一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构制造技术

技术编号:38484419 阅读:33 留言:0更新日期:2023-08-15 17:00
本实用新型专利技术涉及一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构,属于单晶炉技术领域。主要包括保温筒、保温套、保温毡、固定螺栓、螺杆螺母,所述的保温套套装在保温筒外壁上,保温套具有底部封闭的中空夹层,保温毡填充在中空夹层内,保温套通过固定螺栓和螺杆螺母固定安装在保温筒上;解决现有保温筒保温效果差的问题,可以提高保温效果降低单晶炉加热所需的热量,减少单晶炉耗电量,降低开炉成本;还能防止保温毡灰分后掉粉、掉渣或者产生毛边的问题,提高热场的洁净度,提高拉晶过程的稳定性,从而提高产品质量,降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构


[0001]本技术属于单晶炉
,具体涉及一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构。

技术介绍

[0002]现阶段,单晶炉热场普遍为单晶炉底部保温、下保温筒、中保温筒、上保温筒和顶部保温筒组成。上部、中部和下部保温筒一般采用石墨或碳碳材料制作而成,一般为实心圆环状。但是,使用时为达到所需的保温效果,保温筒外部包裹碳毡使用,保温桶与石墨毡的热传递方式为热传导,炉内热量经过保温筒壁向外传递至石墨碳毡,保温效果较差,单晶炉加热所需的热量过高,进而会提高单晶炉耗电量和开炉成本,同时,因为温度高,碳毡十分容易老化粉化掉粉,存在一定的灰分和杂质,在高温下其有一部分会随着气流进入到硅溶体中影响产品的质量,特别是长时间使用的裹毡掉粉掉渣后或者产生毛边后,其进入到溶体中还可能影响拉晶成晶提高断线率,大大影响拉晶成本。

技术实现思路

[0003]为了克服
技术介绍
中炉内热量经过保温筒壁向外传递至石墨碳毡,保温效果较差,单晶炉加热所需的热量过高,进而会提高单晶炉耗电量和开炉成本以及因为温度高,碳毡十分容易老化粉化掉粉,会随着气流进入到硅溶体中影响产品的质量,特别是长时间使用的裹毡掉粉掉渣后或者产生毛边后,其进入到溶体中还可能影响拉晶成晶提高断线率,大大影响拉晶成本的问题,本技术提供一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构;解决现有保温筒保温效果差的问题,可以提高保温效果降低单晶炉加热所需的热量,减少单晶炉耗电量,降低开炉成本;还能防止保温毡灰分后掉粉、掉渣或者产生毛边的问题,提高热场的洁净度,提高拉晶过程的稳定性,从而提高产品质量,降低生产成本。
[0004]为实现上述目的,本技术是通过如下技术方案实现的:一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构主要包括保温筒1、保温套2、保温毡3、固定螺栓4、螺杆螺母5,所述的保温套2套装在保温筒1外壁上,保温套2具有底部封闭的中空夹层,保温毡3填充在中空夹层内,保温套2通过固定螺栓4和螺杆螺母5固定安装在保温筒1上。
[0005]所述的保温套2具有2至5个,依次套接形成一个整体。
[0006]相邻两个保温套2间设有隔热环6,通过隔热环6的支撑相邻两个保温套2间形成中空层7,通过固定螺栓4和螺杆螺母5固定安装。
[0007]所述的保温套2为CC或者钨、钼等耐高温金属制成的封闭体或者半封闭体。
[0008]所述的保温毡3可为固化碳毡或者软毡等耐高温的碳纤维体填充层。
[0009]所述的隔热环6可为支撑块。
[0010]本技术的有益效果:
[0011]本技术保温筒外侧的裹毡都封闭在保温套内,降低了热场的灰分和杂质的挥发进入到熔体内,提高热场的洁净度和晶品质量;解决现有保温筒保温效果差的问题,可以
提高保温效果降低单晶炉加热所需的热量,减少单晶炉耗电量,降低开炉成本;还能防止保温毡灰分后掉粉、掉渣或者产生毛边的问题,提高热场的洁净度,提高拉晶过程的稳定性,从而提高产品质量,降低生产成本。
附图说明
[0012]图1是本技术结构示意图。
[0013]图2是本技术应用场景示意图。
[0014]图中:1

保温筒、2

保温套、3

保温毡、4

固定螺栓、5

螺杆螺母、6

隔热环、7

中空层、10

埚托组件、11

坩埚、12

埚邦、13

加热器。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚,下面将结合附图,对本技术的优选实施例进行详细的说明,以方便技术人员理解。
[0016]本技术公开了一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构,所述的一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构主要包括保温筒1、保温套2、保温毡3、固定螺栓4、螺杆螺母5,所述的保温套2套装在保温筒1外壁上,保温套2具有底部封闭的中空夹层,保温毡3填充在中空夹层内,保温套2通过固定螺栓4和螺杆螺母5固定安装在保温筒1上,保温筒外侧的裹毡都封闭在保温套内,降低了热场的灰分和杂质的挥发进入到熔体内,提高热场的洁净度和晶品质量,避免裹毡脱落,解决现有保温筒保温效果差的问题,可以提高保温效果降低单晶炉加热所需的热量,减少单晶炉耗电量,降低开炉成本;还能防止保温毡灰分后掉粉、掉渣或者产生毛边的问题,提高热场的洁净度,提高拉晶过程的稳定性,从而提高产品质量,降低生产成本。
[0017]所述的保温套2具有2至5个,依次套接形成一个整体,提高保温效果,减少单晶炉耗电量,降低开炉成本。
[0018]相邻两个保温套2间设有隔热环6,通过隔热环6的支撑相邻两个保温套2间形成中空层7,通过固定螺栓4和螺杆螺母5固定安装;保温套间采用了隔热环相互隔离,降低相互间的接触热传导,中空隔热保温的方式,提高了热场侧部的保温性和使用寿命。
[0019]所述的保温套2为CC或者钨、钼等耐高温金属制成的封闭体或者半封闭体,全包裹保温毡,在热场每一炉运行完成后拆装的过程中避免因碰撞接触摩擦,造成掉粉或出现毛边的问题,可避免保温毡灰分后掉粉、掉渣或者产生毛边的问题,提高热场的洁净度,提高拉晶过程的稳定性,从而提高产品质量,降低生产成本。
[0020]所述的保温毡3可为固化碳毡或者软毡等耐高温的碳纤维体填充层。
[0021]最后说明的是,以上优选实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制,尽管通过上述优选实施例已经对本技术进行了详细的描述,但本领域技术人员应当理解,可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变,而不偏离本技术权利要求书所限定的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构,其特征在于:所述的可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构包括保温筒(1)、保温套(2)、保温毡(3)、固定螺栓(4)、螺杆螺母(5),所述的保温套(2)套装在保温筒(1)外壁上,保温套(2)具有底部封闭的中空夹层,保温毡(3)填充在中空夹层内,保温套(2)通过固定螺栓(4)和螺杆螺母(5)固定安装在保温筒(1)上。2.如权利要求1所述的一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构,其特征在于:所述的保温套(2)具有2至5个,依次套接形成一个整体。3.如权利要求2所述的一种可降低能耗和灰分影响的单晶炉用保温结构,其特征在于:相邻两个保温套(2)间设有隔热...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈伟陈志军李林东许堃李安君李永刚罗昌萍
申请(专利权)人:云南宇泽半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

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