一种用于检测晶体缺陷的装置制造方法及图纸

技术编号:38449712 阅读:21 留言:0更新日期:2023-08-11 14:29
本实用新型专利技术公开了一种用于检测晶体缺陷的装置,包括用于放置待测晶体的晶体放置部,晶体放置部外侧设置有若干平行光光源和探测器,平行光光源分别设置在待测晶体的不同侧,探测器与平行光光源不同侧且探测器相对应设置在平行光光源正对面,探测器与待测晶体之间设置有滤光器,并设置有晶体位置调节器,便于快速调节待测晶体放置位置;探测器与信号接送器电连接,信号接送器与数据分析仪电连接用于将探测器发出的电信号传输到数据分析仪进行晶体内部缺陷分析,多个轴向的探测器同时接收光点信息,有利于准确分析晶体包络的具体分布情况,采用数据分析仪能够快速得到晶体缺陷的检测结果,提高检测分析效率。提高检测分析效率。提高检测分析效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测晶体缺陷的装置


[0001]本技术涉及晶体缺陷检测
,具体涉及一种用于检测晶体缺陷的装置。

技术介绍

[0002]晶体中存在各种各样的缺陷,这些缺陷大致分为如下几类:点缺陷,线缺陷包括边缘位错和螺旋位错;面缺陷包括堆垛层错、孪晶界、多晶晶界等;体缺陷包括宏观的或亚微观的空穴、杂相等。晶体中形形色色的缺陷,影响着晶体的力学、热学、电学、光学等方面的性质,因而在生产制造过程中需要严控晶体的内部质量,对晶体缺陷进行检测。
[0003]现有的晶体缺陷检测设置,如专利CN201820740456.5公开了一种检测TGG晶体内部包络的装置,通过三面光源照射晶体并成像到一侧的图像采集系统上来收集检测图像,但晶体是立体结构,仅仅通过单侧的图像采集系统收集的图像,难以准确展示三维立体的晶体内部缺陷情况,不利于进一步准确判断晶体缺陷,并且采集的图像采用人工观测的方式,不利于提高检测效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服
技术介绍
中存在的上述缺陷或问题,提供一种用于检测晶体缺陷的装置。
[0005]为达成上述目的,本技术采用如下技术方案:
[0006]一种用于检测晶体缺陷的装置,包括用于放置待测晶体的晶体放置部,晶体放置部外侧设置有若干平行光光源和探测器,所述平行光光源分别设置在待测晶体的不同侧,探测器与平行光光源不同侧且相对应设置在平行光光源正对面,探测器与待测晶体之间设置有滤光器。
[0007]探测器与信号接送器电连接,信号接送器与数据分析仪电连接用于将探测器发出的电信号传输到数据分析仪进行晶体内部缺陷分析。
[0008]进一步地,所述平行光光源为平光源发射板。
[0009]进一步地,所述探测器为探测板,所述滤光器为滤光板。
[0010]进一步地,所述晶体放置部设置在箱体内,平行光光源和探测器分别设置在箱体内侧壁上,箱体一侧设置有柜门,柜门所在侧设为箱体内前侧。
[0011]进一步地,所述箱体内设置有用于调节待测晶体放置位置的晶体位置调节器。
[0012]进一步地,所述晶体位置调节器包括L形推块,L形推块安装在电动伸缩杆的输出端;电动伸缩杆安装在箱体内后侧壁与右侧壁夹角处并且电动伸缩杆与待测晶体位于同一水平高度便于L形推块推动待测晶体。
[0013]进一步地,所述箱体底部设置减震器或者隔震器。
[0014]进一步地,所述箱体内部空间为正方体,平行光光源的数量为3个,平行光光源分别设置在箱体内前侧、箱体内左侧壁、箱体内下侧壁,探测器相对应设置在箱体内后侧壁、
右侧壁以及上侧壁。
[0015]由上述对本技术的描述可知,相对于现有技术,本技术具有的如下有益效果:
[0016]1、三个轴向方向上的探测板同时接收光点信息内容,有利于准确的分析晶体内部包络的具体分布情况,得到准确的晶体缺陷信息;设置滤光板调节由于晶体内部缺陷导致的散射光,避免探测板接收的散射光差异影响检测精度;信号接送器对探测板传递的电信号进行修复和信号放大,通过数据分析仪快速、准确的得到晶体内部缺陷的检测结果,提高检测分析效率;
[0017]2、通过电动伸缩杆将待测晶体推到待检测位置,便于待测晶体处于合适的检测角度和位置,有利于保证检测的精确度;
[0018]3、箱体底部设置减震装置,有效避免检测过程中受到外部震动的影响,保证检测精度。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域的普通技术人员来说,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术的箱体的结构示意图;
[0021]图2为本技术的结构示意图;
[0022]图3为本技术的待测晶体的检测示意图;
[0023]主要附图标记说明:
[0024]1、晶体放置部,2、平行光光源,3、探测器,4、滤光器,5、箱体,6、晶体位置调节器,60、L形推块,61、电动伸缩杆,100、待测晶体。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本技术的优选实施例,且不应被看作对其他实施例的排除。基于本技术实施例,本领域的普通技术人员在不作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术的权利要求书、说明书及上述附图中,除非另有明确限定,如使用术语“第一”、“第二”或“第三”等,都是为了区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。
[0027]本技术的权利要求书、说明书及上述附图中,除非另有明确限定,对于方位词,如使用术语“中心”、“横向”、“纵向”、“水平”、“垂直”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位或位置关系乃基于附图所示的方位和位置关系,且仅是为了便于叙述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或以特定的方位构造和操作,所以也不能理解为限制本专利技术的具体保护范围。
[0028]本技术的权利要求书、说明书及上述附图中,除非另有明确限定,如使用术语

固接”或“固定连接”,应作广义理解,即两者之间没有位移关系和相对转动关系的任何连接方式,也就是说包括不可拆卸地固定连接、可拆卸地固定连接、连为一体以及通过其他装置或元件固定连接。
[0029]本技术的权利要求书、说明书及上述附图中,如使用术语“包括”、“具有”以及它们的变形,意图在于“包含但不限于”。
[0030]实施例1,参见图1

3:
[0031]一种用于检测晶体缺陷的装置,包括用于放置待测晶体的晶体放置部1、平行光光源2、探测器3、滤光器4,所述平行光光源2为平光源发射板,探测器3为探测板,滤光器4为滤光板。
[0032]晶体放置部1外侧设置有若干平光源发射板,平光源发射板发出的光为平行光,探测板和滤光板的数量与平光源发射板的数量相同,所述平光源发射板分别设置在待测晶体100的不同侧,探测板与平光源发射板不同侧且相对应设置在平光源发射板正对面,探测板与待测晶体100之间设置有滤光板,使得平光源发射板发出的平行光经过待测晶体100、滤光板后照射在探测板上,滤光板用于调节投射到探测板上的散射光强度,提高检测精度;
[0033]所述晶体放置部1设置在箱体5内,平光源发射板和探测板分别设置在箱体5内侧壁上,箱体5一侧设置有柜门,柜门所在侧设为箱体5内前侧,箱体5内前侧即为柜门内侧壁。
[0034]本实施例中,所述箱体5内部空间为正方体,平光源发射板的数量为3个,平光源发射板分布在箱体5内前侧壁、箱体5内左侧壁、箱体5本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检测晶体缺陷的装置,其特征在于:包括用于放置待测晶体(100)的晶体放置部(1),晶体放置部(1)外侧设置有若干平行光光源(2)和探测器(3),所述平行光光源(2)分别设置在待测晶体(100)的不同侧,探测器(3)与平行光光源(2)不同侧且探测器(3)相对应设置在平行光光源(2)正对面,探测器(3)与待测晶体(100)之间设置有滤光器(4),探测器(3)与信号接送器电连接,信号接送器与数据分析仪电连接用于将探测器(3)发出的电信号传输到数据分析仪进行晶体内部缺陷分析。2.根据权利要求1所述的一种用于检测晶体缺陷的装置,其特征在于:所述平行光光源(2)为平光源发射板。3.根据权利要求1所述的一种用于检测晶体缺陷的装置,其特征在于:所述探测器(3)为探测板,所述滤光器(4)为滤光板。4.根据权利要求1

3任一所述的一种用于检测晶体缺陷的装置,其特征在于:所述晶体放置部(1)设置在箱体(5)内,平行光光源(2)和探测器(3)分别设置在箱体(5)内侧...

【专利技术属性】
技术研发人员:蔡棋梅严晨危志杰檀烽
申请(专利权)人:福建中科光汇激光科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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