环件平面度检测方法技术

本发明专利技术公开了一种环件平面度检测方法，属于平面度检测技术领域。环件平面度检测方法包括以下步骤：工装夹具的标准平面度检测面朝上，将工装夹具放置于工作台面上；将环件放置于工装夹具上，且环件四周的凸起部位于标准平面度检测面的上方；采用塞尺插入每个凸起部与标准平面度检测面之间，得到凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距；当每个凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件合格；当存在凸起部与标准平面度检测面之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件不合格。只需将待测的环件放到工装夹具上，采用塞尺插入间隙，即可快速检测出检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。环件的各个凸起部是否在同一水平面。环件的各个凸起部是否在同一水平面。

【技术实现步骤摘要】
环件平面度检测方法


[0001]本专利技术涉及平面度检测
，尤其涉及一种环件平面度检测方法。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射时各个产品都会用到环件(Coil)，环件(Coil)在其中也参与溅射。环件(Coil)在溅射机台上安装后，通过电流通电作用，使周围产生磁场，让溅射靶材(Target)上面的原子通过磁场能够均匀的附着在晶圆(Wafer)上。
[0003]环件本体上设有多个凸起部，凸起部呈圆柱状。机台上设有与多个凸起部一一对应配合的多个通孔，通孔上设有用于凸起部穿过的绝缘环。当需要将环件本体安装于机台上时，每一个凸起部穿过一个通孔上的绝缘环，多个绝缘环对多个凸起部起到限位的作用，实现环件本体与机台的装配。
[0004]但是，需要保证环件本体上的各个凸起部处于同一水平位置，否则会有安装不良，导致无法正常安装的情况。
[0005]为此，亟需提供一种环件平面度检测方法以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种环件平面度检测方法，操作简单，用于快速便捷的检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。
[0007]为实现上述目的，提供以下技术方案：
[0008]环件平面度检测方法，包括以下步骤：
[0009]工装夹具的标准平面度检测面朝上，将所述工装夹具放置于工作台面上；
[0010]将环件放置于所述工装夹具上，且所述环件四周的凸起部位于所述标准平面度检测面的上方；
[0011]采用塞尺插入每个所述凸起部与所述标准平面度检测面之间，得到所述凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距；
[0012]当每个所述凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定所述环件合格；当存在所述凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距超过所述误差值范围，则判定所述环件不合格。
[0013]作为环件平面度检测方法的可选方案，在环件平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具的所述标准平面度检测面。
[0014]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具设置有弧形避让腔，所述环件的环形主体的下端位于所述弧形避让腔内。
[0015]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述弧形避让腔的内壁面设置有标准圆弧度检测面，通过塞尺插入所述标准圆弧度检测面与所述环形主体的外壁面之间，用于检测所述环形主体的外壁面是否合格。
[0016]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具采用金属材质制成。
[0017]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具的下端面设置有防滑结构。
[0018]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述防滑结构为防滑凸起、防滑凹槽或防滑波纹。
[0019]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具的中心开设有减重腔。
[0020]作为环件平面度检测方法的可选方案，所述工装夹具内部中空且设置有冷却液流道。
[0021]作为环件平面度检测方法的可选方案，在环件平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具的所述标准圆弧度检测面。
[0022]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0023]本专利技术所提供的环件平面度检测方法，工装夹具的标准平面度检测面朝上，将工装夹具放置于工作台面上；将环件放置于工装夹具上，且环件四周的凸起部位于标准平面度检测面的上方；采用塞尺插入每个凸起部与标准平面度检测面之间，得到凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距；当每个凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定环件合格；当存在凸起部与所述标准平面度检测面之间间隙的间距超过误差值范围，则判定环件不合格。只需将待测的环件放到工装夹具上，采用塞尺插入间隙，即可快速检测出检测环件的各个凸起部是否在同一水平面。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术实施例中环件平面度检测方法的流程图；
[0026]图2为本专利技术实施例中环件的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术实施例中工装夹具的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术实施例中环件放置于工装夹具的结构示意图；
[0029]图5为本专利技术实施例中环件放置于工装夹具的剖视图。
[0030]附图标记：
[0031]1、工装夹具；2、环件；3、工作台面；
[0032]11、标准平面度检测面；12、弧形避让腔；13、标准圆弧度检测面；14、减重腔；
[0033]21、凸起部；22、环形主体。
具体实施方式
[0034]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0035]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通
技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0036]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0037]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0038]在本专利技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0039]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.环件平面度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：工装夹具(1)的标准平面度检测面(11)朝上，将所述工装夹具(1)放置于工作台面(3)上；将环件(2)放置于所述工装夹具(1)上，且所述环件(2)四周的凸起部(21)位于所述标准平面度检测面(11)的上方；采用塞尺插入每个所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间，得到所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间间隙的间距；当每个所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间间隙的间距均位于误差值范围内，则判定所述环件(2)合格；当存在所述凸起部(21)与所述标准平面度检测面(11)之间间隙的间距超过所述误差值范围，则判定所述环件(2)不合格。2.根据权利要求1所述的环件平面度检测方法，其特征在于，在环件(2)平面度检测前，采用清洁工具吹扫所述工装夹具(1)的所述标准平面度检测面(11)。3.根据权利要求1所述的环件平面度检测方法，其特征在于，所述工装夹具(1)设置有弧形避让腔(12)，所述环件(2)的环形主体(22)的下端位于所述弧形避让腔(12)内...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，吴浩，厉达，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：