用于电子光学设备的维修机械臂和具有其的电子光学设备制造技术

本发明专利技术公开了一种用于电子光学设备的维修机械臂和具有其的电子光学设备，所述用于电子光学设备的维修机械臂包括：底座，所述底座适于安装在所述电子光学设备上；升降臂，所述升降臂可伸缩地设在所述底座上；悬臂，所述悬臂可转动地设在所述升降臂上以由所述升降臂驱动升降且转动轴线沿所述升降臂的轴向定向；固定装置，所述固定装置设在所述悬臂上且适于与所述电子光学设备的电子光柱体可拆卸地连接。根据本发明专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂具有能够便于对电子光学设备进行维修、缩短维修周期、降低维修成本等优点。降低维修成本等优点。降低维修成本等优点。

【技术实现步骤摘要】
用于电子光学设备的维修机械臂和具有其的电子光学设备


[0001]本专利技术涉及光学设备
，具体而言，涉及一种用于电子光学设备的维修机械臂和具有所述用于电子光学设备的维修机械臂的电子光学设备。

技术介绍

[0002]电子显微镜等电子光学设备是研究材料微观结构、形貌和微区表面分析的重要工具，它是融合了光学、机械、电子和计算机等方面高尖技术的大型精密仪器。
[0003]相关技术中诸如扫描电子显微镜等电子光学设备，其包括由电子枪和物镜筒组成的电子光柱体，电子光柱体是扫描电镜的关键部件，位于扫描电镜的中心，受扫描电镜机架外部轮廓所限，电子光柱体上的某些元器件不具有维修可达性，而且考虑到电子光学系统的重量、安装高度及精度，超出了普通人力的界限，若发生故障，维修较为困难。若采用整机返厂维修的方式，会延长维修周期、增加维修成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种用于电子光学设备的维修机械臂，该用于电子光学设备的维修机械臂具有能够便于对电子光学设备进行维修、缩短维修周期、降低维修成本等优点。
[0005]本专利技术还提出一种具有所述用于电子光学设备的维修机械臂的电子光学设备。
[0006]为实现上述目的，根据本专利技术的第一方面的实施例提出一种用于电子光学设备的维修机械臂，所述用于电子光学设备的维修机械臂包括：底座，所述底座适于安装在所述电子光学设备上；升降臂，所述升降臂可伸缩地设在所述底座上；悬臂，所述悬臂可转动地设在所述升降臂上以由所述升降臂驱动升降且转动轴线沿所述升降臂的轴向定向；固定装置，所述固定装置设在所述悬臂上且适于与所述电子光学设备的电子光柱体可拆卸地连接。
[0007]根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂，具有能够便于对电子光学设备进行维修、缩短维修周期、降低维修成本等优点。
[0008]另外，根据本专利技术上述实施例的用于电子光学设备的维修机械臂还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一个实施例，所述升降臂包括：连接座，所述连接座安装在所述底座上；电机，所述电机安装在所述连接座上；丝杠，所述丝杠与所述电机传动连接；升降筒，所述升降筒套设在所述丝杠外且与所述丝杠螺纹配合；外套筒，所述外套筒套设在所述升降筒外且与所述连接座相连，所述外套筒和所述升降筒中的一个上设有沿所述升降筒的长度方向延伸的导槽且另一个上设有滑块，所述滑块可滑动地配合在所述导槽内。
[0009]根据本专利技术的一个实施例，所述升降臂还包括两个接近开关，两个所述接近开关在所述外套筒的轴向上间隔设置，两个所述接近开关均与所述电机电连接。
[0010]根据本专利技术的一个实施例，所述升降筒内通过平键连接有螺母，所述螺母与所述
丝杠螺纹配合；所述丝杠通过减速机与所述电机传动连接，所述减速机安装在所述连接座上，所述电机安装在所述减速机上；所述连接座与所述丝杠之间设有轴承组，所述轴承组包括两个径向轴承和一个轴向轴承。
[0011]根据本专利技术的一个实施例，所述悬臂上设有定位螺钉，所述升降臂的上端连接有定位端盖，所述定位端盖为棱柱状且周向具有多个定位面，所述定位螺钉具有旋紧位置和旋松位置，所述定位螺钉在所述旋紧位置时适于抵接多个所述定位面中的一个以限制所述悬臂和所述升降臂的相对转动且所述定位螺钉在所述旋松位置时避让所述定位端盖以允许所述悬臂和所述升降臂相对转动。
[0012]根据本专利技术的一个实施例，所述悬臂包括：固定杆，所述固定杆可转动地设在所述升降臂上；伸缩杆，所述伸缩杆和所述固定杆中的至少一个上设有长度方向沿所述伸缩杆的长度方向定向的长腰孔，所述伸缩杆通过配合在所述长腰孔内的紧固件与所述固定杆相连；调节螺钉，所述调节螺钉螺纹配合在所述固定杆和所述伸缩杆中的一个上且与另一个抵接。
[0013]根据本专利技术的一个实施例，所述升降臂和所述悬臂中的一个上设有悬臂转轴且另一个上设有悬臂轴套，所述悬臂转轴和所述悬臂轴套之间设有自润滑轴承。
[0014]根据本专利技术的一个实施例，所述底座内具有容纳腔，所述底座的侧壁设有适于打开或关闭所述容纳腔的检修门，所述电机由所述底座的上表面伸入所述底座。根据本专利技术的一个实施例，所述固定装置包括：上法兰，所述上法兰与所述悬臂相连；多个定位板，多个定位板沿所述上法兰的周向间隔设置在所述上法兰上且与所述上法兰相切；下法兰，所述下法兰可转动地与所述上法兰相连，所述下法兰上设有适于与所述电子光柱体可拆卸地连接的松不脱螺钉。
[0015]根据本专利技术的第二方面的实施例提出一种电子光学设备，所述电子光学设备包括根据本专利技术的第一方面的实施例所述的用于电子光学设备的维修机械臂。
[0016]根据本专利技术实施例的电子光学设备，通过利用根据本专利技术的第一方面的实施例所述的用于电子光学设备的维修机械臂，具有维修方便、维修周期短、维修成本低等优点。
[0017]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本专利技术实施例的电子光学设备的结构示意图。
[0019]图2是根据本专利技术实施例的电子光学设备的结构示意图。
[0020]图3是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的结构示意图。
[0021]图4是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的爆炸图。
[0022]图5是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的剖视图。
[0023]图6是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的局部剖视图。
[0024]图7是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的升降臂的爆炸图。
[0025]图8是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的悬臂的爆炸图。
[0026]图9是根据本专利技术实施例的用于电子光学设备的维修机械臂的固定装置的爆炸图。
[0027]附图标记：电子光学设备1、用于电子光学设备的维修机械臂10、底座100、检修门110、容纳腔120、升降臂200、连接座210、电机220、电机座221、丝杠230、升降筒240、螺母241、导槽242、外套筒250、滑块251、衬套252、接近开关260、减速机270、减速机外壳271、减速机轴套272、轴承组280、径向轴承281、轴向轴承282、悬臂300、定位螺钉310、定位端盖320、固定杆330、伸缩杆340、长腰孔341、调节螺钉350、悬臂转轴360、悬臂轴套370、自润滑轴承380、固定装置400、上法兰410、过孔411、定位板420、下法兰430、松不脱螺钉431、固定装置转轴440、电子光柱体20、设备主体30、基座40。
具体实施方式
[0028]本申请是基于专利技术人对以下事实和问题的发现和认识作出的：相关技术中诸如扫描电子显微镜等电子光学设备本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子光学设备的维修机械臂，其特征在于，包括：底座，所述底座适于安装在所述电子光学设备上；升降臂，所述升降臂可伸缩地设在所述底座上；悬臂，所述悬臂可转动地设在所述升降臂上以由所述升降臂驱动升降且转动轴线沿所述升降臂的轴向定向；固定装置，所述固定装置设在所述悬臂上且适于与所述电子光学设备的电子光柱体可拆卸地连接。2.根据权利要求1所述的用于电子光学设备的维修机械臂，其特征在于，所述升降臂包括：连接座，所述连接座安装在所述底座上；电机，所述电机安装在所述连接座上；丝杠，所述丝杠与所述电机传动连接；升降筒，所述升降筒套设在所述丝杠外且与所述丝杠螺纹配合；外套筒，所述外套筒套设在所述升降筒外且与所述连接座相连，所述外套筒和所述升降筒中的一个上设有沿所述升降筒的长度方向延伸的导槽且另一个上设有滑块，所述滑块可滑动地配合在所述导槽内。3.根据权利要求2所述的用于电子光学设备的维修机械臂，其特征在于，所述升降臂还包括两个接近开关，两个所述接近开关在所述外套筒的轴向上间隔设置，两个所述接近开关均与所述电机电连接。4.根据权利要求2所述的用于电子光学设备的维修机械臂，其特征在于，所述升降筒内通过平键连接有螺母，所述螺母与所述丝杠螺纹配合；所述丝杠通过减速机与所述电机传动连接，所述减速机安装在所述连接座上，所述电机安装在所述减速机上；所述连接座与所述丝杠之间设有轴承组，所述轴承组包括两个径向轴承和一个轴向轴承。5.根据权利要求1所述的用于电子光学设备的维修机械臂，其特征在于，所述悬臂上设有定位螺钉，所述升降臂的上端连接有定位端盖，所述定位端盖为棱柱状且周向具有多个定位面，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张安邦，栗宽，张茂辉，崔帅超，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：发明
国别省市：