一种自动配药装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的一种自动配药装置，包括至少两个药桶、第一药罐、第二药罐以及多个液位计量器。配药所需的多种药液分别置于各对应的药桶中，各药桶出料口处的液位计量器量取相应剂量的药液后流入第一药罐内存储。待配方所需要的药液全部流入第一药罐后，打开第一阀门，药液流入第二药罐中，等待衬板需要喷洒清洗药液时向清洗机台进行喷射。通过设置悬挂式的药桶，以及液位计量器，可通过重力直接将药液留至液位计量中，无需液位气动泵来抽取药液，配置好的药液存储以备衬板清洗时使用。该装置较为简易、使用方便，费用低，避免手工配药时因人为因素导致的操作失误，提高了药液质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种自动配药装置


[0001]本技术属于配药装置
，特别涉及一种自动配药装置。

技术介绍

[0002]随着半导体领域快速发展，国内对衬底的需求不断增加，这也就意味着衬底行业要拥有更大的供应能力以及更好的货源，现大部分衬底行业采用的衬底清洗药品配置为人工配置或供药系统配置。
[0003]对于人工配置方式，近年来，国内大部分化学实验室、化工工业等方面，在药调配时，仍在采用手工量筒进行配比，传统方式较为耗时费力且在配比的过程中挥发性较强、腐蚀性较强的药剂容易与人员接触，对于长期接触的人员造成身体上的危害，同时也存在一定的安全隐患，造成人员伤亡等情况，另外，手工配比难免出现配药药量偏差问题，药物总量偏差造成数据误差，以及成品不好、药液配置时间过长不能继续使用等情况。
[0004]对于供药系统配药方式，则需要在合理规划布置生产区域，若增加设备，则可能造成供药系统不能连接至设备上，影响产能。
[0005]因此，如何避免手工配药时因人为因素导致的操作失误，提高药液质量，是本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种自动配药装置，避免手工配药时因人为因素导致的操作失误，提高了药液质量。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供一种自动配药装置，包括：
[0008]至少两个药桶，各所述药桶上均设置有进料口、底部设置出料口；
[0009]第一药罐和第二药罐，所述第一药罐的入口通过第一管路分别与各所述药桶的出料口连通，所述第一药罐的出口通过第二管路与所述第二药罐的入口连通，所述第二管路上设置有第一阀门，所述第二药罐的出口用于向衬板的清洗机台喷射药液；
[0010]多个液位计量器，分别设置于各所述药桶的出料口上，用于计算并控制流入所述第一药罐中的药液量。
[0011]可选的，在上述自动配药装置中，还包括用于控制各所述液位计量器的配药系统。
[0012]可选的，在上述自动配药装置中，所述配药系统包括控制面板和控制系统；
[0013]所述控制面板用于操作人员设置所需的药液配比；
[0014]所述控制系统用于将输入的药液配比传输至各所述液位计量器。
[0015]可选的，在上述自动配药装置中，还包括用于检测所述第二药罐内药液液位的液位传感器。
[0016]可选的，在上述自动配药装置中，所述控制系统还用于当所述液位传感器显示所述第二药罐的药液处于低液位时，控制开启所述第一阀门。
[0017]可选的，在上述自动配药装置中，还包括用于搅拌混合药液的搅拌装置，设置于所
述第一药罐内和/或所述第二药罐内。
[0018]可选的，在上述自动配药装置中，所述控制系统还用于当所述液位计量器控制药液流入所述第一药罐后，开启所述搅拌装置。
[0019]可选的，在上述自动配药装置中，所述第二药罐的出口上设置有第二阀门。
[0020]可选的，在上述自动配药装置中，所述液位计量器设置于所述第一管路与所述药桶的出料口连接处。
[0021]可选的，在上述自动配药装置中，各所述药桶与所述第一管路之间可拆卸连接；
[0022]和/或，所述第一管路与所述第一药罐之间可拆卸连接；
[0023]和/或，所述第一药罐与所述第二管路之间可拆卸连接；
[0024]和/或，所述第二管路与所述第二药罐之间可拆卸连接。
[0025]本技术提供了一种自动配药装置，其有益效果在于：
[0026]配药所需的多种药液分别置于各对应的药桶中，各药桶出料口处的液位计量器量取相应剂量的药液后流入第一药罐内存储。待配方所需要的药液全部流入第一药罐后，打开第一阀门，药液流入第二药罐中，等待衬板需要喷洒清洗药液时向清洗机台进行喷射。通过设置悬挂式的药桶，以及液位计量器，可通过重力直接将药液留至液位计量中，无需液位气动泵来抽取药液，配置好的药液存储以备衬板清洗时使用。该装置较为简易、使用方便，费用低，避免手工配药时因人为因素导致的操作失误，提高了药液质量。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0028]图1为本技术实施例提供的一种自动配药装置在一种形式下的结构示意图(不包含清洗机台)；
[0029]图2为本技术实施例提供的一种自动配药装置在另一种形式下的结构示意图(不包含清洗机台)；
[0030]图3为本技术实施例提供的一种自动配药装置在另一种形式下的结构示意图(不包含清洗机台)；
[0031]图4为本技术实施例提供的一种自动配药装置的清洗机台的结构示意图；
[0032]图5为本技术实施例提供的一种自动配药装置的结构示意图(包含清洗机台)。
[0033]上图中：
[0034]1‑
药桶；2
‑
液位计量器；3
‑
搅拌装置；4
‑
第一药罐；5
‑
第一阀门；6
‑
第二药罐；7
‑
液位传感器；8
‑
控制面板；9
‑
控制系统；10
‑
清洗机台。
具体实施方式
[0035]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参
考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0036]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0037]在本技术的描述中，多个的含义是两个以上，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0038]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0039]本技术的核心是提供一种自动配药装置，避免手工配药时因人为因素导致的操作失误，提高了药液质量。
[0040]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术提供的技术方案，下面将结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0041本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动配药装置，其特征在于，包括：至少两个药桶，各所述药桶上均设置有进料口、底部设置出料口；第一药罐和第二药罐，所述第一药罐的入口通过第一管路分别与各所述药桶的出料口连通，所述第一药罐的出口通过第二管路与所述第二药罐的入口连通，所述第二管路上设置有第一阀门，所述第二药罐的出口用于向衬板的清洗机台喷射药液；多个液位计量器，分别设置于各所述药桶的出料口上，用于计算并控制流入所述第一药罐中的药液量。2.根据权利要求1所述的自动配药装置，其特征在于，还包括用于控制各所述液位计量器的配药系统。3.根据权利要求2所述的自动配药装置，其特征在于，所述配药系统包括控制面板和控制系统；所述控制面板用于操作人员设置所需的药液配比；所述控制系统用于将输入的药液配比传输至各所述液位计量器。4.根据权利要求3所述的自动配药装置，其特征在于，还包括用于检测所述第二药罐内药液液位的液位传感器。5.根据权利要求4所述的自动配药装...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙美玉，郑金龙，王金灵，周铁军，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：