【技术实现步骤摘要】
集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法
[0001]本专利技术涉及集成电路加工设备
,特别涉及集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法。
技术介绍
[0002]集成电路是电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。
[0003]然而现如今的防静电层表面涂覆装置对集成电路板进行双面涂覆时,涂覆完一面后,需要另行使用翻面部件单独将集成电路板翻面,翻面过程时间长,整体工作效率降低,而且防静电层表面涂覆装置要么是通过移动电路板来实现全面喷涂,这样操作电路板不易翻面,要么是通过移动喷涂头来进行全面喷涂的,还需要设置特定的喷涂头移动机构,移动喷涂头需要使用输送软管,这样在输送软管的弯曲再拉直的过程中,液体的流速会发生改变,会导致喷涂不均匀,而且输送软管也容易损坏,支撑工作台容易因喷涂飘落的残留,导致其底部有大量的涂料残留,造成支撑工作台底部的不整洁。
[0004]为解决上述问题。为此,提出集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法,防静电层涂覆机构包括支撑柱以及设置在支撑柱上端的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置,包括支撑工作台(1)以及设置在支撑工作台(1)上端的防静电层涂覆机构(2),支撑工作台(1)的上端设置有翻转移动机构(3),位于翻转移动机构(3)一端的支撑工作台(1)上设置有双面压匀机构(4),远离翻转移动机构(3)的双面压匀机构(4)一侧的支撑工作台(1)上设置有风干机构(5),其特征在于,防静电层涂覆机构(2)包括支撑柱(21)以及设置在支撑柱(21)上端的支撑板(22),支撑板(22)的上端设置有涂料储存箱(23),涂料储存箱(23)的一侧设置有液压泵(24),液压泵(24)固定设置在支撑板(22)的上端,液压泵(24)的输出端与喷涂头(25)的输入端连接,且喷涂头(25)固定设置在支撑板(22)的下端;翻转移动机构(3)包括驱动部件(31)以及与驱动部件(31)啮合连接的电路板翻转支撑部件(32),驱动部件(31)设置在支撑工作台(1)的内侧,电路板翻转支撑部件(32)的一端插入设置在支撑工作台(1)内侧的移动部件(33)内,移动部件(33)与驱动部件(31)啮合连接,驱动部件(31)的驱动端还设置有辅助风干组件(34),辅助风干组件(34)的一端与支撑工作台(1)活动连接。2.如权利要求1所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置,其特征在于,驱动部件(31)包括伺服电机(311)以及设置在伺服电机(311)驱动端的主动齿轮(312);电路板翻转支撑部件(32)包括贯穿支撑杆(321)以及设置在贯穿支撑杆(321)一端的从动齿轮组件(322),从动齿轮组件(322)远离贯穿支撑杆(321)的一侧设置有卡扣组件(323),贯穿支撑杆(321)远离从动齿轮组件(322)的一端设置有支撑翻转组件(324)。3.如权利要求2所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置,其特征在于,从动齿轮组件(322)包括齿轮盘(3221)以及设置在齿轮盘(3221)外侧的第一齿轮条(3222),第一齿轮条(3222)的两侧设置有第一复位扭簧(3223)。4.如权利要求3所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置,其特征在于,卡扣组件(323)包括插柱(3231)以及设置在插柱(3231)外侧的第一复位弹簧(3232),第一复位弹簧(3232)远离插柱(3231)的一端设置有卡头(3233),卡头(3233)与支撑移动块(333)内侧开设的卡孔(3331)相对应。5.如权利要求4所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置,其特征在于,支撑翻转组件(324)包括支撑架(3241)以及设置在支撑架(3241)两端的延伸杆(3242),延伸杆(3242)的外侧设置有三角锥头(3243),延伸杆(3242)的内侧设置有第二复位弹簧(3244),第二复位弹簧(3244)远离延伸杆(3242)的一端设置有夹持头(3245)。6.如权利要求5所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置,其特征在于,移动部件(33)包括传动移动组件(331)以及设置在传动移动组件(331)内侧的导向杆(332),导向杆(332)的两端与支撑工作台(1)固定连接,传动移动组件(331)的一端设置有支撑移动块(333),支撑移动块(333)的内侧开设有卡孔(3331),支撑移动块(333)的下端设置有稳固轮(334);传动移动组件(331)包括牵引杆(3311)以及设置在牵引杆(3311)下端的第二齿条(3312),靠近支撑移动块(333)一端的第二齿条(3312)的一侧设置有传动齿条(3313),传动齿条(3313)的两侧设置有第二复位扭簧(3314)。7.如权利要求6所述的集成电路加工用可翻面的...
【专利技术属性】
技术研发人员:江华,
申请(专利权)人:启东良友机电工具有限公司,
类型:发明
国别省市:
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