一种氮化镓功率器件的封装设备制造技术

本发明专利技术属于芯片封装技术领域，尤其是涉及一种氮化镓功率器件的封装设备，包括放置架，所述放置架的下方设有第一传送带，所述放置架的上侧壁固定连接有胶箱，所述胶箱的左侧壁固定连接有蠕动泵，所述蠕动泵的进料端和胶箱的侧壁固定连通，所述蠕动泵的出料端通过弹性管固定连通有注胶头，所述注胶头的外壁套设有检测机构，所述放置架的上侧内壁固定连接有微型电动推杆。本发明专利技术能够在将灌封胶注入氮化镓功率器件后，可以自动检测灌封胶内是否残留有气泡，然后对含有气泡的氮化镓功率器件进行除气泡工作，从而避免灌封胶内含有气泡，会影响氮化镓功率器后续使用的可靠性和质量。化镓功率器后续使用的可靠性和质量。化镓功率器后续使用的可靠性和质量。

【技术实现步骤摘要】
一种氮化镓功率器件的封装设备


[0001]本专利技术属于芯片封装
，尤其是涉及一种氮化镓功率器件的封装设备。

技术介绍

[0002]氮化镓是一种具有较大禁带宽度的半导体，属于所谓宽禁带半导体之列，它是微波功率晶体管的优良材料，也是蓝色光发光器件中的一种具有重要应用价值的半导体。
[0003]氮化镓功率器件的工艺流程包括底衬制备、外延生长、技术加工、金属化、清洗和测试、以及封装，氮化镓在进行封装时，需要利用到封装设备进行工作。
[0004]现有的封装设备在工作时，需要使用灌胶装置向器件内部灌注一定量的灌封胶，使氮化镓功率器件具有防水、防潮、防尘、绝缘和导热等功能，封装设备在灌注灌封胶时，通常直接将一定量的灌封胶直接注入敞开的器件内，然后等待灌封胶凝固，在灌封胶灌装时，灌封胶会填满器件内芯片的上方，该处的空气会被排出器件，但是由于灌封胶固化收缩率大、胶水中溶剂、增塑剂加量过多等原因，一部分气体容易被堵在胶水的下方，而不能够及时排出，从而在灌封胶内形成气泡，并且在灌封胶凝固后，气泡会保存在灌封胶的内部，当氮化镓功率器件长时间使用产生一定的热量后，气泡内蕴含的水气会受热膨胀，从而影响氮化镓功率器的可靠性和产品质量。
[0005]为此，我们提出一种氮化镓功率器件的封装设备来解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是针对上述问题，提供一种氮化镓功率器件的封装设备。
[0007]为达到上述目的，本专利技术采用了下列技术方案：一种氮化镓功率器件的封装设备，包括放置架，所述放置架的下方设有第一传送带，所述放置架的上侧壁固定连接有胶箱，所述胶箱的左侧壁固定连接有蠕动泵，所述蠕动泵的进料端和胶箱的侧壁固定连通，所述蠕动泵的出料端通过弹性管固定连通有注胶头，所述注胶头的外壁套设有检测机构，所述放置架的上侧内壁固定连接有微型电动推杆，所述微型电动推杆的输出端通过连接架和检测机构连接，所述放置架的后侧内壁固定连接有第一接近开关，所述第一接近开关通过PLC控制器和第一传动带、蠕动泵和微型电动推杆电性连接，所述放置架的右侧设有移动机构，所述第一传送带的后侧设有消泡机构，所述消泡机构的前侧设有第二接近开关，所述第二接近开关通过PLC控制器和第一传动带、移动机构电性连接。
[0008]优选的，所述检测机构包括检测罩和横筒，所述检测罩固定套设在注胶头的外壁，所述横筒和检测罩的左侧壁固定连通，所述微型电动推杆的输出端通过连接架和检测罩的侧壁固定连接，所述横筒的左侧壁开设有排气孔，所述横筒的左侧内壁通过弹簧固定连接有活塞板，所述活塞板的左侧壁固定连接有导电杆，所述横筒的下侧内壁固定连接有导电板，所述导电杆和外部电源电性连接，所述导电板和PLC控制器电性连接。
[0009]优选的，所述移动机构包括安装架和第一电动推杆，所述安装架位于放置架的右侧，所述第一电动推杆固定连接在安装架的上侧壁，所述第一电动推杆的输出端伸出安装
架，且固定连接有升降箱，所述升降箱的内壁转动连接有第一螺纹杆，所述升降箱的左侧外壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿升降箱的侧壁且与第一螺纹杆固定连接，所述第一螺纹杆的杆壁螺纹套设有第一螺纹筒，所述第一螺纹筒的下侧壁固定连接有L型结构的移动架，所述升降箱的下侧壁开设有与移动架相互匹配的滑动口，所述移动架的下端穿过滑动口，且固定连接有柔性手抓，所述第二接近开关通过PLC控制器和第一电动推杆、第一电机和柔性手抓电性连接。
[0010]优选的，所述消泡机构包括底座和消泡板，所述底座通过振动机构和消泡板传动连接，所述消泡板的上侧壁开设有放置槽，所述放置槽内设有触发开关，所述消泡板的上侧壁固定连接有承载架，所述承载架的上侧壁通过连接件固定连接有气筒，所述气筒的上侧内壁通过弹簧固定连接有活塞块，所述活塞块的下侧壁固定连接有竖杆，所述竖杆的下端穿过承载架，且固定连接有密封筒，所述消泡板的侧壁固定连接有气泵，所述触发开关通过定时开关和气泵电性连接，所述气泵的进气端固定连通有吸气管，所述吸气管的上端和密封筒的上侧壁固定连通，所述放置槽的左右两侧均设有夹紧腔，所述夹紧腔和放置槽之间开设有横孔，且横孔内插接有横杆，所述横杆位于放置槽内的一端固定连接有夹紧板，所述横杆位于夹紧腔内的一端固定连接有密封板，所述密封板和夹紧腔之间固定连接有同一根套设在横杆外的弹簧，两个所述夹紧腔的下侧壁连通有同一个纵截面为U型结构的通气腔，所述气泵的出气端固定连通有进气管，所述进气管的左端和通气腔固定连通，所述进气管的右端和气筒的侧壁固定连通，位于左侧所述夹紧腔的侧壁开设有泄气孔，所述吸气管的管壁固定连通有短管。
[0011]优选的，所述振动机构包括驱动电机和凸轮轴，所述底座的内部开设有振动腔，所述驱动电机固定连接在振动腔的内壁，所述凸轮轴和驱动电机的输出端固定连接，所述振动腔的上方开设有横腔，所述横腔的内壁固定连接有导向筒，所述导向筒内插接有导向杆，所述导向杆的左端固定连接有竖板，所述横腔和振动腔之间开设有与竖板相互匹配的竖口，所述竖板的下端穿过竖口，且固定连接有凸块，所述导向杆的右端通过弹簧和振动腔的侧壁固定连接，所述导向杆的上端固定连接有连接块，所述横腔的上侧壁开设有与连接块相互匹配的连接口，所述连接块的上侧壁伸出连接口，且与消泡板的下侧壁固定连接，所述触发开关通过定时开关和驱动电机电性连接。
[0012]优选的，所述放置架的前侧壁固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端伸出放置架，且固定连接有定位箱，所述定位箱的内壁转动连接有前后两侧螺纹旋向相反的第二螺纹杆，所述定位箱的前侧壁固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端和第二螺纹杆固定连接，所述第二螺纹杆的杆壁螺纹套设有两个第二螺纹筒，两个所述第二螺纹筒的右侧壁均固定连接有滑动板，所述滑动板的右侧伸出定位箱，且固定连接有定位板，所述第二电动推杆和第二电机均与PLC控制器电性连接。
[0013]优选的，所述安装架的下方设有第二传送带，所述第二传送带位于第一传送带的前侧，所述第一传送带的上侧壁前后对称固定连接有两个挡条。
[0014]优选的，所述消泡板的下侧壁固定连接有多个万向滚珠，多个所述万向滚珠并排设置。
[0015]与现有的技术相比，一种氮化镓功率器件的封装设备的优点在于：通过设置的放置架、第一传送带、胶箱、蠕动泵、注胶头、检测机构、移动机构和消
泡机构，能够在将灌封胶注入氮化镓功率器件后，可以自动检测灌封胶内是否残留有气泡，然后对含有气泡的氮化镓功率器件进行除气泡工作，从而避免灌封胶内含有气泡，会影响氮化镓功率器后续使用的可靠性和质量。
[0016]通过设置的振动机构，能够在对氮化镓功率器件灌封胶内部的气泡进行真空消泡的同时，也可以使灌封胶振动，从而加速气泡的消除，提高了氮化镓功率器件的消泡速度。
[0017]通过设置的第二传送带，能够利用第一传送带输送良好的氮化镓功率器件，利用第二传送带输送消泡结束的氮化镓功率器件，保证了后续氮化镓功率器件其他封装流程的效率。
附图说明
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氮化镓功率器件的封装设备，包括放置架（1），其特征在于，所述放置架（1）的下方设有第一传送带（2），所述放置架（1）的上侧壁固定连接有胶箱（3），所述胶箱（3）的左侧壁固定连接有蠕动泵（4），所述蠕动泵（4）的进料端和胶箱（3）的侧壁固定连通，所述蠕动泵（4）的出料端通过弹性管固定连通有注胶头（5），所述注胶头（5）的外壁套设有检测机构（6），所述放置架（1）的上侧内壁固定连接有微型电动推杆（11），所述微型电动推杆（11）的输出端通过连接架和检测机构（6）连接，所述放置架（1）的后侧内壁固定连接有第一接近开关（12），所述第一接近开关（12）通过PLC控制器和第一传动带、蠕动泵（4）和微型电动推杆（11）电性连接，所述放置架（1）的右侧设有移动机构（13），所述第一传送带（2）的后侧设有消泡机构（20），所述消泡机构（20）的前侧设有第二接近开关（21），所述第二接近开关（21）通过PLC控制器和第一传动带、移动机构（13）电性连接。2.根据权利要求1所述的一种氮化镓功率器件的封装设备，其特征在于，所述检测机构（6）包括检测罩（61）和横筒（62），所述检测罩（61）固定套设在注胶头（5）的外壁，所述横筒（62）和检测罩（61）的左侧壁固定连通，所述微型电动推杆（11）的输出端通过连接架和检测罩（61）的侧壁固定连接，所述横筒（62）的左侧壁开设有排气孔（7），所述横筒（62）的左侧内壁通过弹簧固定连接有活塞板（8），所述活塞板（8）的左侧壁固定连接有导电杆（9），所述横筒（62）的下侧内壁固定连接有导电板（10），所述导电杆（9）和外部电源电性连接，所述导电板（10）和PLC控制器电性连接。3.根据权利要求1所述的一种氮化镓功率器件的封装设备，其特征在于，所述移动机构（13）包括安装架（131）和第一电动推杆（132），所述安装架（131）位于放置架（1）的右侧，所述第一电动推杆（132）固定连接在安装架（131）的上侧壁，所述第一电动推杆（132）的输出端伸出安装架（131），且固定连接有升降箱（14），所述升降箱（14）的内壁转动连接有第一螺纹杆（15），所述升降箱（14）的左侧外壁固定连接有第一电机（16），所述第一电机（16）的输出端贯穿升降箱（14）的侧壁且与第一螺纹杆（15）固定连接，所述第一螺纹杆（15）的杆壁螺纹套设有第一螺纹筒（17），所述第一螺纹筒（17）的下侧壁固定连接有L型结构的移动架（18），所述升降箱（14）的下侧壁开设有与移动架（18）相互匹配的滑动口，所述移动架（18）的下端穿过滑动口，且固定连接有柔性手抓（19），所述第二接近开关（21）通过PLC控制器和第一电动推杆（132）、第一电机（16）和柔性手抓（19）电性连接。4.根据权利要求1所述的一种氮化镓功率器件的封装设备，其特征在于，所述消泡机构（20）包括底座（201）和消泡板（202），所述底座（201）通过振动机构（22）和消泡板（202）传动连接，所述消泡板（202）的上侧壁开设有放置槽（32），所述放置槽（32）内设有触发开关（33），所述消泡板（202）的上侧壁固定连接有承载架（34），所述承载架（34）的上侧壁通过连接件固定连接有气筒（35），所述气筒（35）的上侧内壁通过弹簧固定连接有活塞块（36），所述活塞块（36）的下侧壁固定连接有竖杆（37），所述竖杆（37）的下端穿过承载架（34），且固定连接有密封筒（38），所述消泡板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱礼贵，侯玉军，
申请(专利权)人：深圳市鲁光电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：