一种用于气体混合腔安装的辅助工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。通过所述用于气体混合腔安装的辅助工具可以实现一个人简便的对所述气体混合腔和所述气体管线进行安装，节省时间且有效解放人力。节省时间且有效解放人力。节省时间且有效解放人力。

【技术实现步骤摘要】
一种用于气体混合腔安装的辅助工具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，特别涉及一种用于气体混合腔安装的辅助工具。

技术介绍

[0002]在IC制造中，CVD(化学气相沉积)设备需要进行定期检修，拆除气体混合腔进行清洗保养以及清洗气体管道。
[0003]现有技术中，在拆除气体混合腔后需要按照个人经验手动对比调节气体混合腔和气体管线的相对位置将其组装到机台上，人工操作难以掌控精确位置，且一人难以完成，当出现位置误差时，会导致气体混合腔出现气体泄漏，进而导致后续氦气测试泄漏；另一方面，目前在进行氦气测漏前，需要待机台所有部件组装完毕并密封好后再进行，然而，如果发生气体泄漏的情况，需要将气体混合腔从机台上重新拆下来并组装查找气体泄漏原因，此过程十分浪费时间和人力。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，以解决人工组装气体混合腔和气体管线费时费力且精确度不高的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括：第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。
[0006]优选地，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括可移动承载结构，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述可移动承载结构，随可移动承载结构的移动而移动。
[0007]优选地，所述移动承载结构包括滑动单元、调平单元和承载单元，所述承载单元具有一承载面，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述承载面，所述调平单元连接所述滑动单元和所述承载单元，并能够调整所述承载面相对所述滑动单元的角度和/或高度。
[0008]优选地，所述承载单元具有设于所述承载面的固定结构，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构通过所述固定结构可拆卸设于所述承载面；或者，
[0009]所述第一支撑结构和所述第二支撑结构固定连接于所述承载面。
[0010]优选地，所述第一支撑结构包括至少两个第一支撑单元，至少两个所述第一支撑单元呈圆周均匀分散设置。
[0011]优选地，所述第一支撑结构为可升降结构。
[0012]优选地，所述第二支撑结构包括至少两个第二支撑单元，至少两个所述第二支撑单元的高度与所述气体管线的至少两个分支的安装高度分别相匹配。
[0013]优选地，各所述第二支撑单元具有设于上表面的凹槽，所述凹槽的槽宽与所对应支撑的所述分支的外径相匹配。
[0014]优选地，各所述第二支撑单元包括弹性体，所述弹性体通过轴向伸缩调整相应所述第二支撑单元的高度。
[0015]优选地，所述辅助工具还包括：密封结构，所述密封结构的尺寸与所述气体混合腔的安装接口的尺寸相匹配。
[0016]综上所述，本技术提供一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构的高度限定所述气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度。通过所述辅助工具，可以实现一个人简便快速的对所述气体混合腔和所述气体管线进行安装，节省时间且解放人力。
[0017]进一步的，所述用于气体混合腔安装的辅助工具还包括可移动的承载结构，帮助所述辅助工具在一平面内移动，无需人力手动搬运至需要安装的机台位置。
[0018]进一步的，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构高度可调节，且所述可移动承载结构可以调节所述承载面相对所述滑动单元的角度和/或高度，如此设置方便工作人员调整高度找到更精确的连接位置，进而提高连接精度。
[0019]进一步的，所述用于气体混合腔安装的辅助工具辅助所述气体混合腔在不与机台组装的状态下即可完成氦气测漏，无需将所述气体混合腔和所述气体管线组装回机台，并省略将机台各部件全部组装的步骤，简化流程。
附图说明
[0020]图1是本技术一实施例的用于气体混合腔安装的辅助工具辅助气体混合腔和气体管线组装完成后的结构示意图；
[0021]图2是本技术一实施例的用于气体混合腔安装的辅助工具结构示意图；
[0022]其中，各附图标记说明如下：
[0023]1‑
第一支撑结构；2
‑
第二支撑结构；3
‑
可移动承载结构；
[0024]11
‑
第一支撑单元；21
‑
第二支撑单元；
[0025]100
‑
气体混合腔；200
‑
气体管线。
具体实施方式
[0026]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的一种用于气体混合腔安装的辅助工具作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0027]还应当理解的是，在本技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对
重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，术语“安装”、“相连”、“连接”若未做详细说明则应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]本技术实施例提供的一种用于气体混合腔安装的辅助工具，所述用于气体混合腔安装的辅助工具用于气体混合腔与所述气体管线之间的组装，以及气体混合腔与机台的组装。
[0029]请参见图2并结合图1，所述用于气体混合腔安装的辅助工具包括：第一支撑结构1和第二支撑结构2，所述第一支撑结构1的高度限定所述气体混合腔100的安装高度，所述第二支撑结构2的高度限定与所述气体混合腔100连接的气体管线200的安装高度。应当可以理解的是，这里所述第一支撑结构1的高度是指其顶部相对一参考面(该参考面可以为其底部所在平面)的高度，所述第二支撑结构2的高度是指其顶部相对同一参考面的高度，而所述气体混合腔100和所述气体管线200的安装高度是指其底部相对于该同一参考面的高度。即，所述第一支撑结构1和所述第二支撑结构2的高度，所述气体混合腔100和所述气体管线200的高度是相对同一参考面来进行描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述辅助工具包括：第一支撑结构、第二支撑结构、密封结构以及可移动承载结构，所述第一支撑结构的高度限定气体混合腔的安装高度，所述第二支撑结构的高度限定与所述气体混合腔连接的气体管线的安装高度；所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述可移动承载结构，随所述可移动承载结构的移动而移动；所述密封结构的尺寸与所述气体混合腔的安装接口的尺寸相匹配；所述可移动承载结构包括滑动单元、调平单元和承载单元，所述承载单元具有一承载面，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构均设于所述承载面，所述调平单元连接所述滑动单元和所述承载单元，并能够调整所述承载面相对所述滑动单元所在平面的角度和/或高度。2.如权利要求1所述的用于气体混合腔安装的辅助工具，其特征在于，所述承载单元具有设于所述承载面的固定结构，所述第一支撑结构和所述第二支撑结构通过所述固定结构可拆卸设于所述承载面；...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶挺，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：