本实用新型专利技术涉及晶圆定向技术领域，且公开了大尺寸晶圆定向装置，包括定位盒，定位盒的内部中心处转动设有转轴，定位盒的底部固定设有电机，转轴的下端与电机的输出端固定连接，定位盒的顶部设有开口，且开口处设有旋转平台，旋转平台的下表面与转轴的上端固定连接，定位盒的顶部且位于旋转平台的四周均安装有角度传感器；定位盒的内部且位于转轴的两侧均固定设有滑座，两个滑座的内部均弹性设有滑杆，两个滑杆相对的一端均固定设有夹板，两个滑杆相背离的一端固定设有同一个拉绳，转轴的轴壁固定设有旋转体。本实用新型专利技术带有对旋转平台定位的结构，使得旋转平台不易发生旋转，增加了对晶圆的定向稳固性，提高了对晶圆测量的精准度。精准度。精准度。
【技术实现步骤摘要】
大尺寸晶圆定向装置
[0001]本技术涉及晶圆定向
，尤其涉及大尺寸晶圆定向装置。
技术介绍
[0002]半导体晶圆主要是采用硅材料制作加工成的半导体材料，其外部形状呈圆形结构，在集成电路中使用较为广泛，在外部表面安装相应的电路原件可以形成特定的电路结构，半导体晶圆内部的硅晶材料的晶向直接影响晶圆的使用效果，晶向的测量需要使用专用的晶向测量仪来进行测量，通过定向投影照射的方式来观察硅晶的晶向分布情况，从而判断晶向指数。
[0003]其中专利号为CN111947616A，公开了大尺寸晶圆定向装置系统，包括一定位盒，设于所述定位盒内的用于放置晶圆的旋转平台，设于所述旋转平台上端面的参考位定向系统，以及设于所述旋转平台背面的角度传感器。
[0004]在上述的方案中通过旋转平台将晶圆旋转定位后，旋转平台仍然会出现转动的现象，从而导致晶圆的定向效果差，影响测量的精准度。为此，提出大尺寸晶圆定向装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决
技术介绍
提出的问题，而提出的大尺寸晶圆定向装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]大尺寸晶圆定向装置，包括定位盒，所述定位盒的内部中心处转动设有转轴，所述定位盒的底部固定设有电机，所述转轴的下端与电机的输出端固定连接，所述定位盒的顶部设有开口，且开口处设有旋转平台，所述旋转平台的下表面与转轴的上端固定连接，所述定位盒的顶部且位于旋转平台的四周均安装有角度传感器；
[0008]所述定位盒的内部且位于转轴的两侧均固定设有滑座，两个所述滑座的内部均弹性设有滑杆，两个所述滑杆相对的一端均固定设有夹板，两个所述滑杆相背离的一端固定设有同一个拉绳，且拉绳位于定位盒的下方设置，所述转轴的轴壁固定设有旋转体，所述夹板与旋转体接触设置。
[0009]优选的，所述滑杆的杆壁固定设有固定环，且滑杆的杆壁套设有弹簧，所述弹簧的两端分别与固定环的侧壁和滑座的侧壁固定连接。
[0010]优选的，所述定位盒的底部固定设有支撑架，所述拉绳位于定位盒与支撑架之间。
[0011]优选的，所述定位盒的底部两侧均固定设有定滑轮，所述拉绳穿过定滑轮的轮壁设置。
[0012]优选的，所述滑杆远离夹板的一端开设有固定孔，所述拉绳的一端固定设置于固定孔的内部。
[0013]优选的，所述夹板采用弧形板，所述旋转体采用半球体，所述夹板的弧度与旋转体的侧壁相匹配。
[0014]优选的，所述旋转平台的上表面开设有定位槽，所述旋转平台的上表面且位于定位槽的外部开设有多个均匀分布的取出槽。
[0015]优选的，所述拉绳采用钢丝绳。
[0016]优选的，所述电机和角度传感器均与外部的计算机系统电性连接。
[0017]与现有技术相比，本技术提供了大尺寸晶圆定向装置，具备以下有益效果：
[0018]1、该大尺寸晶圆定向装置，通过设有的电机、旋转平台和角度传感器，电机工作能够带动转轴旋转，转轴能够带动旋转平台旋转，从而能够使得晶圆旋转进行角度定向调整。
[0019]2、该大尺寸晶圆定向装置，通过设有的滑座、滑杆、夹板、拉绳、旋转体、固定环和弹簧，弹簧能够给滑杆施加弹力，使得滑杆的一端带动夹板移动，能够使得夹板与旋转体的侧壁接触，从而使得转轴的位置得到固定，使得旋转平台不能够随意的发生旋转，提高了对晶圆的定向稳固性，提升了测量的精准度，同时拉动拉绳，使得拉绳的拉动分别拉动两个滑杆移动，从而能够使得夹板与旋转体分离，此时解除了对旋转平台的固定。
[0020]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术带有对旋转平台定位的结构，使得旋转平台不易发生旋转，增加了对晶圆的定向稳固性，提高了对晶圆测量的精准度。
附图说明
[0021]图1为本技术提出的大尺寸晶圆定向装置的结构示意图；
[0022]图2为图1中滑座和滑杆连接的结构示意图；
[0023]图3为图1中旋转体的结构示意图；
[0024]图4为图1中旋转平台的俯视图。
[0025]图中：1、定位盒；2、转轴；3、电机；4、旋转平台；5、角度传感器；6、滑座；7、滑杆；8、夹板；9、拉绳；10、旋转体；11、固定环；12、弹簧；13、支撑架；14、定滑轮；15、定位槽；16、取出槽。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]实施例1
[0028]参照图1，大尺寸晶圆定向装置，包括定位盒1，定位盒1的内部中心处转动设有转轴2，定位盒1的底部固定设有电机3，转轴2的下端与电机3的输出端固定连接，定位盒1的顶部设有开口，且开口处设有旋转平台4，旋转平台4的下表面与转轴2的上端固定连接，定位盒1的顶部且位于旋转平台4的四周均安装有角度传感器5，电机3和角度传感器5均与外部的计算机系统电性连接，计算机系统控制电机3工作，电机3工作能够带动转轴2旋转，转轴2能够带动旋转平台4旋转，从而能够使得晶圆旋转进行角度定向调整，旋转平台4在旋转的过程中角度传感器5能够检测出倾斜角度，从而能够自动调节晶圆角度。
[0029]实施例2
[0030]参照图1
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3，定位盒1的内部且位于转轴2的两侧均固定设有滑座6，两个滑座6的内
部均弹性设有滑杆7，两个滑杆7相对的一端均固定设有夹板8，两个滑杆7相背离的一端固定设有同一个拉绳9，且拉绳9位于定位盒1的下方设置，拉绳9采用钢丝绳，滑杆7远离夹板8的一端开设有固定孔，拉绳9的一端固定设置于固定孔的内部，转轴2的轴壁固定设有旋转体10，夹板8与旋转体10接触设置，夹板8采用弧形板，旋转体10采用半球体，夹板8的弧度与旋转体10的侧壁相匹配；滑杆7的杆壁固定设有固定环11，且滑杆7的杆壁套设有弹簧12，弹簧12的两端分别与固定环11的侧壁和滑座6的侧壁固定连接；定位盒1的底部固定设有支撑架13，拉绳9位于定位盒1与支撑架13之间；定位盒1的底部两侧均固定设有定滑轮14，拉绳9穿过定滑轮14的轮壁设置。
[0031]实施例3
[0032]参照图4，旋转平台4的上表面开设有定位槽15，旋转平台4的上表面且位于定位槽15的外部开设有多个均匀分布的取出槽16，定位槽15能够将晶圆自动定位放置，使得晶圆位于旋转平台4的中心处，同时取出槽16的设置，便于人工将晶圆从定位槽15的内部取出。
[0033]本技术中，使用时，工作人员向下拉动拉绳9，使得拉绳9的拉动能够分别带动两个滑杆7移动，使得两个滑杆7的一端分别带动夹板8移动并与旋转体10分离，此时解除了对转轴2的夹持固定，再通过计算机系统控制电机3工作，电机3工作能够带动转轴2旋转，转轴2能够带动旋转平台4旋转，从而能够使得晶圆旋转进行角度定本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.大尺寸晶圆定向装置，包括定位盒(1)，其特征在于，所述定位盒(1)的内部中心处转动设有转轴(2)，所述定位盒(1)的底部固定设有电机(3)，所述转轴(2)的下端与电机(3)的输出端固定连接，所述定位盒(1)的顶部设有开口，且开口处设有旋转平台(4)，所述旋转平台(4)的下表面与转轴(2)的上端固定连接，所述定位盒(1)的顶部且位于旋转平台(4)的四周均安装有角度传感器(5)；所述定位盒(1)的内部且位于转轴(2)的两侧均固定设有滑座(6)，两个所述滑座(6)的内部均弹性设有滑杆(7)，两个所述滑杆(7)相对的一端均固定设有夹板(8)，两个所述滑杆(7)相背离的一端固定设有同一个拉绳(9)，且拉绳(9)位于定位盒(1)的下方设置，所述转轴(2)的轴壁固定设有旋转体(10)，所述夹板(8)与旋转体(10)接触设置。2.根据权利要求1所述的大尺寸晶圆定向装置，其特征在于，所述滑杆(7)的杆壁固定设有固定环(11)，且滑杆(7)的杆壁套设有弹簧(12)，所述弹簧(12)的两端分别与固定环(11)的侧壁和滑座(6)的侧壁固定连接。3.根据权利要求1所述的大尺寸晶圆定向装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：万峰，阮金陵，
申请(专利权)人：江苏美伦光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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