一种单晶收尾工艺制造技术

本发明专利技术提供一种单晶收尾工艺，解决现有技术收尾工艺收尾后，石英埚底会残留剩料，造成原料浪费；且收尾时主加热器温度过高，容易造成石英埚受损或卷边等异常，影响生产效率的问题；该收尾工艺先降低后增加主加热器功率，增加底部加热器功率，使用该工艺进行收尾后，石英埚底部不会残留剩料，能够提高原料的转化率，杜绝浪费；且该工艺能够保护石英埚不受损伤，降低石英埚卷边风险，降低成本，提高生产效率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶收尾工艺


[0001]本专利技术属于直拉硅单晶炉所用配件
，尤其是涉及一种单晶收尾工艺。

技术介绍

[0002]目前，在直拉硅单晶炉的生产中，现有技术的收尾工艺收尾后，石英埚底会残留剩料，造成原料浪费；且收尾时主加热器温度过高，容易造成石英埚受损或卷边等异常，影响生产效率。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的问题是现有技术收尾工艺收尾后，石英埚底会残留剩料，造成原料浪费；且收尾时主加热器温度过高，容易造成石英埚受损或卷边等异常，影响生产效率的问题，提供一种单晶收尾工艺，使用该工艺进行收尾后，石英埚底部不会残留剩料，能够提高原料的转化率，杜绝浪费；且该工艺能够保护石英埚不受损伤，降低石英埚卷边风险，降低成本，提高生产效率。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0005]一种单晶收尾工艺，包括：
[0006]将开始收尾时的主加热器功率设定为第一功率，将收尾初期至收尾中期的主加热器功率设定为第二功率，开始收尾至收尾初期，所述第一功率匀速降低至所述第二功率，收尾初期至收尾中期的前半段，主加热器功率保持所述第二功率，收尾中期后半段，主加热器功率升回至所述第一功率，收尾中期后半段至收尾结束，主加热器功率保持所述第一功率；
[0007]将开始收尾时的底部加热器功率设定为第三功率，将收尾中期至收尾结束的底部加热器功率设定为第四功率，收尾初期至收尾中期，所述第三功率升高至所述第四功率，收尾中期至收尾结束，底部加热器功率保持所述第四功率。
[0008]进一步地，将开始收尾时的石英埚转速设定为第一转速，将收尾结束时的石英埚转速设定为最小转速，开始收尾至收尾中期，石英埚转速保持所述第一转速，收尾中期至收尾结束，石英埚转速由所述第一转速匀速降低至所述最小转速。
[0009]进一步地，将开始收尾时的晶升速率补偿值设定为第一速率，将收尾初期至收尾中期的晶升速率补偿值设定为第二速率，将收尾结束时的晶升速率补偿值设定为最大速率，开始收尾至收尾初期，所述第一速率降低至所述第二速率，收尾中期前半段，所述第二速率快速增大，收尾中期后半段至收尾结束，所述第二速率匀速增大至所述最大速率。
[0010]进一步地，将开始收尾时的石英埚上升速度设定为第一升速，将收尾中期的石英埚上升速度设定为第二升速，开始收尾至收尾中期，所述第一升速降至所述第二升速，收尾中期至收尾结束，石英埚上升速度保持所述第二升速。
[0011]进一步地，所述第二升速为0，开始收尾至收尾中期，所述第一升速降低至0，收尾中期至收尾结束，石英埚的上升速度为0。
[0012]进一步地，将开始收尾时的单晶转速设定为第一晶速，将收尾中期的单晶转速设
定为第二晶速，开始收尾至收尾中期前半段，单晶转速为所述第一晶速，收尾中期后半段，所述第一晶速降至所述第二晶速，收尾中期后半段至收尾结束，单晶转速为所述第二晶速。
[0013]进一步地，开始收尾至收尾结束，单晶炉的压力保持不变。
[0014]进一步地，开始收尾至收尾结束，所述单晶炉的氩气流量保持不变。
[0015]本专利技术设计的一种单晶收尾工艺，收尾初期先降低主加热器功率，利于石英埚内原料结晶，在收尾初期阶段拉料更多，收尾中后期升高主加热器功率，此时石英埚内原料较少，升高功率和提高温度，可以将石英埚内剩余原料全部拉出，防止剩余的原料在石英埚内冷却凝结，造成剩料；升高底部加热器功率，收尾初期到收尾中期保持石英埚转速，收尾中后期石英埚转速降低，同样起到防止剩余的原料在石英埚内冷却凝结的作用，收尾中后期降低石英埚上升速率，石英埚上沿远离主加热器，避免石英埚受损及发生卷边的风险。使用该工艺进行收尾后，石英埚底部不会残留剩料，能够提高原料的转化率，杜绝浪费；且该工艺能够保护石英埚不受损伤，降低石英埚卷边风险，降低成本，提高生产效率。
具体实施方式
[0016]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0017]本专利技术实施例提供一种单晶收尾工艺，包括：
[0018]将开始收尾时的主加热器功率设定为第一功率，将收尾初期至收尾中期的主加热器功率设定为第二功率，开始收尾至收尾初期，第一功率匀速降低至第二功率，收尾初期至收尾中期的前半段，主加热器功率保持第二功率，收尾中期后半段，主加热器功率升回至第一功率，收尾中期后半段至收尾结束，主加热器功率保持第一功率；
[0019]将开始收尾时的底部加热器功率设定为第三功率，将收尾中期至收尾结束的底部加热器功率设定为第四功率，收尾初期至收尾中期，第三功率升高至第四功率，收尾中期至收尾结束，底部加热器功率保持第四功率。
[0020]具体地，收尾过程为匀速拉晶，开始收尾时，主加热器功率具有的初始值为第一功率，在收尾初期，拉出的单晶长度占单晶总长度的10％时，第一功率匀速降低至第二功率，温度降低，利于石英埚内原料的结晶和拉取，在收尾中期，拉出的单晶长度占单晶总长度的40％
‑
50％时，主加热器功率升高，回到第一功率，并直到收尾结束，在收尾中后期，石英埚内的原料大部分已经被拉出，石英埚内留有小部分剩料，此时增加主加热器功率，主加热器温度升高，使石英埚内余料被熔化并拉出，不会导致余料在石英埚内结晶，造成剩料现象，实现收尾后无残留剩料。
[0021]具体地，开始收尾时，底部加热器功率具有的初始值为第三功率，收尾初期至收尾中期，升高底部加热器功率，底部加热器和主加热器功率一起对石英埚进行加热，收尾中后期，底部加热器功率不再增加，避免了由于底部加热器功率过高造成的石英埚损伤。
[0022]优选的，将开始收尾时的石英埚转速设定为第一转速，将收尾结束时的石英埚转速设定为最小转速，开始收尾至收尾中期，石英埚转速保持第一转速，收尾中期至收尾结束，石英埚转速由第一转速匀速降低至最小转速。
[0023]具体地，在收尾中期，拉出的单晶长度占单晶总长度的40％
‑
50％时，石英埚转速
由第一转速开始匀速降低，在收尾结束时达到最小转速，此时石英埚内无剩料，石英埚转速越小，越容易受热，降低石英埚转速的目的，也是为了避免石英埚内剩余的原料在石英埚内结晶，造成收尾结束后有剩料的情况。
[0024]优选的，将开始收尾时的晶升速率补偿值设定为第一速率，将收尾初期至收尾中期的晶升速率补偿值设定为第二速率，将收尾结束时的晶升速率补偿值设定为最大速率，开始收尾至收尾初期，第一速率降低至第二速率，收尾中期前半段，第二速率快速增大，收尾中期后半段至收尾结束，第二速率匀速增大至最大速率。
[0025]具体地，开始收尾时，晶升速率补偿值初始值为第一速率，将单晶直径快速收回，在收尾初期，拉出的单晶长度占单晶总长度的10％时，第一速率降低至第二速率，将石英埚内剩料均匀地拉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶收尾工艺，其特征在于，包括：将开始收尾时的主加热器功率设定为第一功率，将收尾初期至收尾中期的主加热器功率设定为第二功率，开始收尾至收尾初期，所述第一功率匀速降低至所述第二功率，收尾初期至收尾中期的前半段，主加热器功率保持所述第二功率，收尾中期后半段，主加热器功率升回至所述第一功率，收尾中期后半段至收尾结束，主加热器功率保持所述第一功率；将开始收尾时的底部加热器功率设定为第三功率，将收尾中期至收尾结束的底部加热器功率设定为第四功率，收尾初期至收尾中期，所述第三功率升高至所述第四功率，收尾中期至收尾结束，底部加热器功率保持所述第四功率。2.根据权利要求1所述的一种单晶收尾工艺，其特征在于：将开始收尾时的石英埚转速设定为第一转速，将收尾结束时的石英埚转速设定为最小转速，开始收尾至收尾中期，石英埚转速保持所述第一转速，收尾中期至收尾结束，石英埚转速由所述第一转速匀速降低至所述最小转速。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶收尾工艺，其特征在于：将开始收尾时的晶升速率补偿值设定为第一速率，将收尾初期至收尾中期的晶升速率补偿值设定为第二速率，将收尾结束时的晶升速率补偿值设定为最大速率，开始收尾至收尾初期，所述第一速率降低至所述第二速率，收尾中期前半段，所述第二速率快速增大，收尾中期后半段至收尾结束，所述第二速率匀速...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨瑞峰，王建平，刘学，刘有益，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：