一种真空磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜机技术领域，且公开了一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体，真空箱体的上端面转动安装有电机，电机的输出端末端固定安装有工件圆盘,所述工件圆盘的外壁设置有多个连接杆，连接杆的末端转动安装有转动杆，转动杆的外壁活动安装有多个张开件，转动杆的上端面固定安装有齿轮。该种真空磁控溅射镀膜机，通过电机驱动工件圆盘转动时带动多个连接杆同步转动，使得连接杆末端设置的齿轮在齿环的作用下同步转动，进而带动转动杆以及转动杆上设置的多个张开件转动，使得张开件上悬挂的位于内侧的小型物件在张开件转动时能够转动至外侧，进而促使多个小型物件上均能均匀地镀膜，使得该镀膜机的镀膜效果更佳。使得该镀膜机的镀膜效果更佳。使得该镀膜机的镀膜效果更佳。

【技术实现步骤摘要】
一种真空磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜机
，具体为一种真空磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]磁控溅射镀膜主要用于电子工业、磁性材料及记录介质、光学及光导通讯等，具有高速、低温、低损伤等优点.高速是指沉积速率快；低温和低损伤是指基片的温升低，损伤小。
[0003]常见的磁控溅射镀膜机中采用的工件架，是固定的，在不同的大小高度的物件，需要大小不同的工件架，进而会需求很多的工件架，而如此大量的工件架会造成工件架的大量堆积，不仅占空间，而且还浪费资源。
[0004]现有技术中，专利号CN212357371U公开了一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体、抽真空机构以及与工件架，所述工件架设置在所述真空箱体上端内部，所述工件架通过转动轴与设置在真空箱体上端的驱动电机相连接，所述工件架包括工件杆、工件圆盘以及工件中心杆，所述工件杆呈环形设置在所述工件圆盘，所述工件圆盘的圆心固定连接工件中心杆，所述工件杆为伸缩设置，所述工件杆远离中心圆盘对的一端设置工件安置架，所述工件安置架设置有中间杆以及分支架解决了传统工件架固定的，在不同的大小高度的物件，需要大小不同的工件架，这样容易造成工件架种类繁多，且造成工件架堆积，从而浪费资源的问题。
[0005]该技术方案虽然可解决镀膜机中工件架固定，不能放置不同大小和高度的物件，上述技术方案在使用时，使用者虽然能在工件架上放置不同大小的物件，但是，当在为较小的物件进行镀膜时，工件安置架上呈圆周分布悬挂多个小型物件进行镀膜时，该工件架的设置可能会导致处于内侧的物件外层镀膜不均。

技术实现思路

[0006]针对现有技术的不足，本技术提供一种真空磁控溅射镀膜机，使得该镀膜机在对多个小物件进行镀膜时更加均匀。
[0007]为实现上述的目的，本技术提供如下技术方案：一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体，真空箱体的上端面转动安装有电机，电机的输出端末端固定安装有工件圆盘,所述工件圆盘的外壁设置有多个连接杆，连接杆的末端转动安装有转动杆，转动杆的外壁活动安装有多个张开件，转动杆的上端面固定安装有齿轮，真空箱体的内壁与齿轮对应位置固定安装有齿环，且齿轮与齿环啮合设置。
[0008]优选地，所述张开件的外壁固定安装有加强环。
[0009]优选地，所述加强环的外壁活动安装有多个呈圆周分布的贴板。
[0010]优选地，所述加强环的外壁开设有安装孔，贴板上端与安装孔对应位置固定安装有安装杆。
[0011]优选地，所述贴板上安装杆的数量为两个且位于贴板上端对称分布。
[0012]优选地，所述安装杆的末端开设有倒角。
[0013]优选地，所述贴板的截面为弧形设置且贴板与加强环的外圆壁面贴合。
[0014]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0015]该种真空磁控溅射镀膜机，通过电机驱动工件圆盘转动时带动多个连接杆同步转动，使得连接杆末端设置的齿轮在齿环的作用下同步转动，进而带动转动杆以及转动杆上设置的多个张开件转动，使得张开件上悬挂的位于内侧的小型物件在张开件转动时能够转动至外侧，进而促使多个小型物件上均能均匀地镀膜，使得该镀膜机的镀膜效果更佳。
附图说明
[0016]图1为本技术主体的内部结构示意图；
[0017]图2为本技术主体结构示意图；
[0018]图3为本技术转动杆与张开件结构连接示意图；
[0019]图4为本技术图3中A处局部放大示意图。
[0020]图中：1、真空箱体；2、电机；3、工件圆盘；4、连接杆；5、转动杆；6、加强环；7、张开件；8、齿轮；9、贴板；10、齿环；11、安装杆；12、安装孔。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例
[0023]下面结合附图和实施方式进一步说明本技术的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部。
[0024]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0026]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限
制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0027]请参阅图1
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4，一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体1，真空箱体1的上端面转动安装有电机2，电机2的输出端末端固定安装有工件圆盘3，所述工件圆盘3的外壁设置有多个连接杆4，连接杆4的末端转动安装有转动杆5，转动杆5的外壁活动安装有多个张开件7，转动杆5的上端面固定安装有齿轮8，真空箱体1的内壁与齿轮8对应位置固定安装有齿环10，且齿轮8与齿环10啮合设置。
[0028]本技术中提出的真空磁控溅射镀膜机，在使用时，镀膜机可对工件，汤勺，刀叉，钥匙扣，钢化膜等多种物件表面进行镀膜，本技术方案中的主体结构与专利号CN212357371U公开的一种真空磁控溅射镀膜机的主体结构相似，且部分连接方式相同，如工件圆盘3与连接杆4的连接方式与原有技术方案中的工件圆盘和工件杆的连接方式相同，转动杆5与张开件7的连接方式与中间杆和工件安置架的连接方式相同，在本技术方案中，当使用者将小型物件如汤勺和钥匙扣等悬挂在张开件7上时，电机2驱动连接杆4转动，连接杆4上与转动杆5固定连接的齿轮8与齿环10啮合连接，则在齿环10的作用下，可使得齿轮8带动转动杆5进行转动，进而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体(1)，真空箱体(1)的上端面转动安装有电机(2)，电机(2)的输出端末端固定安装有工件圆盘(3)，其特征在于：所述工件圆盘(3)的外壁设置有多个连接杆(4)，连接杆(4)的末端转动安装有转动杆(5)，转动杆(5)的外壁活动安装有多个张开件(7)，转动杆(5)的上端面固定安装有齿轮(8)，真空箱体(1)的内壁与齿轮(8)对应位置固定安装有齿环(10)，且齿轮(8)与齿环(10)啮合设置。2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述张开件(7)的外壁固定安装有加强环(6)。3.根据权利要求2所述的一种真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张燕聪，吴明梅，谢晓锋，
申请(专利权)人：福建新嵛柔性材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：