一种复合基片生产线的控制方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种复合基片生产线的控制方法及系统，属于智能控制领域，其中方法包括：获取复合基片的多个工序节点及其之间的连接关系，通过建立工序网络模型完整描述复合基片生产线；获取工序节点对应的生产干扰指标和生产吸附指标，通过对指标进行综合分析，输出生产线控制的第一约束条件；基于第一约束条件，对工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链；根据第一复合工序链对复合基片生产线进行控制，完成生产任务，本申请解决了现有技术中复合基片生产损失大，产品质量低的技术问题，达到了实现复合基片生产线全局最优控制，最大限度减少生产损失，提高产品质量的技术效果。高产品质量的技术效果。高产品质量的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种复合基片生产线的控制方法及系统


[0001]本专利技术涉及智能控制领域，具体涉及一种复合基片生产线的控制方法及系统。

技术介绍

[0002]随着集成电路制造技术的发展，半导体器件的集成度不断增加，各种复合基片不断涌现。然而，现有技术中，在对复合基片生产线控制方面无法对复合基片生产线进行全局最优控制，难以在生产控制的全过程中最大限度减少生产损失，提高产品质量。

技术实现思路

[0003]本申请通过提供了一种复合基片生产线的控制方法及系统，旨在解决现有技术中复合基片生产损失大，产品质量低的技术问题。
[0004]鉴于上述问题，本申请提供了一种复合基片生产线的控制方法及系统。
[0005]本申请公开的第一个方面，提供了一种复合基片生产线的控制方法，该方法包括：获取生产目标基片的多个工序节点，其中，每个工序节点对应一个工序操作步骤；按照多个工序节点之间的连接关系，建立工序网络模型，其中，工序网络模型包括起始工序节点和末端工序节点；获取多个工序节点对应的生产干扰指标和生产吸附指标；基于生产干扰指标和生产吸附指标进行损失分析，输出第一约束条件；基于第一约束条件，对工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链，其中，第一复合工序链为基于起始工序节点和末端工序节点路径表示的一个可供执行的工序链；将第一复合工序链作为目标基片的生产线进行控制。
[0006]本申请公开的另一个方面，提供了一种复合基片生产线的控制系统，该系统包括：工序节点获取模块，用于获取生产目标基片的多个工序节点，其中，每个工序节点对应一个工序操作步骤；工序网络建立模块，用于按照多个工序节点之间的连接关系，建立工序网络模型，其中，工序网络模型包括起始工序节点和末端工序节点；生产指标获取模块，用于获取多个工序节点对应的生产干扰指标和生产吸附指标；损失分析模块，基于生产干扰指标和生产吸附指标进行损失分析，输出第一约束条件；全局最优分析模块，基于第一约束条件，对工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链，其中，第一复合工序链为基于起始工序节点和末端工序节点路径表示的一个可供执行的工序链；生产线控制模块，用于将第一复合工序链作为目标基片的生产线进行控制。
[0007]本申请中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：由于采用了获取生产目标复合基片的多个工序节点及其之间的连接关系，通过建立工序网络模型完整描述复合基片生产线；获取工序节点对应的生产干扰和生产吸附指标进行综合分析，输出复合基片生产线控制的第一约束条件；基于第一约束条件，对工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链，该第一复合工序链表示从起始工序节点到末端工序节点的一条可执行的最优工序路径；根据第一复合工序链对复合基片生产线进行控制，完成生产任务的技术方案，解决现有技术中复合基片生产损失大，产
品质量低的技术问题，达到实现复合基片生产线全局最优控制，最大限度减少生产损失，提高产品质量的技术效果。
[0008]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。
附图说明
[0009]图1为本申请实施例提供了一种复合基片生产线的控制方法可能的流程示意图；图2为本申请实施例提供了一种复合基片生产线的控制方法中形成第一复合工序链可能的流程示意图；图3为本申请实施例提供了一种复合基片生产线的控制方法中生产线控制可能的流程示意图；图4为本申请实施例提供了一种复合基片生产线的控制系统可能的结构示意图。
[0010]附图标记说明：工序节点获取模块11，工序网络建立模块12，生产指标获取模块13，损失分析模块14，全局最优分析模块15，生产线控制模块16。
具体实施方式
[0011]本申请提供的技术方案总体思路如下：本申请实施例提供了一种复合基片生产线的控制方法及系统。首先，获取生产目标复合基片的多个工序节点及其之间的连接关系，建立工序网络模型完整描述复合基片生产线；然后，获取工序节点对应的生产干扰指标和生产吸附指标，通过对生产干扰指标和生产吸附指标进行综合分析，输出第一约束条件；之后，基于第一约束条件，对工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链，该第一复合工序链表示从起始工序节点到末端工序节点的一条可执行的最优工序路径；最后，根据第一复合工序链对复合基片生产线进行控制，完成生产任务。
[0012]在介绍了本申请基本原理后，下面将结合说明书附图来具体介绍本申请的各种非限制性的实施方式。
[0013]实施例一：
[0014]如图1所示，本申请实施例提供了一种复合基片生产线的控制方法，该方法包括：步骤S100：获取生产目标基片的多个工序节点，其中，每个工序节点对应一个工序操作步骤；具体而言，通过查阅基片生产线的流程图或工艺路线、实地勘查基片生产线、查阅基片生产线的设备配置文件或工艺参数设定文件、专家审核等方式获取生产目标基片的多个工序节点。
[0015]工序节点是指复合基片生产线上的操作位置，在该位置上执行某一个具体的工序操作步骤，如光刻、显影、刻蚀等，以完成基片的加工。例如，某复合基片生产线上的工序节点包括光刻节点、化学气相沉积节点、刻蚀节点、洗涤节点、等离子体增强化学气相沉积节点等，每个工序节点对应一个工序操作步骤，如光刻节点对应进行光刻工艺，化学气相沉积节点对应进行化学气相沉积工艺等。
[0016]通过获取基片生产线上涉及的所有工序节点及其对应的工序操作步骤，全面掌握整个基片生产过程，为后续实施基片生产线的控制和优化提供基础。
[0017]步骤S200：按照所述多个工序节点之间的连接关系，建立工序网络模型，其中，所述工序网络模型包括起始工序节点和末端工序节点；具体而言，获取生产目标复合基片的多个工序节点后，按照这些工序节点在实际生产线中的相互连接关系，即工艺流转的顺序和逻辑，将它们组织成一个连续的网络模型，该网络模型应当包含完整的工序节点，并以起始工序节点开始，以末端工序节点结束，表示生产线的全过程。其中，起始工序节点指工序网络模型中的第一个工序节点，代表整个生产过程的开始，对应生产线上的最初操作；末端工序节点指工序网络模型中的最后一个工序节点，代表整个生产过程的结束，对应生产线上的最终操作。
[0018]首先，根据生产线的工艺流程图，提取各工序节点在流程中的顺序和转换关系，构建网络模型的框架结构，确定网络模型的起始节点、末端节点以及中间节点，例如，某复合基片生产线的工序网络模型的起始工序节点为晶圆入卡，中间工序节点包括热处理、氧化、光刻、离子浅注入、气相淀积、平面化等，末端工序节点为晶圆测量与包装。其次，在工序网络模型的框架结构上，基于工序节点之间的相邻位置，设置初步的连线，然后核对连线是否与实际工艺流程一致，不存在的连线应当删除，多余的连线应当增加；然后，对照生产线的工艺流程图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合基片生产线的控制方法，其特征在于，所述方法包括：获取生产目标基片的多个工序节点，其中，每个工序节点对应一个工序操作步骤；按照所述多个工序节点之间的连接关系，建立工序网络模型，其中，所述工序网络模型包括起始工序节点和末端工序节点；获取所述多个工序节点对应的生产干扰指标和生产吸附指标；基于所述生产干扰指标和所述生产吸附指标进行损失分析，输出第一约束条件；基于所述第一约束条件，对所述工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链，其中，所述第一复合工序链为基于所述起始工序节点和所述末端工序节点路径表示的一个可供执行的工序链；将所述第一复合工序链作为所述目标基片的生产线进行控制。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述工序网络模型进行复合工序的全局最优算法分析，形成第一复合工序链，方法包括：随机生成初始工序路径集合；对所述初始工序路径集合分别进行分析，获取N个初始工序路径；以预设交叉概率对所述N个初始工序路径中进行交叉操作，得到N个交叉工序路径；以所述N个交叉工序路径进行迭代，直至满足所述第一约束条件，输出第一复合工序链。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，以预设交叉概率对所述N个初始工序路径中进行交叉操作，方法包括：根据所述N个初始工序路径，随机选取M个交叉组，所述M个交叉组为所述N个交叉工序路径中随机2个交叉工序路径组成的交叉操作组，其中，；根据所述多个工序节点的数量，确定交叉节点数量；以所述预设交叉概率和所述交叉节点数量对所述M个交叉组进行交叉操作。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一约束条件的表达式如下：，其中，表征所述第一约束条件，P表征最优算法计算过程中的每次寻优的工序节点路径；表征基于工序节点路径P的生产干扰指标，表征预设生产干扰指标；表征基于工序节点路径P的生产吸附指标，表征预设生产吸附指标；n表征工序节点路径P的节点数量；P受制于生产干扰指标和生产吸附指标的约束，通过最小化所述第一约束条件作为全局优化算法分析的目标进行工序节点路径寻优。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，获取所述多个工序节点对应的生产干扰指标和生产吸附指标，方法包括：获取所述多个工序节点中各个工序节点的生产操作设备信息；根据所述生产操作设备信息，对各个工序节点中基片所受干扰进行识别，生成干扰指标矩阵；以所述干扰指标...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴昂，谭明明，任海龙，张闯报，
申请(专利权)人：北京东方泰阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：