本发明专利技术涉及单晶炉技术领域，尤其是指一种单晶炉热场拆装装置，包括定位杆，所述定位杆的横截面呈六边形设置，所述定位杆的外侧固接有四根膨胀囊，所述定位杆的内侧设置有气压组件，所述气压组件用于给膨胀囊提供气压，所述定位杆的底部设置有下支撑杆，通过此种设置，就能将导流筒垂直拉起，而且支撑稳定，可以将导流筒稳定提起，加快了拆卸热场的效率，且在导流筒在检查结束后，也能通过相同的方法将导流筒放回到单晶炉中，而膨胀囊的设置，是为了减少下支撑杆底部与石墨件导流筒的摩擦，向外顶出的膨胀囊会接触到导流筒的内壁，将下支撑杆和定位杆维持在导流筒的中部，减少了下沉过程中因为摩擦导致导流筒受损的问题。程中因为摩擦导致导流筒受损的问题。程中因为摩擦导致导流筒受损的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场拆装装置
[0001]本专利技术涉及单晶炉
，尤其是指一种单晶炉热场拆装装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅是在热场中进行拉制的，热场的优劣对单晶硅质量有很大影响。单晶硅生长过程中，好的热场，能生产出高质量的单晶。
[0003]热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、（三瓣式）石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓，为了防止漏硅，炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
[0004]单晶炉在加热制备过一次产品后，需要将内部的热场结构拆除并取出，检测所有石墨件表面是否存在损伤、裂痕，同时清理表面硅滴，并在擦拭完全部表面后，再将热场安装回单晶炉中，现有的拆装方式，大部分还是依靠人力佩戴隔热手套进行拆装，热场结构中有些零件拆装方便，如三瓣石墨坩埚，但是有些热场零件，如导流筒，导流筒按照拆卸顺序只排在压环的后面，将压环取出后，就需要将导流筒取出，但是导流筒内壁呈圆台状，且导流筒的侧面与单晶炉的内壁贴合，导致导流筒表面没有合适的着力点，因此导流筒难以取出。
技术实现思路
[0005]为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中，大部分还是依靠人力佩戴隔热手套进行拆装，热场结构中有些零件拆装方便，如三瓣石墨坩埚，但是有些热场零件，如导流筒，导流筒按照拆卸顺序只排在压环的后面，将压环取出后，就需要将导流筒取出，但是导流筒内壁呈圆台状，且导流筒的侧面与单晶炉的内壁贴合，导致导流筒表面没有合适的着力点，因此导流筒难以取出。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种单晶炉热场拆装装置，包括定位杆，所述定位杆的横截面呈六边形设置，所述定位杆的外侧固接有四根膨胀囊，所述定位杆的内侧设置有气压组件，所述气压组件用于给膨胀囊提供气压，所述定位杆的底部设置有下支撑杆，所述下支撑杆的外侧开设有多个收纳槽，所述收纳槽的内侧转动连接有扣抓块；通过此种设置，就能将导流筒垂直拉起，而且支撑稳定，可以将导流筒稳定提起，加快了拆卸热场的效率，且在导流筒在检查结束后，也能通过相同的方法将导流筒放回到单晶炉中，而膨胀囊的设置，是为了减少下支撑杆底部与石墨件导流筒的摩擦，通过气压组件向膨胀囊中填充气压，让膨胀囊膨胀，三个向外顶出的膨胀囊会接触到导流筒的内壁，将下支撑杆和定位杆维持在导流筒的中部，减少了下沉过程中因为摩擦导致导流筒受损的问题，膨胀囊为耐热材料，具体可以为特氟龙涂覆的玻璃纤维布编织而成。
[0007]在本专利技术的一个实施例中，所述扣抓块与收纳槽的转动连接点为自身中部偏下，所述扣抓块的顶部开设有卡接槽，所述扣抓块不受力状态下呈顶部向外的倾斜状态设置，
所述下支撑杆的底面中部转动连接有螺栓，所述螺栓的顶部贯穿下支撑杆的顶面，配合扣抓块的形态设置，扣抓块的重心在旋转连接点的上方，且收纳槽上方深度较浅，扣抓块的上方无法旋转至垂直状态，因此无论何时扣抓块都会在重力作用下向外展开，保证扣抓块在经过导流筒下方后，可以自行展开，而螺栓的设置，可以将下支撑杆从定位杆底部分开，需要使用时再连接上。
[0008]在本专利技术的一个实施例中，所述定位杆的顶部固接有中支柱，所述中支柱的外侧固接有三个抓取架，所述抓取架的外侧固接有固定臂，所述固定臂的中部靠顶端转动连接有挤压臂，所述挤压臂的顶部设置有动力组件，所述动力组件用于控制挤压臂的转动，所述挤压臂和固定臂的顶部之间固接有弹簧；通过螺栓让下支撑杆与定位杆分离，此时将中支柱和定位杆向下伸入单晶炉中，让膨胀的膨胀囊挤压到石英坩埚的内壁，以此定位中支柱和定位杆的位置，此时继续下沉中支柱，由于膨胀囊将中支柱定位到石英坩埚的中心位置，随着中支柱的下沉，三个固定臂就会刚好位于石英坩埚的外围，而三个挤压臂就会刚好位于石英坩埚的内侧，此时只需使用动力组件，让挤压臂向固定臂方向旋转移动，就能将石英坩埚夹住，之后只需上提中支柱，就能将石英坩埚取出，通过此种设置，可以将石英坩埚稳定的取出，同时沿用了取出导流筒的定位结构，让该设备可以同时应用于取出两种热场结构。
[0009]在本专利技术的一个实施例中，所述中支柱的顶部滑动卡接有上抓取杆，所属动力组件包括钢索，所述钢索的一端固接在上抓取杆的外侧，所述钢索的另一端固接在挤压臂的顶部，所述抓取架的顶部固接有多个金属环，所述钢索穿过金属环，通过抓住上抓取杆来控制中支柱，当挤压臂和固定臂将石英坩埚的边缘卡住后，随着上抓取杆的上提，上抓取杆会相对于中支柱向上滑动，从而使得钢索向上移动，钢索会拉动挤压臂旋转，从而将挤压臂和固定臂之间的石英坩埚卡住，通过此种设置，不需要额外动力源，就能抓住石英坩埚，且该动力系统，只有在上提过程中才会将石英坩埚抓住，当石英坩埚取出并落地后，挤压臂就会放开石英坩埚，此种结构不仅使用方便，且夹取稳定。
[0010]在本专利技术的一个实施例中，所述挤压臂呈弯曲状设置，所述挤压臂和固定臂的外表面均套设有耐热毛毡，且挤压臂和固定臂的相对一面均呈弧形设置，挤压臂和固定臂表面的弧形设置，适配于石英坩埚的内外两面，让接触面更大，提高摩擦面积，而耐热毛毡可以进一步提高摩擦系数，从而保证了抓取过程足够强大的摩擦力。
[0011]在本专利技术的一个实施例中，所述气压组件包括气流阀，所述定位杆和中支柱的中部开设有相互连通的密封槽，所述膨胀囊靠近定位杆的一侧固接有金属盘，所述金属盘的中部开设有孔洞，所述膨胀囊通过孔洞与密封槽内部连通，所述中支柱的外侧固接有与密封槽连通的气流阀，通过气流阀箱密封槽中注入气体，让膨胀囊膨胀顶开，实现了外界填充空气的效果，也可以将气流阀开启，让内部气流流出，让膨胀囊回缩。
[0012]在本专利技术的一个实施例中，所述密封槽中转动连接有缠绕杆，所述膨胀囊远离定位杆的一端内侧连接有拉扯绳，所述拉扯绳的另一端与缠绕杆的外侧固接，所述缠绕杆的顶部连接有锥齿轮组，所述中支柱的外侧转动连接有旋转把，所述锥齿轮组包括两个相互垂直并相互啮合的锥齿轮，其中一个锥齿轮与缠绕杆顶部固接，另一个锥齿轮与旋转把固接，需要收纳膨胀囊时，只需转动旋转把，配合锥齿轮组的传动，让缠绕杆转动，从而将三根拉扯绳收卷，就能将失去气压的膨胀囊压缩到金属盘表面，减少膨胀囊散落凌乱的问题，拉
扯绳为耐热材料，具体可以为多股钢丝编织而成。
[0013]在本专利技术的一个实施例中，三根所述拉扯绳与缠绕杆的固接点不在一个平面上，三个固接点在竖直面上呈垂直等距排列，三根拉扯绳相互不接触，配合三个固接点不同的设置，让三根拉扯绳的缠绕位置各不相同，从而让三根拉扯绳互不干扰，减少相互缠绕的问题。
[0014]在本专利技术的一个实施例中，所述上抓取杆的外侧靠顶部固接有两个把手，所述上抓取杆的顶部开设有移动槽，所述上抓取杆的顶部设置有对接盘，所述对接盘的底部固接有滑盘，所述滑盘的直径小于移动槽，所述滑盘位于移动槽中，可以通过对接盘连接悬吊升降设备，以此来全面代替人力，当膨胀囊膨胀顶出定位时，滑盘就会在移动槽中移动，让下方的定本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场拆装装置，其特征在于：包括定位杆（3），所述定位杆（3）的横截面呈六边形设置，所述定位杆（3）的外侧固接有四根膨胀囊（5），所述定位杆（3）的内侧设置有气压组件，所述气压组件用于给膨胀囊（5）提供气压，所述定位杆（3）的底部设置有下支撑杆（4），所述下支撑杆（4）的外侧开设有多个收纳槽（11），所述收纳槽（11）的内侧转动连接有扣抓块（13）。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场拆装装置，其特征在于：所述扣抓块（13）与收纳槽（11）的转动连接点为自身中部偏下，所述扣抓块（13）的顶部开设有卡接槽（14），所述扣抓块（13）不受力状态下呈顶部向外的倾斜状态设置，所述下支撑杆（4）的底面中部转动连接有螺栓（12），所述螺栓（12）的顶部贯穿下支撑杆（4）的顶面。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉热场拆装装置，其特征在于：所述定位杆（3）的顶部固接有中支柱（2），所述中支柱（2）的外侧固接有三个抓取架（8），所述抓取架（8）的外侧固接有固定臂（22），所述固定臂（22）的中部靠顶端转动连接有挤压臂（21），所述挤压臂（21）的顶部设置有动力组件，所述动力组件用于控制挤压臂（21）的转动，所述挤压臂（21）和固定臂（22）的顶部之间固接有弹簧（20）。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场拆装装置，其特征在于：所述中支柱（2）的顶部滑动卡接有上抓取杆（1），所属动力组件包括钢索（19），所述钢索（19）的一端固接在上抓取杆（1）的外侧，所述钢索（19）的另一端固接在挤压臂（21）的顶部，所述抓取架（8）的顶部固接有多个金属环，所述钢索（19）穿过金属环。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场拆装装置，其特征在于：所述挤压臂（21）呈弯曲状设置，所述挤压臂（21）和固定臂（22）的外表面均套设有耐热毛毡，且挤压臂（21）和固...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志军，许堃，陈伟，李安君，李林东，
申请(专利权)人：苏州晨晖智能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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