一种用于晶圆切割环加工的上料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于晶圆切割环加工的上料装置，包括拾取组件和驱动组件，拾取组件和驱动组件连接，所述拾取组件包括支撑板和拾取头，拾取头与支撑板连接，所述驱动组件包括电机，传动机构，摆臂，连接杆和摆动杆，所述电机与传动机构连接，所述摆臂两端分别与传动机构和连接杆枢轴连接，电机通过传动机构带动摆臂往复摆动，所述连接杆与摆动杆的中部枢轴连接，摆动杆的一端与支撑板枢轴连接，另一端与底座转动连接。本实用新型专利技术的一种用于晶圆切割环加工的上料装置能够使拾取组件通过一次移动即可移动到位，有效提升了上料速度，提升了加工效率。了加工效率。了加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆切割环加工的上料装置


[0001]本技术涉及晶圆切割环加工设备
，特别涉及一种用于晶圆切割环加工的上料装置。

技术介绍

[0002]晶圆切割环是使用在在半导体晶圆加工中的一种辅助工具，晶圆加工时，晶圆切割环先于其中一个表面粘贴一层胶膜，以刀具切割去除多余胶膜，将晶圆切割环以胶膜粘固着晶圆，以利后续加工作业顺利进行，该胶膜也能避免晶圆切割环刮伤晶圆。晶圆切割环在加工过程中，需要将物料逐一上料，现有的上料装置通常采用升降装置和水平移动装置调整位置，从而将物料放置到指定位置，公告号为CN214326429U公开了一种晶圆切割环自动上料机构，其主要专利技术构思即采用气缸升降的方式进行物料位置调整。但是，当放置位置位于拾取位置的斜上方时，上述技术方案需要进行水平和竖直方向两个方向的移动，才能将物料从拾取位置转移到放置位置，降低了上料效率。

技术实现思路

[0003]本技术为了解决现有技术的问题，提供了一种能够通过一次移动将物料从拾取位置转移到放置位置的用于晶圆切割环加工的上料装置。
[0004]具体技术方案如下：一种用于晶圆切割环加工的上料装置，包括拾取组件和驱动组件，拾取组件和驱动组件连接，所述拾取组件包括支撑板和拾取头，拾取头与支撑板连接，所述驱动组件包括电机，传动机构，摆臂，连接杆和摆动杆，所述电机与传动机构连接，所述摆臂两端分别与传动机构和连接杆枢轴连接，电机通过传动机构带动摆臂往复摆动，所述连接杆与摆动杆的中部枢轴连接，摆动杆的一端与支撑板枢轴连接，另一端与底座转动连接。
>[0005]作为优选方案，所述连接杆上设有调节块，调节块与摆动杆连接。
[0006]作为优选方案，所述连接杆上设有螺纹部，调节块两端设有螺母，螺母与螺纹部螺纹连接。
[0007]作为优选方案，所述底座设有缓冲器，缓冲器与调节块相对设置。
[0008]作为优选方案，所述拾取组件包括调节气缸，调节气缸设置在支撑板上，调节气缸的伸缩杆与拾取头连接。
[0009]作为优选方案，所述拾取头上设有吸盘，多个吸盘间隔设置。
[0010]作为优选方案，上料装置包括放料台，放料台与升降组件连接。
[0011]作为优选方案，所述升降组件包括螺杆和驱动电机，螺杆竖直设置，驱动电机与螺杆连接，螺杆与放料台螺纹连接。
[0012]作为优选方案，所述驱动组件包括辅助摆杆，辅助摆杆两端分别与底座和支撑板枢轴连接。
[0013]本技术的技术效果：本技术的一种用于晶圆切割环加工的上料装置能够
使拾取组件通过一次移动即可移动到位，有效提升了上料速度，提升了加工效率。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1是本技术实施例的一种用于晶圆切割环加工的上料装置的示意图。
[0016]图2是本技术实施例的驱动组件的示意图。
[0017]图3是本技术实施例的拾取组件的示意图。
[0018]图4是本技术实施例的升降组件的示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。
[0023]如图1至图4所示，本实施例的一种用于晶圆切割环加工的上料装置，包括拾取组件1和驱动组件2，拾取组件1和驱动组件2连接，通过驱动组件2带动拾取组件1运动。所述拾取组件1包括支撑板11和拾取头12，拾取头12与支撑板11连接，通过支撑板11支撑拾取头12。所述驱动组件2包括电机3，传动机构4，摆臂5，连接杆6和摆动杆7，所述电机3与传动机构4连接，所述摆臂5两端分别与传动机构3和连接杆6枢轴连接，电机3通过传动机构4带动摆臂5往复摆动，传动机构4可以转换电机运动方向，电机正反转从而使传动机构的输出轴往复摆动，传动机构4可采用现有的传动装置，例如涡轮蜗杆装置，电机带动蜗杆转动，从而使设置在涡轮上的转轴转动。所述连接杆6与摆动杆7的中部枢轴连接，摆动杆7的一端与支撑板11枢轴连接，另一端与底座8转动连接，从而当摆臂5摆动时，能够带动连接杆6运动，连接杆6带动摆动杆7往复摆动，从而使支撑板11带动拾取组件1往复运动。上述技术方案中，
拾取组件1能够在拾取位置A和放置位置B之间来回运动，放置位置B高于拾取位置A，物料10放置在拾取位置A，从而使物料10能够运往放置位置B。本实施例中，放置位置B设有输送机，通过输送机将物料输送向指定位置。通过上述技术方案，能够使拾取组件通过一次移动即可移动到位，提升了上料速度。
[0024]本实施例中，所述连接杆6上设有调节块9，调节块9与摆动杆7连接，从而通过调节块9能够方便与连接杆6组接。所述连接杆6上设有螺纹部61，调节块9两端设有螺母91，螺母91与螺纹部62螺纹连接，从而能够使调节块9在连接杆6上移动，调节位置。所述底座8设有缓冲器20，缓冲器20与调节块9相对设置，当调节块9与缓冲器20接触时，缓冲器20能够吸收冲击力，同时能够起到限位作用。
[0025]本实施例中，所述拾取组件1包括调节气缸13，调节气缸13设置在支撑板11上，调节气缸13的伸缩杆与拾取头12连接，从而通过调节气缸13能够调整拾取头12的高度。所述拾取头12上设有吸盘14，多个吸盘14间隔设置，从而通过吸盘14吸取物料，本实施例的物料为板材，可采用吸盘14，也可采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆切割环加工的上料装置，包括拾取组件和驱动组件，拾取组件和驱动组件连接，其特征在于，所述拾取组件包括支撑板和拾取头，拾取头与支撑板连接，所述驱动组件包括电机，传动机构，摆臂，连接杆和摆动杆，所述电机与传动机构连接，所述摆臂两端分别与传动机构和连接杆枢轴连接，电机通过传动机构带动摆臂往复摆动，所述连接杆与摆动杆的中部枢轴连接，摆动杆的一端与支撑板枢轴连接，另一端与底座转动连接。2.根据权利要求1所述的用于晶圆切割环加工的上料装置，其特征在于，所述连接杆上设有调节块，调节块与摆动杆连接。3.根据权利要求2所述的用于晶圆切割环加工的上料装置，其特征在于，所述连接杆上设有螺纹部，调节块两端设有螺母，螺母与螺纹部螺纹连接。4.根据权利要求3所述的用于晶圆切割环加工的上料装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋松杰，
申请(专利权)人：苏州恩斯贝格精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：