基于滑台的飞秒激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种基于滑台的飞秒激光加工装置，包括基座、滑台模组、光路系统、激光加工头、飞秒激光器以及控制系统，所述滑台模组、光路系统以及飞秒激光器均安装在基座上，所述滑台模组上放置有待加工的工件；所述飞秒激光器发出的激光束通过光路系统引入至所述激光加工头，所述激光加工头设置在所述滑台模组上并与工件相对设置，所述控制系统连接所述飞秒激光器与所述滑台模组。本发明专利技术结构简单，操作方便，在基座上设置滑台模组与飞秒激光器，能够将飞秒激光器应用至加工装置，实现对工件高精度、高质量的加工。高质量的加工。高质量的加工。

【技术实现步骤摘要】
基于滑台的飞秒激光加工装置


[0001]本专利技术涉及激光加工
，具体地，涉及一种基于滑台的飞秒激光加工装置，尤其是一种基于十字滑台的飞秒激光加工装置。

技术介绍

[0002]随着科学的进步和技术的发展，对零件加工精度和质量的要求越来越高，如航空/航天发动机叶片打孔、水密天线罩切割、惯性仪表精密加工、喷注器芯毛细结构加工、手机LCD屏异形切割、热敏感薄膜材料加工等，传统加工装置和技术难以满足现在制造业的发展要求。
[0003]飞秒激光的出现使之能加工出重铸层和微裂纹极少的高质量微孔，对于航空、航天、3C等高端制造技术来说，尤为关键，飞秒激光加工装置与技术是解决零件高精度、高质量加工的重要手段之一。
[0004]现有公开号为CN104979748B的专利文献，公开了一种飞秒激光扫描功率调控装置和方法、飞秒激光加工系统，包括：激光调制器，构造成对来自激光源的激光进行调制；脉冲宽度调制信号生成器，构造成向激光调制器提供具有占空比的脉冲宽度调制信号；和控制器，构造成与脉冲宽度调制信号生成器通信，以向所述脉冲宽度调制信号生成器提供所述占空比，其中所述占空比为当前激光扫描线速度与最大激光扫描线速度的比值。一种飞秒激光扫描功率调控方法，包括以下步骤：提供激光调制器，激光调制器构造成对来自激光源的激光进行调制；和向激光调制器提供具有占空比的脉冲宽度调制信号，所述占空比为当前激光扫描线速度与最大激光扫描线速度的比值。但该方案仅侧重于飞秒激光的调控，未阐述如何将飞秒激光应用至加工装置。

技术实现思路

>[0005]针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种基于滑台的飞秒激光加工装置。
[0006]根据本专利技术提供的基于滑台的飞秒激光加工装置，包括基座、滑台模组、光路系统、激光加工头、飞秒激光器以及控制系统，所述滑台模组、光路系统以及飞秒激光器均安装在基座上，所述滑台模组上放置有待加工的工件；
[0007]所述飞秒激光器发出的激光束通过光路系统引入至所述激光加工头，所述激光加工头设置在所述滑台模组上并与工件相对设置，所述控制系统连接所述飞秒激光器与所述滑台模组。
[0008]优选地，所述基座上设置有支座，所述支座上设置有光学平板，所述光路系统安装于所述光学平板上，所述飞秒激光器安装于所述支座上。
[0009]优选地，所述滑台模组包括X轴滑台、Y轴滑台以及Z轴滑台，所述X轴滑台安装在基座上，所述Y轴滑台安装在所述X轴滑台上，所述工件放置在所述Y轴滑台上；
[0010]所述Z轴滑台安装于所述支座的一侧并位于所述Y轴滑台上方，所述激光加工头安
装在所述Z轴滑台上并位于所述工件的上方，用于对工件进行加工，所述X轴滑台、Y轴滑台以及Z轴滑台均与控制系统连接。
[0011]优选地，所述光学平板包括第一光学平板与第二光学平板，所述第一光学平板安装在所述支座的顶部，所述第二光学平板安装在飞秒激光器的一侧，并位于所述Z轴滑台的上端；
[0012]所述光路系统包括多组高倍率全反镜，多组高倍率全反镜分别设置在所述第一光学平板与第二光学平板上，所述飞秒激光器发出的激光束依次通过第一光学平板上的高倍率全反镜与第二光学平板上的高倍率全反镜后被引入所述激光加工头。
[0013]优选地，所述激光加工头包括依次设置的扩束镜与高倍率聚焦镜，所述扩束镜和高倍率聚焦镜均固定安装在所述Z轴滑台上。
[0014]优选地，所述控制系统用于控制滑台模组的三轴运动与飞秒激光器的出光，所述控制系统通过以太网总线与所述X轴滑台、Y轴滑台以及Z轴滑台所具有的直线电机驱动器和所述飞秒激光器进行通讯。
[0015]优选地，还包括结构支架，所述基座安装在所述结构支架上。
[0016]优选地，所述结构支架包括方形钢结构支架。
[0017]优选地，所述方形钢结构支架的底部在四角处分别设置有四组调高脚铁与四组调节螺母，所述方形钢结构支架通过调高脚铁放置于地面上，并能够通过拧动调节螺母调节调高脚铁的高度，从而调节方形钢结构支架的高度和水平度。
[0018]优选地，所述基座包括大理石基座。
[0019]与现有技术相比，本专利技术具有如下的有益效果：
[0020]1、本专利技术结构简单，操作方便，采用在基座上设置滑台模组与飞秒激光器的技术手段，能够将飞秒激光器应用至加工装置，实现对工件高精度、高质量的加工。
[0021]2、本专利技术通过四组调高脚铁调节方形钢结构支架高度及水平度，有助于保证加工装置的精度和稳定性，提高装置的环境适用性，且操作简单，有助于提高加工装置加工零件的精度。
[0022]3、本专利技术中控制系统通过以太网总线与直线电机驱动器、飞秒激光器进行通讯，信号及数据传输快，延时少，确保了加工过程的运动精度。
附图说明
[0023]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0024]图1为本专利技术一个角度的整体结构示意图；
[0025]图2为本专利技术另一个角度的整体结构示意图。
[0026]图中示出：
[0027]结构支架1
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光路系统4
[0028]调高脚铁11
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第一光学平板41
[0029]调节螺母12
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第二光学平板42
[0030]基座2
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激光加工头5
[0031]滑台模组3
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飞秒激光器6
[0032]X轴滑台31
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控制系统7
[0033]Y轴滑台32
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工件8
[0034]Z轴滑台33
具体实施方式
[0035]下面结合具体实施例对本专利技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本专利技术，但不以任何形式限制本专利技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本专利技术的保护范围。
[0036]根据本专利技术提供的基于滑台的飞秒激光加工装置，如图1所示，包括基座2、滑台模组3、光路系统4、激光加工头5、飞秒激光器6以及控制系统7，所述滑台模组3、光路系统4以及飞秒激光器6均安装在基座2上，所述滑台模组3上放置有待加工的工件8；所述飞秒激光器6发出的激光束通过光路系统4引入至所述激光加工头5，所述激光加工头5设置在所述滑台模组3上并与工件8相对设置，所述控制系统7连接所述飞秒激光器6与所述滑台模组3。所述基座2上设置有支座，所述支座上设置有光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于滑台的飞秒激光加工装置，其特征在于，包括基座(2)、滑台模组(3)、光路系统(4)、激光加工头(5)、飞秒激光器(6)以及控制系统(7)，所述滑台模组(3)、光路系统(4)以及飞秒激光器(6)均安装在基座(2)上，所述滑台模组(3)上放置有待加工的工件(8)；所述飞秒激光器(6)发出的激光束通过光路系统(4)引入至所述激光加工头(5)，所述激光加工头(5)设置在所述滑台模组(3)上并与工件(8)相对设置，所述控制系统(7)连接所述飞秒激光器(6)与所述滑台模组(3)。2.根据权利要求1所述的基于滑台的飞秒激光加工装置，其特征在于，所述基座(2)上设置有支座，所述支座上设置有光学平板，所述光路系统(4)安装于所述光学平板上，所述飞秒激光器(6)安装于所述支座上。3.根据权利要求2所述的基于滑台的飞秒激光加工装置，其特征在于，所述滑台模组(3)包括X轴滑台(31)、Y轴滑台(32)以及Z轴滑台(33)，所述X轴滑台(31)安装在基座(2)上，所述Y轴滑台(32)安装在所述X轴滑台(31)上，所述工件(8)放置在所述Y轴滑台(32)上；所述Z轴滑台(33)安装于所述支座的一侧并位于所述Y轴滑台(32)上方，所述激光加工头(5)安装在所述Z轴滑台(33)上并位于所述工件(8)的上方，用于对工件(8)进行加工，所述X轴滑台(31)、Y轴滑台(32)以及Z轴滑台(33)均与控制系统(7)连接。4.根据权利要求3所述的基于滑台的飞秒激光加工装置，其特征在于，所述光学平板包括第一光学平板(41)与第二光学平板(42)，所述第一光学平板(41)安装在所述支座的顶部，所述第二光学平板(42)安装在飞秒...

【专利技术属性】
技术研发人员：金永乔，王猛，徐恒存，杨长琪，李中权，
申请(专利权)人：上海杭和智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：