氟橡胶组合物及使用该氟橡胶组合物形成的橡胶成形品制造技术

氟橡胶组合物含有A成分、B成分以及C成分，A成分是含有含氢的氟橡胶作为主成分的基础橡胶，B成分是具有全氟聚醚骨架的化合物，C成分是体积密度为0.4g/cm3以下的粉体填料。B成分的一部分或全部在分子内含有烯基。在将B成分的密度设为d

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氟橡胶组合物及使用该氟橡胶组合物形成的橡胶成形品


[0001]本专利技术涉及一种氟橡胶组合物及使用该氟橡胶组合物形成的橡胶成形品。

技术介绍

[0002]广泛地使用由氟橡胶组合物形成的密封件作为半导体制造装置用的密封件。专利文献1中公开了：以提高其耐等离子性为目的，使形成密封件的氟橡胶组合物中含有具有全氟聚醚骨架的化合物。
[0003]专利文献1：日本专利公报第4675907号公报

技术实现思路

[0004]本专利技术是一种氟橡胶组合物，其含有A成分、B成分以及C成分，所述A成分是含有含氢的氟橡胶作为主成分的基础橡胶，所述B成分是具有全氟聚醚骨架的化合物，所述C成分是体积密度为0.4g/cm3以下的粉体填料，并且所述B成分的一部分或全部在分子内含有烯基，在将所述B成分的密度设为d
B
、将所述B成分相对于所述A成分100质量份的含量设为p
B
、将所述C成分的体积密度设为d
C
、将所述C成分相对于所述A成分100质量份的含量设为p
C
时，(p
C
/d
C
)/(p
B
/d
B
)≥4。
[0005]本专利技术是一种橡胶成形品，该橡胶成形品是本专利技术的氟橡胶组合物交联而形成的。
[0006]本专利技术是一种橡胶成形品，该橡胶成形品是氟橡胶组合物交联而形成的，所述氟橡胶组合物含有A成分、B成分以及C成分，所述A成分是含有含氢的氟橡胶作为主成分的基础橡胶，所述B成分是具有全氟聚醚骨架的化合物，所述C成分是体积密度为0.4g/cm3以下的粉体填料，并且所述B成分的一部分或全部在分子内含有烯基，且所述C成分的含量相对于所述B成分的含量之比大于0.1，成形品表面的C
‑
F键浓度比成形品内部的C
‑
F键浓度高。
[0007]本专利技术是一种橡胶成形品，该橡胶成形品是氟橡胶组合物交联而形成的，所述氟橡胶组合物含有A成分、B成分以及C成分，所述A成分是含有含氢的氟橡胶作为主成分的基础橡胶，所述B成分是具有全氟聚醚骨架的化合物，所述C成分是体积密度为0.4g/cm3以下的粉体填料，并且所述B成分的一部分或全部在分子内含有烯基，且所述C成分的含量相对于所述B成分的含量之比大于0.1，在将通过X射线光电子能谱法照射X射线时测量的C1s峰中的来自C
‑
H键的282～288eV的峰面积设为A
CH
、将来自C
‑
F键的288～296eV的峰面积设为A
CF
时，(对成形品表面照射X射线时的A
CF
/A
CH
)/(对成形品剖面中的距成形品表面最远的位置照射X射线时的A
CF
/A
CH
)≥2。
具体实施方式
[0008]下面，对实施方式进行详细说明。
[0009]实施方式所涉及的氟橡胶组合物含有A成分、B成分以及C成分。
[0010]A成分为基础橡胶。作为该基础橡胶的A成分含有含氢的氟橡胶作为主成分。此处，
本申请中的“含氢的氟橡胶”是含有在高分子的主链键合有氢的碳的氟橡胶。A成分中的含氢的氟橡胶的含量多于50质量％，优选为80质量％以上，更优选为90质量％以上，进一步优选为100质量％。需要说明的是，A成分也可以含有含氢的氟橡胶以外的氟橡胶等。
[0011]作为含氢的氟橡胶能列举出：例如，偏氟乙烯(VDF)的聚合物(PVDF)、偏氟乙烯(VDF)与六氟丙烯(HFP)的共聚物、偏氟乙烯(VDF)和六氟丙烯(HFP)以及四氟乙烯(TFE)的共聚物、四氟乙烯(TFE)与丙烯(Pr)的共聚物(FEP)、偏氟乙烯(VDF)和丙烯(Pr)以及四氟乙烯(TFE)的共聚物、乙烯(E)与四氟乙烯(TFE)的共聚物(ETFE)、乙烯(E)和四氟乙烯(TFE)以及全氟甲基乙烯基醚(PMVE)的共聚物、偏氟乙烯(VDF)和四氟乙烯(TFE)以及全氟甲基乙烯基醚(PMVE)的共聚物、偏氟乙烯(VDF)与全氟甲基乙烯基醚(PMVE)的共聚物等。A成分优选含有它们之中的一种或两种以上作为含氢的氟橡胶，更优选含有偏氟乙烯(VDF)与六氟丙烯(HFP)的共聚物、偏氟乙烯(VDF)和六氟丙烯(HFP)以及四氟乙烯(TFE)的共聚物等以偏氟乙烯为主成分的偏氟乙烯类氟橡胶(FKM)作为含氢的氟橡胶。
[0012]B成分是具有全氟聚醚骨架的化合物。作为B成分的具有全氟聚醚骨架的化合物是均匀地混合在A成分中的液体材料。B成分的一部分或全部B成分在分子内含有烯基。作为烯基能列举出：例如，乙烯基、烯丙基、丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基等。烯基优选为它们之中的乙烯基。分子内的烯基的数量优选为多个。在该情况下，分子内的多个烯基可以相同，也可以不同，无论是哪种都可以。
[0013]B成分可以具有在分子内含有烯基的化合物和在分子内不含烯基的化合物这两者。B成分中的在分子内含有烯基的化合物的比例优选为20质量％以上，更优选为30质量％以上。
[0014]如后所述，从使使用实施方式所涉及的氟橡胶组合物形成的橡胶成形品保持优异的耐等离子性、并且抑制B成分从橡胶成形品渗出的观点出发，B成分的密度d
B
优选为1.5g/cm3以上、更优选为1.8g/cm3以上，从相同的观点出发，优选为2.5g/cm3以下、更优选为2.0g/cm3以下。在B成分含有多种化合物的情况下，B成分的密度d
B
是各种化合物的密度与含有分率之积的总和。在分子内含有烯基的B成分的密度d
B
是通过JIS Z8837：2018中规定的气体比重瓶法测量而得到的。在分子内不含烯基的B成分的密度d
B
是通过JIS K0061：2001中规定的振动式密度计法在温度20℃下测量而得到的。
[0015]从获得橡胶成形品的高耐等离子性的观点出发，B成分相对于A成分100质量份的含量p
B
优选为0.1质量份以上，更优选为1.0质量份以上，从使橡胶成形品保持优异的耐等离子性、并且抑制B成分从橡胶成形品渗出的观点出发，优选为20质量份以下，更优选为15质量份以下。在B成分含有多种化合物的情况下，B成分的含量p
B
是各种化合物的含量的总和。
[0016]作为B成分中的在分子内含有烯基的具有全氟聚醚骨架的化合物的市售材料能列举出：例如，Shin
‑
Etsu Chemical Co.,Ltd.制造的SIFEL，特别优选SIFEL3000系列。在分子内含有烯基的具有全氟聚醚骨架的化合物优选为一液型材料。
[0017]作为B成分中的在分子内不含烯基的具有全氟聚醚骨架的化合物的市售材料能列举出：例如，SOLVAY Company制造的Fomblin Y润滑剂、Chemours Company制造的Krytox系列的GPLOil等。
[0018]C成分是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种氟橡胶组合物，其特征在于：所述氟橡胶组合物含有A成分、B成分以及C成分，所述A成分是含有含氢的氟橡胶作为主成分的基础橡胶，所述B成分是具有全氟聚醚骨架的化合物，所述C成分是体积密度为0.4g/cm3以下的粉体填料，并且所述B成分的一部分或全部在分子内含有烯基，在将所述B成分的密度设为d
B
、将所述B成分相对于所述A成分100质量份的含量设为p
B
、将所述C成分的体积密度设为d
C
、将所述C成分相对于所述A成分100质量份的含量设为p
C
时，(p
C
/d
C
)/(p
B
/d
B
)≥4。2.根据权利要求1所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述B成分中的在分子内含有烯基的化合物的比例为20质量％以上。3.根据权利要求1或2所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述B成分具有在分子内含有烯基的化合物和在分子内不含烯基的化合物这两者。4.根据权利要求1到3中任一项权利要求所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述B成分中的在分子内含有烯基的化合物为一液型材料。5.根据权利要求1到4中任一项权利要求所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述C成分含有二氧化硅和/或树脂粉体。6.根据权利要求1到5中任一项权利要求所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述氟橡胶组合物还含有交联剂。7.根据权利要求6所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述交联剂为有机过氧化物。8.根据权利要求1到7中任一项权利要求所述的氟橡胶组合物，其特征在于：所述氟橡胶组合物还含有交联助剂。9.一种橡胶成形品，其特征在于：该橡胶成形品是权利要求1到8中任一项权利要求所述的氟橡胶组合物交联而形成的。10.根据权利要求9所述的橡胶成形品，其特征在于：成形品表面的C
‑
F键浓度比成形品内部的C
‑
F键浓度高。11.根据权利要求9或10所述的橡胶成形品，其特征在于：在将通过X射线光电子能谱法照射X射线时测量的C1s峰中的来自C
‑
H键的282～288eV的峰面积设为A
...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田裕明，浜村武广，
申请(专利权)人：三菱电线工业株式会社，
类型：发明
国别省市：