模块化气体控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供模块化气体控制装置，包括面板、第一基块、第二基块、流路控制器、进口接头、出口接头，第一基块内部设置有第一通道，第二基块内部设置有第二通道，第一通道和第二通道分别限定了一个入口和一个出口，第一基块对称地设置在面板的两端，第二基块并列地位于第一基块之间，流路控制器搭接在相邻的两基块上，流路控制器的入口与前一基块的出口相连，流路控制器的出口与后一基块的入口相连，进口接头连接在位于面板前端的第一基块的入口上，出口接头连接在位于面板后端的第一基块的出口上。本实用新型专利技术通过采用搭积木的方式连接，减小了安装空间，使得装置整体结构小巧紧凑；各模块安装检修互不干扰，极大地方便安装和维护。护。护。

【技术实现步骤摘要】
模块化气体控制装置


[0001]本技术涉及半导体制程气体控制领域，具体涉及模块化气体控制装置。

技术介绍

[0002]传统气体控制系统的零部件通常采用螺纹、卡套、面密封接头等形式连接，对于用户来说，这样的连接形式组装的控制系统，往往体积很大，要考虑较大的安装空间。另外如有其中某一零件损坏，检修时往往要拆卸多个零件才能完成检修，维护也不方便。然而，半导体制程控制装置正朝着集成化、模化块的方向发展，现有的气体控制装置已无法满足这一要求。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供模块化气体控制装置，解决了
技术介绍
中所指出的现有气体控制装置体积大，安装维护困难等技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：模块化气体控制装置，包括面板、第一基块、第二基块、流路控制器、进口接头、出口接头，所述第一基块内部设置有第一通道，所述第二基块内部设置有第二通道，所述第一通道和所述第二通道分别限定了一个入口和一个出口，所述第一基块对称地设置在所述面板的两端，所述第二基块并列地位于所述第一基块之间，所述流路控制器搭接在相邻的两基块上，所述流路控制器的入口与前一基块的出口相连，所述流路控制器的出口与后一基块的入口相连，所述进口接头连接在位于所述面板前端的第一基块的入口上，所述出口接头连接在位于所述面板后端的第一基块的出口上。
[0005]优选的，所述第一基块的第一通道呈L形，所述第二基块的第二通道呈V形。
[0006]优选的，所述流路控制器至少包括手动隔膜阀、过滤器、减压阀、压力传感器、气动隔膜阀、质量流量计、单向阀中的一个。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益效果是通过基块与流路控制器的组合，采用搭积木的方式连接，减小了安装空间，使得装置整体结构小巧紧凑；各模块安装检修互不干扰，极大地方便安装和维护。
附图说明
[0008]图1为本技术结构示意图；
[0009]图2为第一基块的结构示意图；
[0010]图3为第二基块的结构示意图；
[0011]图中：1、面板；2、第一基块；3、第二基块；4、进口接头；5、出口接头；6、手动隔膜阀；7、过滤器；8、减压阀；9、压力传感器；10、气动隔膜阀；11、质量流量计；12、单向阀。
具体实施方式
[0012]为了使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0013]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0014]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0015]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0016]此外，“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0017]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]下面结合附图，对本技术的一些实施方式作详细说明。
[0019]如图1所示，本实施例的所述的模块化气体控制装置,包括面板1、第一基块2、第二基块3、进口接头4、出口接头5。面板1呈条状，其底部设置有四个支撑13，支撑13上设置有安装孔，可通过螺钉将面板1固定在墙体或其他设备上。第一基块2为块状，第一基块2内有第一通道20，第一通道20在第一基块2表面限定了一个入口21和一个出口22，详见附图2。第二基块3也呈块状，第二基块3内有第二通道30，第二通道30在第二基块3表面限定了一个入口31和一个出口32，详见附图3。为了降低基块的制造难度，简化安装程序，第一通道20大致呈L形，入口21位于第一基块2的侧面，出口22位于第二基块2的上端面。第二通道30呈V形，第二基块3的出口31和出口32均位于其上端面。
[0020]需要特别说明的是，第一基块2和第二基块3上的入口和出口并非是固定的，在某些具体的管路排布中，入口可当作出口使用，出口同样也可当作入口使用。具体参见附图1，第一基块2对称朝向地设置在面板1的两端，此时位于面板1前端和位于面板1后端的第一基块2的入口及出口正好是相反的。进口接头4连接在位于面板1前端的第一基块2的入口21上，而出口接头5则连接在位于面板1后端的第一基块2的出口21上。
[0021]第二基块3呈并列式的分布在位于面板1两端的第一基块2之间，基块上安装有流
路控制器。具体地，流路控制器搭接在前后相邻的两基块上，流路控制器下端加工成方形，底部设置有入口和出口。流路控制器的入口与前一基块的出口相连接，其出口与后一基块的入口相连接。流路控制器可以是如手动隔膜阀6、过滤器7、减压阀8、压力传感器9、气动隔膜阀10、质量流量计11、单向阀12等，流路控制器可以单独连接，也可以多个组合连接。在一个实施例中，进口接头4连接在第一基块2的入口上，手动隔膜阀6的入口搭接在第一基块2的出口上，手动隔膜阀6的出口搭接在相邻的第二基块3的入口上，过滤器7的入口搭接在第二基块3的出口上，减压阀8、压力传感器9、气动隔膜阀10、质量流量计11依次与下方的基块首尾相连，直至单向单12搭接在最后相邻的两基块上，最后将出口接头5连接在尾端的第一基块2的出口上。
[0022]本技术与传统型气体控制系统相比，体积小，集成化程度高，安装维护简单容易，各模块之间互不干扰，只需松开流路控制器与基块之间的螺栓即可快速更换维护。另外，本技术还可根据用户的需求随意组合模块，排布管线的顺序，通过三通接头等形式实现多流路接连，极大地提高了应用范围。
[0023]以上描述了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.模块化气体控制装置,其特征在于，包括面板、第一基块、第二基块、流路控制器、进口接头、出口接头，所述第一基块内部设置有第一通道，所述第二基块内部设置有第二通道，所述第一通道和所述第二通道分别限定了一个入口和一个出口，所述第一基块对称地设置在所述面板的两端，所述第二基块并列地位于所述第一基块之间，所述流路控制器搭接在相邻的两基块上，所述流路控制器的入口与前一基块的出口相连，所述流路控制器的出口与后一基块...

【专利技术属性】
技术研发人员：史倩，
申请(专利权)人：武汉市飞托克实业有限公司，
类型：新型
国别省市：