本发明专利技术公开了一种回收尾气中硅烷的装置，包括吸收塔、冷凝器和气液分离罐，吸收塔内设置有填料，冷凝器设置于吸收塔内，气液分离罐与吸收塔连接；含有氯硅烷的吸收液从填料的上部进入吸收塔，含有硅烷的尾气从填料的下部进入吸收塔，含有硅烷的尾气与含有氯硅烷的吸收液在填料的内部进行吸收分离，吸收完的吸收液排出吸收塔，分离后的尾气经冷凝器冷凝后进入气液分离罐中沉降后排出吸收塔。本发明专利技术将尾气中硅烷的吸收、冷凝、沉降等进行串联使用，提高尾气中硅烷回收率的同时降低吸收液的损失，使得整体物料损耗降至最低。得整体物料损耗降至最低。得整体物料损耗降至最低。
【技术实现步骤摘要】
一种回收尾气中硅烷的装置
[0001]本专利技术涉及硅烷回收
，尤其涉及一种回收尾气中硅烷的装置。
技术介绍
[0002]硅基材料是电子信息产业和太阳能光伏发电产业最重要的基础材料，目前用于太阳能光伏发电的多晶硅，是一种高效、环保和清洁的新能源技术。
[0003]硅烷作为生产颗粒硅最主要的反应原料，直接影响颗粒硅的生产成本，而尾气排放中含有硅烷，会造成硅烷的损失，增加颗粒硅的生产成本。如何回收尾气中硅烷是降低生产成本的途径之一，传统的冷凝分离回收不仅冷凝温度低，冷凝链比较长，控制不稳定，设备多且要求高，如含有氯硅烷可能会造成系统
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冰堵”，影响生产的连续。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种回收尾气中硅烷的装置，以解决传统冷凝分离回收尾气中硅烷冷凝温度低、冷凝链长、控制不稳定、设备多且要求高以及易出现冰堵、生产不连续的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术是采用下述方案实现的：本专利技术提供了一种回收尾气中硅烷的装置，包括吸收塔、冷凝器和气液分离罐，吸收塔内设置有填料，冷凝器设置于吸收塔内，气液分离罐与吸收塔连接；含有氯硅烷的吸收液从填料的上部进入吸收塔，含有硅烷的尾气从填料的下部进入吸收塔，含有硅烷的尾气与含有氯硅烷的吸收液在填料的内部进行吸收分离，吸收完的吸收液排出吸收塔，分离后的尾气经冷凝器冷凝后进入气液分离罐中沉降后排出吸收塔。
[0006]进一步地，还包括约翰逊网，约翰逊网设置在冷凝器的出口，用于对冷凝后的尾气进行初次除沫、沉降。
[0007]进一步地，还包括挡板，挡板设置在气液分离罐的入口，用于对冷凝后的尾气进行再次除沫、沉降。
[0008]进一步地，还包括除沫器，除沫器设置在气液分离罐的顶部，用于对冷凝后的尾气进行再次除沫、沉降。
[0009]进一步地，除沫器为丝网除沫器。
[0010]进一步地，吸收完、排出吸收塔的吸收液回至汽化分离塔内解析出硅烷。
[0011]与现有技术相比，本专利技术所达到的有益效果：1、本专利技术相对于冷凝分离，使用氯硅烷进行吸收、冷凝分离，不仅仅可以避免出现冰堵，也可以降低设备的投资，因设备较少相对长链冷凝更稳定。
[0012]2、本专利技术将尾气中硅烷的吸收、冷凝、沉降等进行串联使用，提高尾气中硅烷回收率的同时降低吸收液的损失，使得整体物料损耗降至最低。
附图说明
[0013]图1是本专利技术实施例提供的一种回收尾气中硅烷的装置的结构示意图；图中：1、吸收塔；2、冷凝器；3、气液分离罐；4、约翰逊网；5、挡板；6、丝网除沫器；7、填料。
实施方式
[0014]下面结合附图对本专利技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。
[0015]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0016]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0017]如图1所示，本实施例提供了一种回收尾气中硅烷的装置，由吸收塔1、冷凝器2和气液分离罐3组成，该回收尾气中硅烷的装置相对于冷凝分离，使用氯硅烷进行吸收、冷凝分离，不仅仅可以避免出现冰堵，也可以降低设备的投资，因设备较少相对长链冷凝更稳定；将尾气中硅烷的吸收、冷凝、沉降等进行串联使用，提高尾气中硅烷回收率的同时降低吸收液的损失，使得整体物料损耗降至最低。
[0018]具体地，吸收塔1内设置有填料7，冷凝器2设置于吸收塔1内，气液分离罐3与吸收塔1连接。一定温度、压力、流量的吸收液（含有氯硅烷的一种溶液，主要吸收尾气的硅烷，与硅烷不发生反应）从填料7的上部进入吸收塔1，含有硅烷的尾气从填料7的下部进入吸收塔2，含有硅烷的尾气与含有氯硅烷的吸收液在填料7的内部进行吸收分离，从而把尾气中的硅烷含量降低，吸收完的吸收液从吸收塔1的下方排出吸收塔1，分离后尾气中含有的少量硅烷经冷凝器2进行冷凝，再通过冷凝器2列管出口加装的约翰逊网4进行初次除沫、沉降，之后进入带有挡板5的气液分离罐3，挡板5设置在气液分离罐3的入口，气液分离罐3顶部还设置有丝网除沫器6，把微小吸收液雾滴进行再次沉降，确保排放出的尾气中吸收液、硅烷浓度最低，最后不含硅烷的尾气从气液分离罐3的上方排出。
[0019]此外，吸收完、排出吸收塔1的吸收液回至汽化分离塔内进行解析，把硅烷解析出来作为产品使用。
[0020]上述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本专利技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种回收尾气中硅烷的装置，其特征在于，包括吸收塔、冷凝器和气液分离罐，吸收塔内设置有填料，冷凝器设置于吸收塔内，气液分离罐与吸收塔连接；含有氯硅烷的吸收液从填料的上部进入吸收塔，含有硅烷的尾气从填料的下部进入吸收塔，含有硅烷的尾气与含有氯硅烷的吸收液在填料的内部进行吸收分离，吸收完的吸收液排出吸收塔，分离后的尾气经冷凝器冷凝后进入气液分离罐中沉降后排出吸收塔。2.根据权利要求1所述回收尾气中硅烷的装置，其特征在于，还包括约翰逊网，约翰逊网设置在冷凝器的出口，用于对冷凝后的尾气进行...
【专利技术属性】
技术研发人员：许跃，杨浩，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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