显示装置及其制造方法制造方法及图纸

提供了一种用较少掩模制造从而简化制造工艺的显示装置和用于该显示装置的制造方法。所述显示装置包括：第一基底；有源材料层；栅极绝缘层；第一导电层，包括栅电极和信号施加电极；层间绝缘层；过孔层；第二导电层，包括通过穿透过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到第一掺杂区的第一电极、通过穿透过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到第二掺杂区的第二电极以及通过穿透过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到信号施加电极的第三电极；第一绝缘层；发光元件；以及第三导电层，包括第一接触电极和第二接触电极。和第二接触电极。和第二接触电极。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置及其制造方法


[0001]本公开涉及一种显示装置和制造该显示装置的方法。

技术介绍

[0002]显示装置的重要性正在随着多媒体的发展而增加。响应于此，正在使用诸如有机发光二极管(OLED)显示器和液晶显示器(LCD)的各种类型的显示装置。
[0003]显示装置的用于显示图像的装置包括诸如有机发光显示面板和液晶显示面板的显示面板。在这些显示面板之中，发光显示面板可以包括发光元件。例如，发光二极管(LED)包括使用有机材料作为荧光材料的OLED、使用无机材料作为荧光材料的无机LED等。
[0004]与OLED相比，使用无机半导体作为荧光材料的无机LED具有即使在高温环境中也具有耐久性的优点，并且具有高的蓝光效率。此外，即使在作为现有无机LED元件的限制而指出的制造工艺中，也已经开发了使用介电泳(DEP)方法的转移方法。因此，对与OLED相比具有优异耐久性和效率的无机LED的研究正在进行中。

技术实现思路

[0005]技术问题
[0006]公开的各方面提供了一种用少量的掩模形成的显示装置。
[0007]本公开的另一方面提供了一种制造显示装置的方法，通过该方法，使用少量的掩模制造显示装置。
[0008]应当注意的是，本公开的各方面不限于上述方面，并且本公开的其它未提及的方面将由本领域技术人员从以下描述中清楚地理解。
[0009]技术方案
[0010]根据实施例，显示装置包括：第一基底，包括显示区域和定位在显示区域周围的非显示区域；有源材料层，设置在第一基底上，并且包括：沟道区；第一掺杂区，在沟道区的一侧；以及第二掺杂区，在沟道区的另一侧；栅极绝缘层，设置在有源材料层上；第一导电层，设置在栅极绝缘层上，并且包括设置为与沟道区叠置的栅电极和信号施加电极；层间绝缘层，设置在第一导电层上；过孔层，设置在层间绝缘层上；第二导电层，设置在过孔层上，并且包括：第一电极，通过穿过过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到第一掺杂区；第二电极，通过穿过过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到第二掺杂区；以及第三电极，通过穿过过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到信号施加电极；第一绝缘层，设置在第二导电层上；发光元件，设置在显示区域的第一绝缘层上；以及第三导电层，设置在发光元件上，连接到发光元件，并且包括：第一接触电极，通过穿过第一绝缘层的接触孔电连接到第二电极；以及第二接触电极，通过穿过第一绝缘层的接触孔电连接到第三电极。
[0011]根据另一实施例，一种显示装置包括：第一基底；第一下金属图案和第二下金属图案，设置在第一基底上；缓冲层，设置在第一下金属图案和第二下金属图案上；有源材料层，设置在第一基底上，并且包括：沟道区；第一掺杂区，在沟道区的一侧；以及第二掺杂区，在
沟道区的另一侧；栅极绝缘层，设置在有源材料层上；第一导电层，设置在栅极绝缘层上，并且包括设置为与沟道区叠置的栅电极；层间绝缘层，设置在第一导电层上；过孔层，设置在层间绝缘层上；第二导电层，设置在过孔层上，并且包括：第一电极，通过穿过过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到第一掺杂区，并且通过穿过过孔层、层间绝缘层和缓冲层的接触孔电连接到第一下金属图案；第二电极，通过穿过过孔层和层间绝缘层的接触孔电连接到第二掺杂区；以及第三电极，通过穿过层间绝缘层和缓冲层的接触孔电连接到第二下金属图案；第一绝缘层，设置在第二导电层上；发光元件，设置在第一绝缘层上；以及第三导电层，设置在发光元件上，并且包括：第一接触电极，通过穿过第一绝缘层的接触孔电连接到第二电极；以及第二接触电极，通过穿过第一绝缘层的接触孔电连接到第三电极。
[0012]根据又一实施例，一种制造显示装置的方法，所述方法包括：在第一基底上形成下金属层，并且在下金属层上形成缓冲层；形成有源材料层，有源材料层包括：沟道区，在缓冲层上；第一掺杂区，在沟道区的一侧；以及第二掺杂区，在沟道区的另一侧；在有源材料层上形成第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层；在第一栅极绝缘层上形成栅电极，并且在第二栅极绝缘层上形成信号施加电极；在栅电极和信号施加电极上形成层间绝缘层；在层间绝缘层上形成过孔层；形成穿过过孔层的第一接触孔至第四接触孔；将第一接触孔至第四接触孔延伸到下金属层、有源材料层和信号施加电极；在第一接触孔至第四接触孔内部和过孔层上形成电极层；通过图案化电极层形成第一电极、第二电极和第三电极；在第一电极、第二电极和第三电极上形成第一绝缘层；通过半色调掩模在第一绝缘层上形成内堤和外堤；通过向第二电极和第三电极施加对准信号，在第一绝缘层上形成发光元件；在发光元件上形成接触电极层；在接触电极层上形成彼此分离的第一有机图案和第二有机图案；以及将接触电极层分离成与第一有机图案叠置的第一接触电极和与第二有机图案叠置的第二接触电极。
[0013]其它实施例的细节包括在详细描述和附图中。
[0014]有益效果
[0015]用少量的掩模制造根据实施例的显示装置，因此可以实现制造期间工艺的简化。
[0016]在根据实施例的显示装置的制造方法中，用少量的掩模制造显示装置，因此可以实现工艺的简化。
[0017]根据实施例的效果不受上面例示的内容的限制，更多各种效果包括在本公开中。
附图说明
[0018]图1是根据实施例的显示装置的平面图；
[0019]图2是示出根据实施例的显示装置的像素的平面图；
[0020]图3是沿着图2的线I
‑
I'截取的剖视图；
[0021]图4是示出根据实施例的显示装置的一个像素的示意性平面图；
[0022]图5是根据实施例的显示装置的一个子像素的等效电路图；
[0023]图6是沿着图4的线II
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II'和图1的线III
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III'截取的剖视图；
[0024]图7是根据实施例的发光元件的示意图；
[0025]图8至图14是根据实施例的制造显示装置的方法的工艺操作的剖视图；
[0026]图15是示出根据另一实施例的显示装置的一部分的剖视图；
[0027]图16是示出根据又一实施例的显示装置的一部分的剖视图；
[0028]图17是根据又一实施例的显示装置的剖视图；以及
[0029]图18是示出根据再一实施例的显示装置的一部分的剖视图。
具体实施方式
[0030]现在将在下文中参照其中示出了本公开的优选实施例的附图更充分地描述本公开。然而，本公开可以以不同的形式实施，并且不应被解释为限于在这里阐述的实施例。确切地说，提供这些实施例使得本公开将是彻底的和完整的，并且将向本领域技术人员充分传达公开的范围。
[0031]还将理解的是，当层被称为“在”另一层或基底“上”时，该层可以直接在所述另一层或基底上，或者也可以存在居间层。贯穿说明书，相同的附图标记指示相同的组件。
[0032]将理解的是，尽管可以在这里使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示装置，所述显示装置包括：第一基底，包括显示区域和定位在所述显示区域周围的非显示区域；有源材料层，设置在所述第一基底上，并且包括：沟道区；第一掺杂区，在所述沟道区的一侧；以及第二掺杂区，在所述沟道区的另一侧；栅极绝缘层，设置在所述有源材料层上；第一导电层，设置在所述栅极绝缘层上，并且包括设置为与所述沟道区叠置的栅电极和信号施加电极；层间绝缘层，设置在所述第一导电层上；过孔层，设置在所述层间绝缘层上；第二导电层，设置在所述过孔层上，并且包括：第一电极，通过穿过所述过孔层和所述层间绝缘层的接触孔电连接到所述第一掺杂区；第二电极，通过穿过所述过孔层和所述层间绝缘层的接触孔电连接到所述第二掺杂区；以及第三电极，通过穿过所述过孔层和所述层间绝缘层的接触孔电连接到所述信号施加电极；第一绝缘层，设置在所述第二导电层上；发光元件，设置在所述显示区域的所述第一绝缘层上；以及第三导电层，设置在所述发光元件上，连接到所述发光元件，并且包括：第一接触电极，通过穿过所述第一绝缘层的接触孔电连接到所述第二电极；以及第二接触电极，通过穿过所述第一绝缘层的接触孔电连接到所述第三电极。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述栅极绝缘层包括：第一栅极绝缘图案，设置为在厚度方向上与所述栅电极叠置；以及第二栅极绝缘图案，与所述第一栅极绝缘图案分离，并且设置为在所述厚度方向上与所述信号施加电极叠置。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第一栅极绝缘图案的尺寸与所述栅电极的尺寸相同，并且所述信号施加电极的尺寸与所述第二栅极绝缘图案的尺寸相同。4.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述第一接触电极和所述第二接触电极与所述发光元件的上表面直接接触。5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述第一接触电极与所述发光元件的一端和所述发光元件的所述上表面的一部分接触，并且所述第二接触电极与所述第一接触电极分离，并且与所述发光元件的另一端和所述发光元件的所述上表面的另一部分接触。6.根据权利要求5所述的显示装置，其中，所述第一接触电极与所述第二接触电极之间的分离区域暴露所述发光元件的所述上表面。7.根据权利要求6所述的显示装置，所述显示装置还包括：第一有机图案，设置为与所述第一接触电极叠置；以及第二有机图案，设置为与所述第二接触电极叠置，其中，所述第一有机图案和所述第二有机图案彼此分离。8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第一有机图案的内表面与所述第一接触电极的内表面在所述厚度方向上对准，并且其中，所述第二有机图案的内表面与所述第二接触电极的内表面在所述厚度方向上对
准。9.根据权利要求7所述的显示装置，所述显示装置还包括：内堤层，设置在所述第一绝缘层上，其中，所述内堤层包括：第一内堤，设置在所述第一接触电极的外部；以及第二内堤，设置在所述第二接触电极的外部，所述第一内堤的表面高度大于所述第一有机图案的表面高度，并且所述第二内堤的表面高度高于所述第二有机图案的表面高度。10.根据权利要求9所述的显示装置，所述显示装置还包括：外堤，设置为与所述内堤层共面，其中，所述外堤定位在所述第一内堤和所述第二内堤的外部。11.根据权利要求10所述的显示装置，其中，所述外堤的表面高度大于所述第一内堤的所述表面高度和所述第二内堤的所述表面高度。12.根据权利要求11所述的显示装置，其中，所述内堤层和所述外堤通过同一工艺形成，并且其中，所述内堤层和所述外堤通过半色调掩模形成。13.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述非显示区域还包括垫区域，所述第一导电层还包括：第一垫部分，设置在所述垫区域中；以及第二垫部分，设置在所述第一导电层与所述层间绝缘层之间，并且设置在所述第一垫部分的上表面上，并且所述层间绝缘层暴露所述第二垫部分的上表面的中心部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：李炫旭，李承珉，金泰佑，蔡景泰，洪晶银，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：