一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，涉及半导体检测技术领域，气缸固定安装在支撑箱内部，气缸端部设置有驱动组件和置物板，上料架上设置有输送机构和上料机构，传动组件设置在上料架上，输送架横向滑动安装在上料架上，输送架上设置有输送组件；两组动力架纵向滑动安装在上料架上，限位组件横向滑动安装在上料架上，限位组件限制动力架的位置；齿轮环固定安装在支撑箱内部，环架转动安装在支撑箱内部，环架上对称纵向滑动安装有检测仪；支撑箱内部的下料架上设置有变速机构和下料机构。本发明专利技术的有益效果：对不同型号的半导体进行全面的检测结构间配合巧妙，自动化程度较高。自动化程度较高。自动化程度较高。

【技术实现步骤摘要】
一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备


[0001]本专利技术涉及半导体检测
，特别涉及一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备。

技术介绍

[0002]场效应晶体管属于电压控制型半导体器件，在半导体的生产过程中，会产生许多晶体缺陷。有些缺陷在适量的程度内是有益的。如必要的外来掺杂原子以及均匀而少量的位错等；有些缺陷的存在，直接影响晶体的物理化学性质，从而使半导体器件的电学性能和光学性能发生显著变化，影响器件的可靠性和成品率；在机械加工过程中，造成半导体的缺陷，影响半导体器件的制造与性能。
[0003]现有技术公开号为CN114377978A的中国专利技术专利申请公开了一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，包括支撑架、输送机构，输送机构设置在撑架内侧，输送机构与支撑架之间设置有检测机构，扫描仪固定安装在输送机构外侧，与检测机构电连接，输送机构将半导体输送至扫描仪下方，扫描仪对半导体进行扫描，支撑架上固定安装有真空组件，检测到不合格的半导体，驱动真空组件和剔除组件共同配合，吸附不合格的半导体进行吸收，输送机构与剔除组件之间设置有传动组件，输送机构与传动组件驱动剔除组件，对半导体进行持续分流，剔除组件外侧的计数器计算输送机构上的半导体，计算器的数量不准确的时候，发出警报，提高了检测效率。
[0004]现有技术虽然解决了半导体的检测效率问题，但是对于半导体的检测，机构之间配合不够紧密，且不能自动进行上料，也不能对半导体进行全面的检测，所以急需一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备。r/>
技术实现思路

[0005]针对上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，包括支撑机构和检测机构，支撑机构包括支撑箱、上料架，上料架固定安装在支撑箱内部，支撑箱内部设置有驱动机构，所述驱动机构包括气缸、驱动组件，气缸固定安装在支撑箱内部，置物板转动安装在气缸的输出端，气缸端部固定安装有驱动组件，上料架上设置有输送机构和上料机构，所述输送机构包括传动组件、输送架，传动组件设置在上料架上，输送架横向滑动安装在上料架上，输送架上设置有输送组件，驱动组件的第一驱动板与传动组件的传动齿条接触配合；上料机构包括两组动力架、限位组件，两组动力架纵向滑动安装在上料架上，限位组件横向滑动安装在上料架上，动力架的上料楔体与输送架的啮合楔体接触配合，限位组件限制动力架的位置；检测机构包括齿轮环、环架，齿轮环固定安装在支撑箱内部，环架转动安装在支撑箱内部，齿轮环、环架均与气缸同轴心，环架上对称纵向滑动安装有检测仪；支撑箱内部的下料架上设置有变速机构和下料机构，所述变数机构包括棘齿条、变速组件，棘齿条滑动安装在下料架上，棘齿条的下料楔体与驱动组件的第二驱动板接触配合，变速组件转动安装在下料架上，棘齿条通过变速组件驱动下料机
构进行下料。
[0006]进一步地，所述驱动机构还包括扭矩弹簧、两组翻转组件，扭矩弹簧设置在置物板与气缸的输出端之间，两组翻转组件对称设置在上料架上，所述翻转组件包括翻转楔体、翻转弹簧，翻转楔体滑动安装在上料架上，翻转弹簧设置在上料架与翻转楔体之间，翻转弹簧一端与翻转楔体固定安装，翻转弹簧另一端与上料架固定安装，置物板上设置有长杆，长杆与翻转楔体接触配合。气缸伸长，带动置物板上升，置物板上升时，长杆与翻转楔体的斜面接触，推动翻转楔体向上料架内部滑动，翻转弹簧压缩，扭矩弹簧不发生形变；气缸收缩时，带动置物板向下移动，长杆与翻转楔体的直角面接触，在扭矩弹簧的弹性作用下，扭矩弹簧发生形变，置物板在气缸的输出端偏转，置物板上的半导体掉落在下料机构上，气缸带动置物板继续向下移动，直至翻转楔体与长杆断开接触，在扭矩弹簧的弹性作用下，置物板恢复初始位置，气缸与支撑箱底面平行。
[0007]进一步地，所述传动组件包括传动齿轮、被动齿轮，传动齿条和传动齿轮分别有两组，一组传动齿条对应一组传动齿轮，传动齿条对称滑动安装在上料架的键槽上，传动齿条底部与上料架之间设置有输送弹簧，传动齿轮转动安装在上料架上，传动齿轮与传动齿条啮合；输送架上设置有从动齿条、矩形轨，被动齿轮转动并滑动安装在矩形轨上，被动齿轮与两组传动齿轮固定安装，被动齿轮与从动齿条啮合。气缸处于收缩状态时，第一驱动板与传动齿条接触，输送弹簧处于压缩状态；气缸伸长时带动驱动组件向上移动，输送弹簧伸长，推动传动齿条向上移动，传动齿条向上移动时，在与传动齿轮的啮合作用下，带动传动齿轮转动，传动齿轮转动时带动被动齿轮转动，被动齿轮通过与从动齿条的啮合作用，带动输送架在上料架上滑动。
[0008]进一步地，所述输送组件包括两组输送辊、两组输送齿轮，两组输送辊转动安装在输送架上，两组输送辊上设置有输送带，其中一组输送辊的两端分别与两组输送齿轮固定安装，动力架与上料架之间设置有上料弹簧，动力架上设置有对称设置有两组上料齿条，输送组件设置在两组上料齿条之间，输送组件与上料齿条啮合。输送架在上料架上向外移动时，上料弹簧处于压缩状态，输送齿轮与上方的上料齿条啮合，驱动输送齿轮带动输送辊顺时针转动；输送架向上料架内部移动时，上料弹簧处于伸长状态，带动动力架向上移动，输送齿轮与下方的上料齿条啮合，驱动输送齿轮带动输送辊顺时针转动。
[0009]进一步地，所述限位组件设置在输送架中部，所述限位组件包括两组限位架、限位弹簧，限位架上设置有限位柱块，限位柱块横向滑动安装在上料架上，两组限位架对称横向滑动安装在输送架中部，动力架上设置有空心槽，限位柱块与空心槽接触配合，多组限位弹簧设置在两组限位架之间，限位架端部与输送架接触配合；动力架下方设置有上料楔体，上料楔体与输送架的啮合楔体接触配合。输送架向上料架外部移动时，限位架处于与动力架处于静止状态，输送架与限位架端部接触时，驱动两组限位架相向移动，两组限位架之间的距离缩小，断开空心槽与限位柱块的咬合，在上料弹簧的弹性作用下，动力架向上移动；输送架向上料架内部滑动时，在上料楔体与输送架的啮合楔体的接触配合的作用下，带动动力架向下移动，上料弹簧压缩，直至限位柱块与空心槽再次咬合，限制动力架的位置。
[0010]进一步地，所述检测机构还包括圆周组件、竖向组件，圆周组件包括圆周电机、圆周齿轮，圆周电机固定安装在环架上，圆周齿轮转动安装在环架上，圆周齿轮与圆周电机的输出轴固定安装，圆周齿轮与齿轮环啮合；所述竖向组件包括竖向电机、竖向齿条，竖向电
机固定安装在检测仪上，竖向电机的输出轴上固定安装有竖向齿轮，竖向齿条固定安装在环架的竖架上，竖向齿轮与竖向齿条啮合。圆周电机带动圆周齿轮转动，圆周齿轮转动时在与齿轮环的啮合作用下，带动环架在支撑箱内部转动，环架在齿轮环内部转动时，对半导体四周进行360度检测；竖向电机带动竖向齿轮转动，竖向齿轮转动时在与竖向齿条的啮合作用下，带动检测仪在竖架上纵向移动，从而对不同高度的半导体进行检测。
[0011]进一步地，所述变速机构还包括多组下料弹簧、棘轮，下料弹簧设置在棘齿条与下料架之间，下料弹簧一端与下料架固定安装，下料弹簧另一端与棘齿条固定安装，棘轮转动安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，其特征在于：包括支撑机构和检测机构，支撑机构包括支撑箱(11)、上料架(13)，上料架(13)固定安装在支撑箱(11)内部，支撑箱(11)内部设置有驱动机构，所述驱动机构包括气缸(31)、驱动组件(33)，气缸(31)固定安装在支撑箱(11)内部，置物板(32)转动安装在气缸(31)的输出端，气缸(31)端部固定安装有驱动组件(33)，上料架(13)上设置有输送机构和上料机构，所述输送机构包括传动组件(21)、输送架(22)，传动组件(21)设置在上料架(13)上，输送架(22)横向滑动安装在上料架(13)上，输送架(22)上设置有输送组件(24)，驱动组件(33)的第一驱动板(331)与传动组件(21)的传动齿条(211)接触配合；上料机构包括两组动力架(41)、限位组件(43)，两组动力架(41)纵向滑动安装在上料架(13)上，限位组件(43)横向滑动安装在上料架(13)上，动力架(41)的上料楔体(413)与输送架(22)的啮合楔体(223)接触配合，限位组件(43)限制动力架(41)的位置；检测机构包括齿轮环(51)、环架(52)，齿轮环(51)固定安装在支撑箱(11)内部，环架(52)转动安装在支撑箱(11)内部，齿轮环(51)、环架(52)均与气缸(31)同轴心，环架(52)上对称纵向滑动安装有检测仪(53)；支撑箱(11)内部的下料架(12)上设置有变速机构和下料机构，所述变数机构包括棘齿条(61)、变速组件(64)，棘齿条(61)滑动安装在下料架(12)上，棘齿条(61)的下料楔体(611)与驱动组件(33)的第二驱动板(332)接触配合，变速组件(64)转动安装在下料架(12)上，棘齿条(61)通过变速组件(64)驱动下料机构进行下料。2.根据权利要求1所述的一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，其特征在于：所述驱动机构还包括扭矩弹簧(34)、两组翻转组件(35)，扭矩弹簧(34)设置在置物板(32)与气缸(31)的输出端之间，两组翻转组件(35)对称设置在上料架(13)上，所述翻转组件(35)包括翻转楔体(351)、翻转弹簧(352)，翻转楔体(351)滑动安装在上料架(13)上，翻转弹簧(352)设置在上料架(13)与翻转楔体(351)之间，翻转弹簧(352)一端与翻转楔体(351)固定安装，翻转弹簧(352)另一端与上料架(13)固定安装，置物板(32)上设置有长杆(321)，长杆(321)与翻转楔体(351)接触配合。3.根据权利要求1所述的一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，其特征在于：所述传动组件(21)包括传动齿轮(212)、被动齿轮(213)，传动齿条(211)和传动齿轮(212)分别有两组，一组传动齿条(211)对应一组传动齿轮(212)，传动齿条(211)对称滑动安装在上料架(13)的键槽(131)上，传动齿条(211)底部与上料架(13)之间设置有输送弹簧(23)，传动齿轮(212)转动安装在上料架(13)上，传动齿轮(212)与传动齿条(211)啮合；输送架(22)上设置有从动齿条(221)、矩形轨(222)，被动齿轮(213)转动并滑动安装在矩形轨(222)上，被动齿轮(213)与两组传动齿轮(212)固定安装，被动齿轮(213)与从动齿条(221)啮合。4.根据权利要求3所述的一种一体化场效应管控制的半导体缺陷检测设备，其特征在于：所述输送组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹泽明，刘轶亮，徐泽霖，曾长春，廖海辉，
申请(专利权)人：深圳优晶微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：