用于固体原料的加料装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于固体原料的加料装置，包括：储料器，具有用于盛装固体原料的储料腔，所述储料器具有与该储料腔相连通的出料口；第一密封塞，可活动的设于所述储料腔内，于第一状态下，所述第一密封塞与所述出料口插接并封闭所述出料口；于第二状态下，所述第一密封塞与所述出料口的内壁分离；驱动机构，与所述第一密封塞相连接，并能够驱使所述第一密封塞移动，以使所述第一密封塞于第一状态和第二状态之间的切换。本发明专利技术的用于固体原料的加料装置能够更好控制加料速度以及降低出料口被堵塞的可能性。堵塞的可能性。堵塞的可能性。

【技术实现步骤摘要】
用于固体原料的加料装置


[0001]本专利技术是关于一种加料机构，特别是关于一种用于固体原料的加料装置。

技术介绍

[0002]金属前驱体化合物是薄膜沉积工艺中的关键材料，主要用于半导体存储、逻辑芯片中的电容电极、栅极过渡层、隔离材料以及相变存储器中的相变材料。金属前驱体化合物的合成是在严格的无水无氧条件下进行的，尤其是在固体原料转移加料过程。对于研发阶段的产品合成，手套箱即可满足反应体系在相对较低的水氧条件。而对于工业化生产，手套箱则不能满足需求。
[0003]由于固体原料颗粒度存在不均一的情况，可能会导致出现加料速度不均一，对反应存在潜在影响，现有的加料装置无法解决上述情况。
[0004]公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于固体原料的加料装置，其能够更好控制加料速度以及降低出料口被堵塞的可能性。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了一种用于固体原料的加料装置，包括：
[0007]储料器，具有用于盛装固体原料的储料腔，所述储料器具有与该储料腔相连通的出料口；
[0008]第一密封塞，可活动的设于所述储料腔内，于第一状态下，所述第一密封塞与所述出料口插接并封闭所述出料口；于第二状态下，所述第一密封塞与所述出料口的内壁分离；
[0009]驱动机构，与所述第一密封塞相连接，并能够驱使所述第一密封塞移动，以使所述第一密封塞于第一状态和第二状态之间切换。
[0010]在一个或多个实施方式中，所述驱动机构能够驱使所述第一密封塞做往复直线运动，且自所述出料口朝向驱动机构方向，所述第一密封塞的外径逐渐增大。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述第一密封塞的外周面上间隔环绕设置有凸起。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述第一密封塞的外周面上间隔环绕设置有多个凸起，相邻的两个所述凸起之间形成有导气槽，于第二状态下，所述储料腔能够通过导气槽与出料口相连通。
[0013]在一个或多个实施方式中，所述第一密封塞包括密封部和延伸部，所述凸起设于所述延伸部上，于第一状态下，所述密封部的外周与出料口相抵，以封闭所述出料口。
[0014]在一个或多个实施方式中，所述驱动机构包括驱动器以及连接件，所述驱动器通过连接件与所述第一密封塞相连接。
[0015]在一个或多个实施方式中，所述第一密封塞上具有第一连接孔，所述连接件与第一连接孔过盈配合。
[0016]在一个或多个实施方式中，所述连接件穿设于所述第一密封塞上。
[0017]在一个或多个实施方式中，所述储料器上设有与所述储料腔相连通的连接口，所述连接口密封连接有第二密封塞，所述第二密封塞具有第二连接孔，所述连接件与第二连接孔可活动的密封连接。
[0018]在一个或多个实施方式中，所述储料器设有与所述储料腔相连通的加料口。
[0019]与现有技术相比，根据本专利技术的用于固体原料的加料装置，通过驱动机构带动第一密封塞运动，并使第一密封塞于第一状态下和第二状态下之间切换，从而起到控制储料腔与出料口连通还是封闭。另外通过驱动机构带动第一密封塞运动，可以通过第一密封塞与出料口的位置关系，控制储料腔与出料口连通处的开口大小，达到控制固体原料的加料速度，并使本专利技术的加料装置更加适用于不同颗粒度的固体原料的加料。
附图说明
[0020]图1是根据本专利技术一实施方式的用于固体原料的加料装置的示意图；
[0021]图2是根据本专利技术一实施方式的用于固体原料的加料装置于第一状态下的剖面图；
[0022]图3是根据本专利技术一实施方式的用于固体原料的加料装置于第二状态下的剖面图；
[0023]图4是根据本专利技术一实施方式的第一密封塞的仰视图。
[0024]主要附图标记说明：
[0025]1、储料器；11、储料腔；12、出料口；13、加料口；14、连接口；2、第一密封塞；21、密封部；22、延伸部；221、凸起；222、导气槽；23、第一连接孔；3、驱动机构；31、驱动器；32、连接件；4、第二密封塞；41、第二连接孔。
具体实施方式
[0026]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本专利技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0027]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0028]本专利技术的专利技术人发现，现有的加料装置中通常在出料口处安装螺纹塞，通过控制螺纹塞的转动，从而实现加料或停止加料的作用。但是在加固体原料的时候，由于固体原料的颗粒大小不同，当固体原料的颗粒大于螺纹塞上相邻的旋转叶片之间的距离，且固体原料自身硬度较高时，固体原料会卡在螺纹塞的叶片之间导致堵住出料口，导致后续固体原料无法通过出料口。另外，本专利技术的加料装置的下方是与反应器(可以认为是制备金属前驱体化合物的反应器)相连通。
[0029]如图1～3所示，根据本专利技术一实施方式的用于固体原料的加料装置，包括储料器1、第一密封塞2以及驱动机构3；储料器1具有用于盛装固体原料的储料腔11，储料器1具有与该储料腔11相连通的出料口12；第一密封塞2可活动的设于储料腔11内，于第一状态下(如图2所示)，第一密封塞2与出料口12插接并封闭出料口12；于第二状态下(如图3所示)，
第一密封塞2与出料口12的内壁分离；驱动机构3与第一密封塞2相连接，并能够驱使第一密封塞2移动，以使第一密封塞2于第一状态和第二状态之间的切换。
[0030]可以理解的是，通过驱动机构3带动第一密封塞2运动，并使第一密封塞2于第一状态下和第二状态下之间切换，从而起到控制储料腔11与出料口12连通还是封闭。另外通过驱动机构3带动第一密封塞2运动，可以通过第一密封塞2与出料口12的位置关系，控制储料腔11与出料口12连通处的开口大小，达到控制固体原料的加料速度，并使本专利技术的加料装置更加适用于不同颗粒度固体原料的加料。
[0031]需要说明的是，如图2所示，于第一状态下，第一密封塞2与出料口12插接并封闭出料口12可以理解为：于第一状态下，第一密封塞2的外周面与出料口12的内壁相抵紧(紧密接触)，即封堵出料口12，从而阻断储料腔11与出料口12的连通关系，使储料腔11内的固体原料无法进入出料口12。
[0032]加料装置的下方是与反应器(可以认为是制备金属前驱体化合物的反应器)相连通，现有技术中由于使用螺纹塞导致加料装置和反应器始终处于连通状态。针对不同的金属前驱体化合物的反应条件，例如，在加料装置加料前，需要反应器加热至一定温度后才会加料，此时反应器内的有机溶剂会出现挥发的情况，即有机溶剂会通过进料口进入储料腔11内，并与储料腔11内的固体原料相接触，可能会导致固体原料结块或者反应形成体积较大的固体，当该体积较大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于固体原料的加料装置，其特征在于，包括：储料器，具有用于盛装固体原料的储料腔，所述储料器上设有与所述储料腔相连通的出料口；第一密封塞，可活动的设于所述储料腔内，于第一状态下，所述第一密封塞与所述出料口插接并封闭所述出料口；于第二状态下，所述第一密封塞与所述出料口的内壁分离；驱动机构，与所述第一密封塞相连接，并能够驱使所述第一密封塞移动，以使所述第一密封塞于第一状态和第二状态之间切换。2.如权利要求1所述的用于固体原料的加料装置，其特征在于，所述驱动机构能够驱使所述第一密封塞做往复直线运动，且自所述出料口朝向驱动机构方向，所述第一密封塞的外径逐渐增大。3.如权利要求1所述的用于固体原料的加料装置，其特征在于，所述第一密封塞的外周面上间隔环绕设置有凸起。4.如权利要求3所述的用于固体原料的加料装置，其特征在于，所述第一密封塞的外周面上间隔环绕设置有多个凸起，相邻的两个所述凸起之间形成有导气槽，于第二状态下，所述储料腔能够通过导气槽与出料口相...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔玮，胡昌明，杨敏，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：