一种恒温风机过滤装置，包括：壳体，壳体内部安装有过滤模块、风机模块以及加热模块，其中，加热模块以及风机模块均安装在过滤模块上游侧；检测模块；电控模块，与风机模块、加热模块以及检测模块电性连接；分隔板，安装在壳体内部且设有多个，多个分隔板纵向交错设置，且相邻分隔板纵向投影部分重合设置，多个分隔板与壳体内壁构成限定被加热气体流动的气体流道；还包括使得气体流道内气流产生背压的阻挡壁，分隔板与阻挡壁之间间隙形成流道出口，流道出口设置在气体流道侧部。从而通过加热模块即可实现对于空气加热至恒温，以通过恒温的空气进入到机台内部保证机台内部温度保持恒温。气进入到机台内部保证机台内部温度保持恒温。气进入到机台内部保证机台内部温度保持恒温。
【技术实现步骤摘要】
一种恒温风机过滤装置
[0001]本技术涉及空气过滤装置，尤其涉及一种恒温风机过滤装置。
技术介绍
[0002]在半导体生产制造领域，制造车间多数是采用无尘车间，无尘车间主要以风机过滤机组(FFU)以满足车间内部空气洁净度的要求，并通过空调系统满足车间内部的恒温要求。并且为了进一步确保设备内部空气的洁净程度，还会在设备上配备设备风机过滤机组(EFU)，以实现进一步提高设备内部空气的洁净度，避免空气中的颗粒物影响产品的加工。
[0003]但是无尘车间由于空间较大，加上设备以及人员的影响，导致各处的温度会存在一定的差异，而这种情况下，在例如面板曝光机等对于温度要求较高的机台来说，其内部温度的波动，以及温度，均将会对于产品的良率造成较大的影响，并且温度作为影响因素，更是将会导致实际上机台的工艺难以准确的控制，从而将会影响产品的加工。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种恒温风机过滤装置。
[0005]为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0006]一种恒温风机过滤装置，包括：
[0007]壳体，所述壳体内部安装有过滤模块、风机模块以及加热模块，
[0008]其中，所述加热模块以及风机模块均安装在过滤模块上游侧；
[0009]检测模块，包括设置在过滤模块输出端的温度传感器；
[0010]电控模块，与风机模块、加热模块以及检测模块电性连接，所述电控模块根据温度传感器检测温度修订风机模块工作功率和/或加热模块功率；
[0011]分隔板，安装在壳体内部且设有多个，多个所述分隔板纵向交错设置，且相邻分隔板纵向投影部分重合设置，多个所述分隔板与壳体内壁构成限定被加热气体流动的气体流道；
[0012]还包括使得气体流道内气流产生背压的阻挡壁，所述分隔板与阻挡壁之间间隙形成流道出口，所述流道出口设置在气体流道侧部。
[0013]如此设置，能够实现通过加热模块对于被风机模块带动的气流加热至恒温状态，然后被加热的气流通过过滤模块进行过滤之后进入到机台内部，且由于该气流具有恒温且洁净的特点，从而既能够保持机台内部的洁净，又能够保持机台内部恒温。其中，被加热之后的气体沿着气体流道流动，并且在流道出口处被阻挡壁所阻挡或使得气体流动方向发生急剧改变，从而使得流动的被加热气体产生背压，并且这个过程中，气体将会在于阻挡壁附近产生紊流，从而使得被加热空气之间将会相互混合，以实现气流各处的温度分布均匀，从而确保机台内部的各处温度相同或者温度相近。
[0014]进一步地，所述壳体包括过滤壳体以及水平横截面面积小于过滤壳体的加热壳
体，所述加热壳体固定连接在过滤壳体输入侧，所述加热模块安装在加热壳体内部，所述过滤模块安装在过滤壳体内部。
[0015]如此设置，能够实现气流被加热时所处腔室的体积较小，实现加热壳体内部的温度更加集中，且温度分布差异较小，从而能够实现更加快速的对于气流进行加热且保持各处被加热的气流温度分布基本一致。同时该设置还能够减小装置整体的体积以及重量，从而方便运输以及减小装置安装时占用的空间。
[0016]进一步地，所述风机模块输出端面积小于过滤模块输入端面积，所述风机模块与过滤模块之间设置有使气流均匀分布的均流组件。
[0017]如此设置，能够实现风机模块输出端吹出的气流能够被均流组件较为均匀的分散到过滤模块的整个输入面上，从而实现被加热后的气体通过过滤模块之后，将会均匀的从过滤模块的输出侧排出，以实现气流能够均匀的进入到机台内部。
[0018]进一步地，所述均流组件包括用于分散风机输出气流的多个导流板；
[0019]或，所述均流组件包括分流板，所述分流板上开设有多个气孔，多个所述气孔在分流板上呈中间小边缘大分布的结构。
[0020]如此设置，能够实现风机吹出的气流，在多个导流板的作用下，平均的分布在过滤模块的输入端，从而实现气流能够更加均匀的穿过过滤模块，被过滤、并且均匀的吹向机体内部；或者通过分流板上多个气孔的设置，同样起到均匀分配气流的效果，从而气体能够均匀的分布在过滤模块的输入端，从而实现穿过过滤模块的气流能够均匀的进入机台内部。
[0021]进一步地，所述加热壳体内部设置有加热腔以及电气安装腔，所述电气安装腔设置在加热腔外侧，所述加热模块以及分隔板均安装在加热腔内部。
[0022]如此设置，电气安装腔能够对于加热腔起到分隔的作用，以避免加热模块的电性连接部位在加热腔内部而导致电气元件的温度过高，导致的电气元件因温度过高而出现的工作异常甚至损坏等情况发生。同样的，其余的开关以及控制面板等电气元件电性连接部位，也可以在安装在电气安装腔内部，以实现避免加热腔内部的高温环境对于电气结构以及电气连接部位造成影响。
[0023]进一步地，所述加热壳体内部设置有引导件，所述引导件内壁为光滑过渡结构，所述引导件上下两端分别与加热腔底部以及风机模块输入端连通设置。
[0024]通过引导件可以实现加热腔内部的空气能够更加平稳的进入到风机模块内部
[0025]进一步地，相邻所述分隔板纵向投影重合部位之间形成有安装加热模块的安装部。
[0026]如此设置，可以实现气流通过气体流道时，能够被加热模块进行加热，而气流在气体流道内部更加集中，气体流道由于自身空间较小，其各处的温度分布较小，从而气流被加热的更加均匀。同时，该种设置还能够实现各个装置结构更加的紧凑，以实现装置的体积更小。
[0027]进一步的，所述安装部设置有多个；
[0028]或，所述安装部安装有多组加热模块。
[0029]从而能够实现气流在流道内部时，能够被多次加热，以实现单个加热模块保持一个相对较低的功率即可实现将气流加热至所需的温度，避免加热模块自身功率过大导致出现温度异常以及自身容易损坏等情况发生。同时，当安装部设置有多个时，可以在每个安装
部内部设置有一个加热模块，当气流依次通过多个安装部时，气流将会被依次加热，并且在该结构中，阻挡壁设置有多个，以实现气流中各处的温度分布能够更加的均匀；当安装部安装有多组加热模块时，气流依次通过多个加热模块，将会被依次进行加热，并且该结构中，还能够实现装置各结构更加的紧密，以实现装置体积更小。
[0030]进一步的，所述电控模块包括电性连接的MUC以及电力调整器，所述电力调整器通过MUC设定的温度与温度传感器检测温度之间的偏差，对加热模块的功率进行调整使实际温度与设定温度相同。
[0031]如此设置，能够实现MUC能够通过温度传感器检测的温度以及电力调整器实现对于加热模块的功率起到动态调节的作用，从而实现确保温度能够自动的达到所需要的温度。
[0032]进一步地，所述检测模块包括在气体流道进风口以及出风口至少一处设置的温度开关，所述温度开关与MUC电性连接；
[0033]和/或，所述检测模块包括与MUC电性连接的压差传感器，所述压差传感器两个采压口分本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种恒温风机过滤装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体内部安装有过滤模块、风机模块以及加热模块，其中，所述加热模块以及风机模块均安装在过滤模块上游侧；检测模块，包括设置在过滤模块输出端的温度传感器；电控模块，与风机模块、加热模块以及检测模块电性连接，所述电控模块根据温度传感器检测温度修订风机模块工作功率和/或加热模块功率；分隔板，安装在壳体内部且设有多个，多个所述分隔板纵向交错设置，且相邻分隔板纵向投影部分重合设置，多个所述分隔板与壳体内壁构成限定被加热气体流动的气体流道；还包括使得气体流道内气流产生背压的阻挡壁，所述分隔板与阻挡壁之间间隙形成流道出口，所述流道出口设置在气体流道侧部。2.根据权利要求1所述的恒温风机过滤装置，其特征在于，所述壳体包括过滤壳体以及水平横截面面积小于过滤壳体的加热壳体，所述加热壳体固定连接在过滤壳体输入侧，所述加热模块安装在加热壳体内部，所述过滤模块安装在过滤壳体内部。3.根据权利要求1或2所述的恒温风机过滤装置，其特征在于，所述风机模块输出端面积小于过滤模块输入端面积，所述风机模块与过滤模块之间设置有使气流均匀分布的均流组件。4.根据权利要求3中所述的恒温风机过滤装置，其特征在于，所述均流组件包括用于分散风机输出气流的多个导流板；或，所述均流组件包括分流板，所述分流板上开设有多个气...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，饶镇平，
申请(专利权)人：杭州科百特过滤器材有限公司，
类型：新型
国别省市：
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