，当第二位置传感器感测到支撑件位于第二位置时，第二位置传感器传送第二感测信号至控制单元，控制单元根据第二感测信号判定支撑件位于第二位置并且进一步根据第一关闭信号关闭至少一个光源、多个影像撷取单元及影像辨识单元。
[0016]在一些实施例中，基座包括枢接部，枢接部设置于晶舟放置部上，支架包括底座及支撑件，支撑件固定于底座上并且枢设于枢接部，至少一个光源与多个影像撷取单元皆设置于支撑件上；其中，当晶舟接触到底座时，支撑件相对枢接部往上旋转，使得底座往下旋转至第一位置，且晶舟放置在晶舟放置部；以及，其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，支撑件相对枢接部往下旋转，使得底座往上旋转至第二位置。
[0017]在一些实施例中，当晶舟接触到底座时，底座受到晶舟的重力的下压而往下旋转，同时支撑件受到底座的牵引而相对枢接部往上旋转；以及，其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，支撑件的重力能够使支撑件相对枢接部往下旋转，底座受到支撑件的牵引而往上旋转至第二位置。
[0018]在一些实施例中，支架还包括至少一个第二开关及一个旋转机构，至少一个第二
开关设置于底座上并且电性连接控制单元，旋转机构连接支撑件并且电性连接控制单元；其中，当晶舟接触到底座时，至少一个第二开关传送第二启动信号至控制单元，控制单元根据第二启动信号控制旋转机构，旋转机构驱动支撑件相对枢接部往上旋转，底座受到支撑件的牵引而往下旋转至第一位置，且晶舟放置在晶舟放置部；以及，其中，在晶舟从晶舟放置部移除以后，至少一个第二开关传送一个第二关闭信号，控制单元根据第二关闭信号控制旋转机构，旋转机构驱动支撑件相对枢接部往下旋转，底座受到支撑件的牵引而往上旋转至第二位置。
[0019]本专利技术的功效在于，本专利技术的晶圆刻号辨识装置能够自动启闭光源、影像撷取单元和影像辨识单元，操作上相当简便。
[0020]再者，本专利技术的晶圆刻号辨识装置能够通过光源补光以及多个影像撷取单元从不同角度撷取影像，不易受到外在环境的干扰，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动启闭辨识功能的晶圆刻号辨识装置，其特征在于，包括：基座，包括晶舟放置部及至少一个第一开关，所述至少一个第一开关设置于所述晶舟放置部上；支架；至少一个光源，设置于所述支架上；多个影像撷取单元，设置于所述支架上；影像辨识单元；以及控制单元，电性连接所述至少一个第一开关、所述至少一个光源、所述多个影像撷取单元及所述影像辨识单元；其中，当晶舟放置在所述晶舟放置部时，所述至少一个第一开关传送第一启动信号至所述控制单元，所述控制单元根据所述第一启动信号启动所述至少一个光源、所述多个影像撷取单元及所述影像辨识单元，所述至少一个光源投射光线至所述晶舟中的多片晶圆以进行补光，所述多个影像撷取单元撷取所述晶舟中的所述多片晶圆的刻号的影像，所述控制单元接收所述多片晶圆的刻号的影像并且传送到所述影像辨识单元，所述影像辨识单元根据所述多片晶圆的刻号的影像辨识出所述多片晶圆的刻号；以及其中，在所述晶舟从所述晶舟放置部移除以后，所述至少一个第一开关传送第一关闭信号至所述控制单元，所述控制单元根据所述第一关闭信号关闭所述至少一个光源、所述多个影像撷取单元及所述影像辨识单元。2.如权利要求1所述的晶圆刻号辨识装置，其特征在于，所述基座还包括定位件，所述定位件设置于所述晶舟放置部上并且开设至少一个定位槽，所述至少一个第一开关位于所述至少一个定位槽中；以及，其中，当所述晶舟放置于所述晶舟放置部时，所述晶舟的至少一个突出部定位于所述至少一个定位槽中并且压住所述至少一个第一开关。3.如权利要求1所述的晶圆刻号辨识装置，其特征在于，所述支架包括底座及支撑件，所述晶舟放置部设置于所述底座上，所述支撑件固定于所述底座上，所述至少一个光源与所述多个影像撷取单元设置于所述支撑件上。4.如权利要求1所述的晶圆刻号辨识装置，其特征在于，所述支架包括底座及支撑件，所述晶舟放置部设置于所述底座上，所述支撑件能够相对所述底座升降，所述至少一个光源与所述多个影像撷取单元设置于所述支撑件上；其中，当所述晶舟放置在所述晶舟放置部时，所述支撑件往上移动至第一位置并且位于所述底座的上方；以及，其中，在所述晶舟从所述晶舟放置部移除以后，所述支撑件往下移动至第二位置并且位于所述底座的下方。5.如权利要求4所述的晶圆刻号辨识装置，其特征在于，所述支架还包括升降机构，所述升降机构设置于所述底座上并且电性连接所述控制单元，所述支撑件设置于所述升降机构上；其中，当所述晶舟放置在所述晶舟放置部时，所述控制单元根据所述第一启动信号控制所述升降机构，使得所述升降机构驱动所述支撑件往上移动至所述第一位置；以及，其中，在所述晶舟从所述晶舟放置部移除以后，所述控制单元根据所述第一关闭信号控制所述升降机构，使得所述升降机构驱动所述支撑件往下移动至所述第二位置。6.如权利要求5所述的晶圆刻号辨识装置，其特征在于，所述升降机构包括轨道、滑块及驱动单元，所述轨道固定于所述底座，所述滑块滑设于所述轨道，所述驱动单元连接所述滑块并且电性连接所述控制单元，所述支撑件设置于所述滑块上；其中，当所述晶舟放置在
所述晶舟放置部时，所述控制单元根据所述第一启动信号控制...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶维彰，谭诗毅，林元慈，
申请(专利权)人：叶维彰，
类型：发明
国别省市：
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