【技术实现步骤摘要】
一种可调式晶圆边缘抛光装置
[0001]本专利技术属于晶圆抛光
，具体为一种可调式晶圆边缘抛光装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业中，将用于制作半导体集成电路的硅晶片称为晶圆，在晶圆加工的过程中，一般包括外围研磨、切片、研磨、蚀刻和抛光等步骤，在对晶圆进行抛光处理时，则需要使用到晶圆抛光仪，抛光仪可以有效地对晶圆的表面进行抛光。
[0003]在半导体晶圆的抛光、研磨等工艺过程中，需要大量地使用抛光液，抛光液的主要成分为磨粒和化学药剂，其中的磨粒对晶圆进行机械研磨，化学药剂与晶圆的表面材料发生反应，从而将表面凹凸不平的物质去除，抛光液在工作完成之后，需要进行回收，循环利用，然而抛光液在流经排液槽时不可避免地在排液槽的内壁上残留或结晶，因此需要对排液槽表面残留物进行清理。
[0004]现有的清洁方式是在加工结束后，通过人工刷洗的方式进行清洁，排液槽内壁与抛光台之间的间隙较小，不便于对排液槽进行清洁，增加了清洗过程的难度，导致清洁效率低，费时费力。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于：通过移动部件驱动多组安装部件移出抛光台，随着抛光台的转动，使每个第一清洁棉和第二清洁棉对收液框内表面抛光液残留物进行清理，避免收液框的内壁上残留抛光液，不便于清洁，清洁效率低，配合清洁管，提高清洁效果，通过通风机构，加快抛光底座内部的空气流通，从而加快抛光台内部的第一清洁棉和第二清洁棉干燥速度。
[0006]本专利技术采用的技术方案如下：一种可调式晶圆边缘抛光装置，包括：>[0007]抛光底座；
[0008]抛光机构，设于抛光底座内，所述抛光机构包括驱动部件、抛光台和抛光垫，所述驱动部件设于抛光底座内，所述抛光台设于驱动部件上，所述抛光垫安装设于抛光台的外壁顶部；
[0009]清洁机构，设于抛光台内，所述清洁机构包括移动部件、多组安装部件、多个第一清洁棉和多个第二清洁棉，所述移动部件设于抛光台上，每组所述安装部件均设于移动部件上，每个所述第一清洁棉设于均安装部件上，每个所述第二清洁棉均设于安装部件上；
[0010]收液框，固定嵌设于抛光底座的外壁顶部，所述收液框的外壁一侧沿圆周方向等距嵌设有多个清洁管；以及
[0011]通风机构，设于抛光台上。
[0012]其中，所述驱动部件包括抛光电机和转动轴，所述抛光电机通过螺栓安装于抛光底座的内壁底部，所述转动轴固定设置于抛光电机的输出端，且转动轴固定嵌设于抛光台的内壁顶部。
[0013]其中，所述移动部件包括转动电机、外齿轮、内齿轮、转动板和四组移动组件，所述转动电机通过螺栓安装于抛光台的内壁顶部，所述外齿轮固定设置于转动电机的输出端，所述转动板转动嵌设于抛光台的内壁，所述内齿轮固定设置于转动板的外壁顶部，且内齿轮与外齿轮之间相啮合，每组所述移动组件均沿圆周方向等距设于转动板上。
[0014]其中，每组所述移动组件均包括凸轮孔和移动轴，所述凸轮孔开设于转动板的外壁顶部，所述移动轴滑动嵌设于凸轮孔的内壁。
[0015]其中，每组所述安装部件均包括安装框、折叠框、安装轴和折叠组件，所述安装框固定设置于移动轴的外壁底部，且安装框滑动贯穿于抛光台的外壁一侧，并且安装框固定设置于第一清洁棉的外壁顶部，所述安装轴固定设置于安装框的内壁靠近一侧边缘处，所述折叠框活动套设于安装轴的外壁，所述折叠组件设于安装框与折叠框之间，所述折叠框固定设置于第二清洁棉的外壁一侧。
[0016]其中，每组所述折叠组件包括折叠电机、第一连杆、第二连杆和第二连接轴，所述折叠电机通过螺栓安装框的内壁底部，所述第一连杆的一端固定套设于折叠电机的输出端，所述第一连杆与第二连杆之间通过转轴相连接，所述第二连接轴固定设置于折叠框的内壁，所述第二连杆的一端活动套设于第二连接轴的外壁。
[0017]其中，所述通风机构包括多个通风孔、大齿轮和多组旋转部件，每个所述通风孔均开设于抛光台的外壁底部，所述大齿轮固定套设于抛光台的外壁，每组所述旋转部件均设于抛光底座内。
[0018]其中，每组所述旋转部件均包括旋转轴、小齿轮和风扇扇叶，所述旋转轴转动嵌设于抛光底座的内壁顶部，所述小齿轮固定套设于旋转轴的外壁，且小齿轮与大齿轮之间相啮合，所述风扇扇叶固定套设于旋转轴的外壁靠近底部边缘处。
[0019]其中，所述抛光底座的外壁顶部固定设置有滴料器，所述滴料器的外壁一侧固定设置有滴料管。
[0020]其中，所述抛光底座的外壁顶部固定设置有磨抛控制仪，所述抛光底座的外壁顶部安装有摆臂支架。
[0021]综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术的有益效果是：
[0022](1)本专利技术中，通过移动部件驱动多组安装部件移出抛光台，随着抛光台的转动，使每个第一清洁棉和第二清洁棉对收液框内表面抛光液残留物进行清理，避免收液框的内壁上残留抛光液，不便于清洁，清洁效率低，配合清洁管，提高清洁效果。
[0023](2)本专利技术中，通过通风机构，加快抛光底座内部的空气流通，从而加快抛光台内部的第一清洁棉和第二清洁棉干燥速度。
附图说明
[0024]图1为本专利技术的第一视角立体图；
[0025]图2为本专利技术的第二视角立体图；
[0026]图3为本专利技术的第三视角立体图；
[0027]图4为本专利技术的部分剖视图；
[0028]图5为本专利技术的部分结构示意图；
[0029]图6为本专利技术的部分结构示意图；
[0030]图7为本专利技术抛光台的结构示意图；
[0031]图8为本专利技术安装框的结构示意图；
[0032]图9为本专利技术的部分爆炸图；
[0033]图10为本专利技术图4中A处的放大示意图。
[0034]图中标记：1、抛光底座；2、抛光机构；201、抛光台；202、抛光垫；203、抛光电机；204、转动轴；3、清洁机构；301、第一清洁棉；302、第二清洁棉；303、转动电机；304、外齿轮；305、内齿轮；306、转动板；307、凸轮孔；308、移动轴；309、安装框；310、折叠框；311、安装轴；312、折叠电机；313、第一连杆；314、第二连杆；315、第二连接轴；4、收液框；5、清洁管；6、通风机构；601、通风孔；602、大齿轮；603、旋转轴；604、小齿轮；605、风扇扇叶；7、滴料器；8、滴料管；9、磨抛控制仪；10、摆臂支架。
具体实施方式
[0035]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0036]实施例一，参照图1
‑
10：一种可调式晶圆边缘抛光装置，包括：
[0037]抛光底座1；
[0038]抛光机构2，设于抛光底座1内，抛光机构2包括驱动部件、抛光台201和抛光垫202，驱动部件设于抛光底座1内，抛光台201设于驱动部件上，抛光垫202安装设于本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于，包括：抛光底座(1)；抛光机构(2)，设于抛光底座(1)内，所述抛光机构(2)包括驱动部件、抛光台(201)和抛光垫(202)，所述驱动部件设于抛光底座(1)内，所述抛光台(201)设于驱动部件上，所述抛光垫(202)安装设于抛光台(201)的外壁顶部；清洁机构(3)，设于抛光台(201)内，所述清洁机构(3)包括移动部件、多组安装部件、多个第一清洁棉(301)和多个第二清洁棉(302)，所述移动部件设于抛光台(201)上，每组所述安装部件均设于移动部件上，每个所述第一清洁棉(301)设于均安装部件上，每个所述第二清洁棉(302)均设于安装部件上；收液框(4)，固定嵌设于抛光底座(1)的外壁顶部，所述收液框(4)的外壁一侧沿圆周方向等距嵌设有多个清洁管(5)；以及通风机构(6)，设于抛光台(201)上。2.如权利要求1所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：所述驱动部件包括抛光电机(203)和转动轴(204)，所述抛光电机(203)通过螺栓安装于抛光底座(1)的内壁底部，所述转动轴(204)固定设置于抛光电机(203)的输出端，且转动轴(204)固定嵌设于抛光台(201)的内壁顶部。3.如权利要求2所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：所述移动部件包括转动电机(303)、外齿轮(304)、内齿轮(305)、转动板(306)和四组移动组件，所述转动电机(303)通过螺栓安装于抛光台(201)的内壁顶部，所述外齿轮(304)固定设置于转动电机(303)的输出端，所述转动板(306)转动嵌设于抛光台(201)的内壁，所述内齿轮(305)固定设置于转动板(306)的外壁顶部，且内齿轮(305)与外齿轮(304)之间相啮合，每组所述移动组件均沿圆周方向等距设于转动板(306)上。4.如权利要求3所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：每组所述移动组件均包括凸轮孔(307)和移动轴(308)，所述凸轮孔(307)开设于转动板(306)的外壁顶部，所述移动轴(308)滑动嵌设于凸轮孔(307)的内壁。5.如权利要求4所述的一种可调式晶圆边缘抛光装置，其特征在于：每组所述安装部件均包括安装框(309)、折叠框(310)、安装轴(311)和折...
【专利技术属性】
技术研发人员：任明元，梁春，刘文平，张景斌，
申请(专利权)人：苏州博宏源机械制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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