本实用新型专利技术公开了一种电子级气体混配装置，包括标准气瓶，标准气瓶的外侧包覆有电加热烘干套，并且标准气瓶的安放在高精度电子天平秤上；标准气瓶的进口通过气体管道并联连接有第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶；气体管道两端分别连接有第一高压阀和第二高压阀，第一高压阀的出口通过管道连接大气，第二高压阀的出口通过管道连接液氮槽的进口，液氮槽的出口通过管道连接真空泵的进口。本实用新型专利技术通过设置高精度电子天平秤，便于第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶内的气体在标准气瓶内进行定量混配，并且标准气瓶的进口设置有比例阀，便于控制第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶内的气体以任意比例混配，从而大大提高配气效率，提高混配气体的品质。高混配气体的品质。高混配气体的品质。
【技术实现步骤摘要】
一种电子级气体混配装置
[0001]本技术涉及气体混配
，具体涉及一种电子级气体混配装置。
技术介绍
[0002]随着新兴技术的发展，特殊气体需求品类繁多，对相关的特殊气体原料质量要求愈来愈高。现有的特殊气体混合配置一般通过手动的方式控制阀门进行。人为进行充装管理，不但工作量大，而且容易出现人为误操作行为，影响气体的品质。
[0003]基于上述情况，本技术提出了一种电子级气体混配装置，可有效解决以上问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种电子级气体混配装置。本技术提供的一种电子级气体混配装置，通过设置高精度电子天平秤，便于第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶内的气体在标准气瓶内进行定量混配，并且标准气瓶的进口设置有比例阀，便于控制第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶内的气体以任意比例混配，从而大大提高配气效率，提高混配气体的品质。
[0005]本技术通过下述技术方案实现：
[0006]一种电子级气体混配装置，包括标准气瓶，所述标准气瓶的外侧包覆有电加热烘干套，并且所述标准气瓶的安放在高精度电子天平秤上；所述标准气瓶的进口通过气体管道并联连接有第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶；所述气体管道两端分别连接有第一高压阀和第二高压阀，所述第一高压阀的出口通过管道连接大气，所述第二高压阀的出口通过管道连接液氮槽的进口，所述液氮槽的出口通过管道连接真空泵的进口，所述真空泵的出口连通大气。
[0007]根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述第二高压阀的出口连接有回气管，所述回气管上连接有真空回气阀。
[0008]根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述气体管道上连接有高压表和真空表。
[0009]根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶的出口分别连接有电子级隔膜阀。
[0010]根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述标准气瓶的进口连接有比例阀。
[0011]本技术与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
[0012]本技术提供的一种电子级气体混配装置，通过设置高精度电子天平秤，便于第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶内的气体在标准气瓶内进行定量混配，并且标准气瓶的进口设置有比例阀，便于控制第一原料气钢瓶和第二原料气钢瓶内的气体以任意比例混配，从而大大提高配气效率，提高混配气体的品质。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体结构示意图。
具体实施方式
[0014]为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合具体实施例对本技术的优选实施方案进行描述，但是应当理解，附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。附图中描述位置关系仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制。
[0015]实施例1：
[0016]一种电子级气体混配装置，包括标准气瓶1，所述标准气瓶1的外侧包覆有电加热烘干套2，并且所述标准气瓶1的安放在高精度电子天平秤3上；所述标准气瓶1的进口通过气体管道4并联连接有第一原料气钢瓶5和第二原料气钢瓶6；所述气体管道4两端分别连接有第一高压阀7和第二高压阀8，所述第一高压阀7的出口通过管道连接大气，所述第二高压阀8的出口通过管道连接液氮槽9的进口，所述液氮槽9的出口通过管道连接真空泵10的进口，所述真空泵10的出口连通大气。所述标准气瓶1的进口连接有比例阀16。
[0017]本技术通过设置高精度电子天平秤3，便于第一原料气钢瓶5和第二原料气钢瓶6内的气体在标准气瓶内进行定量混配，并且标准气瓶1的进口设置有比例阀16，便于控制第一原料气钢瓶5和第二原料气钢瓶6内的气体以任意比例混配，从而大大提高配气效率，提高混配气体的品质。
[0018]进一步地，在另一个实施例中，所述第二高压阀8的出口连接有回气管11，所述回气管11上连接有真空回气阀12。本技术的回气管12和真空回气阀13通过与真空泵10的配合使用，通过启动真空压缩机对装置进行真空处理，除去装置内的空气等有害组份。
[0019]进一步地，在另一个实施例中，所述气体管道4上连接有高压表13和真空表14。高压表14的设置，便于测量混配装置内的气体压力值。真空表14的设置，便于测量混配装置内的真空度。
[0020]进一步地，在另一个实施例中，所述第一原料气钢瓶5和第二原料气钢瓶6的出口分别连接有电子级隔膜阀15。本技术通过在第一原料气钢瓶5和第二原料气钢瓶6的出口处设置电子级隔膜阀15，防止混配后的气体进入第一原料气钢瓶5和第二原料气钢瓶6内。
[0021]依据本技术的描述及附图，本领域技术人员很容易制造或使用本技术的一种电子级气体混配装置，并且能够产生本技术所记载的积极效果。
[0022]如无特殊说明，本技术中，若有术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此本技术中描述方位或位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以结合附图，并根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0023]除非另有明确的规定和限定，本技术中，若有术语“设置”、“相连”及“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]以上所述，仅是本技术的较佳实施例，并非对本技术做任何形式上的限制，凡是依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子级气体混配装置，其特征在于：包括标准气瓶(1)，所述标准气瓶(1)的外侧包覆有电加热烘干套(2)，并且所述标准气瓶(1)的安放在高精度电子天平秤(3)上；所述标准气瓶(1)的进口通过气体管道(4)并联连接有第一原料气钢瓶(5)和第二原料气钢瓶(6)；所述气体管道(4)两端分别连接有第一高压阀(7)和第二高压阀(8)，所述第一高压阀(7)的出口通过管道连接大气，所述第二高压阀(8)的出口通过管道连接液氮槽(9)的进口，所述液氮槽(9)的出口通过管道连接真空泵(10)的进口，所述真空泵(10)的出口连通大气。2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：任毅文，任志明，朱泽智，
申请(专利权)人：浙江南开气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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