一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了光学晶体检测领域的一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法，通过CCD相机，对蓝膜晶圆盘内的六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面B的朝向进行快速拍照定位和判定，利用相互配合的竖直拾取组件和移动拾取组件，对需要进行翻转的六面体镀膜玻璃进行交换吸附以使得其镀膜面B朝上，无需单独设置翻转机构，简化了翻转操作流程，实现了晶体AB面的快速检测、拾取、翻转以及转移，提高了检测的效率；公开的光学晶体AB面的检测方法，代替人工利用显微镜和夹子进行判断和翻转转移，提高了检测速度同时提高准确度，实现快速识别和翻转转移。实现快速识别和翻转转移。实现快速识别和翻转转移。

【技术实现步骤摘要】
一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法


[0001]本专利技术涉及光学晶体检测领域，特别涉及一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法。

技术介绍

[0002]光学晶体用作光学介质材料的晶体材料，主要用于制作紫外和红外区域窗口、透镜和棱镜，按晶体结构分为单晶和多晶。
[0003]现有一种光学晶体为六面体镀膜玻璃，其主要包括相对设置的镀膜面A和镀膜面B以及四个周向分布的切割面C,其中镀膜面A和镀膜面B的镀膜厚度不同；传统的检测设备在进行检测时需要人工利用显微镜区分镀膜面A和镀膜面B，然后夹取六面体镀膜玻璃使其镀膜面B朝上放入到检测盒中，人工分辨识别镀膜面A和镀膜面B再进行夹取，对于翻面的需要进行翻转，操作繁琐，检测镀膜面A和镀膜面B速度慢，光学晶体体积较小，采用手动夹子进行翻转时，夹取翻转操作难度大。
[0004]本申请提供一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法，实现自动化检测和夹取。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于解决传统的人工操作检测光学晶体AB面并翻转夹取时检测速度慢操作难度大的问题；相比现有技术提供一种光学晶体AB面检测装置及其检测方法，可以实现采用CCD相机拍摄并进行拾取、翻转和转移操作，提高检测速度和检测效果。
[0006]一种光学晶体AB面检测装置，包括作业台，作业台上放置有对称设置的蓝膜晶圆盘和检测盒，蓝膜晶圆盘上粘接有扩晶后的多个六面体镀膜玻璃，六面体镀膜玻璃包括相对设置且镀膜厚度不同的镀膜面A和镀膜面B以及四个切割面C；作业台上设有设置在蓝膜晶圆盘和检测盒之间的转移架，转移架连接有驱动转移架转动的第一动力机构，转移架上安装有一组对称设置的平面二维丝杆组件，平面二维丝杆组件下方连接有用来拾取和翻转六面体镀膜玻璃的拾取翻转机构；
[0007]拾取翻转机构包括安装架，安装架上安装有用来判断六面体镀膜玻璃的镀膜面朝向的CCD相机，安装架位于CCD相机内侧固定安装有竖直拾取组件，竖直拾取组件外侧设有移动拾取组件，移动拾取组件连接有与安装架转动连接的转动盘，转动盘连接有第二伺服电机；移动拾取组件固定连接有与转动盘转动连接的自转台,自转台连接有与转动盘固定连接的第三伺服电机。
[0008]进一步的，CCD相机连接有角度调节机构，角度调节机构包括与CCD相机固定连接并与安装架转动连接的安装轴，安装轴连接有摆动动力机构，摆动动力机构包括固定在安装轴端部的第一被动齿轮，第一被动齿轮啮合有与安装架滑动连接的齿条框，齿条框卡接有偏心盘，偏心盘固定连接有与安装架转动连接的传动轴，传动轴端部固定连接有与转动盘啮合的第二被动齿轮，转动盘的圆周侧壁上设有与第二被动齿轮啮合的卡齿。
[0009]优选的，齿条框呈水平L型，齿条框包括水平齿条、与水平齿条一体成型且竖直设
置的卡接框以及设置在水平齿条上部的滑动卡槽，安装架内壁固定连接有与滑动卡槽配合的滑轨。
[0010]优选的，转移架包括转动板，转动板下端固定连接有支撑轴，支撑轴通过轴承座与作业台转动连接；第一动力机构包括套接在支撑轴上的蜗轮，蜗轮啮合有蜗杆，蜗杆连接有第一伺服电机。
[0011]优选的，转动板为矩形板，转动板两侧开设有用来安装平面二维丝杆组件的安装槽，第一伺服电机外侧套设有防护罩。
[0012]优选的，平面二维丝杆组件包括纵向设置的Y轴丝杆组件以及与Y轴丝杆组件连接且横向设置的X轴丝杆组件，Y轴丝杆组件和X轴丝杆组件均包括滑动槽、嵌套在滑动槽内的移动块、与移动块螺纹连接的丝杆以及与丝杆连接的丝杆电机，X轴丝杆组件的移动块与安装架固定连接。
[0013]优选的，竖直拾取组件和移动拾取组件结构相同，二者均包括音圈电机和与音圈电机固定连接的电木吸头。
[0014]优选的，转动盘上设有与其一体成型的安装筒，安装架上设有与安装筒配合的安装柱，安装筒套设在安装柱上并与其转动连接，第二伺服电机与安装架通过螺栓固定连接，第三伺服电机通过螺栓与转动盘后壁固定连接，移动拾取组件侧壁上安装有红外测距传感器。
[0015]一种光学晶体AB面检测的检测方法，采用如上所述的光学晶体AB面检测装置进行检测，包括如下步骤：步骤一，将人工采用蓝膜吸附铲平料盘上的六面体镀膜玻璃，然后对蓝膜进行扩晶，并将扩晶后的蓝膜放置在作业台上的蓝膜晶圆盘上；
[0016]步骤二，通过CCD相机对蓝膜晶圆盘上的六面体镀膜玻璃进行多角度拍摄，对六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面B的朝向进行定位；
[0017]步骤三，通过拾取翻转机构对蓝膜晶圆盘上六面体镀膜玻璃进行吸取提升，根据步骤二中对六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面B的朝向的定位，判定是否进行竖直拾取组件和移动拾取组件进行交换吸附以使得六面体镀膜玻璃的镀膜面B朝上的操作，然后进行操作，使得六面体镀膜玻璃的镀膜面B朝上；
[0018]步骤四，启动转移架对拾取翻转后的六面体镀膜玻璃进行水平转移，使得其移动到检测盒上方，然后将翻转后的六面体镀膜玻璃放入到检测盒内。
[0019]优选的，在步骤三中判定是否进行竖直拾取组件和移动拾取组件进行交换吸附操作的判定依据分为三种情况：第一种，六面体镀膜玻璃初始状态下镀膜面B朝上，无需进行竖直拾取组件和移动拾取组件的交换吸附；第二种，六面体镀膜玻璃初始状态下镀膜面B朝下，需要进行竖直拾取组件和移动拾取组件的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃发生翻转使得镀膜面B朝上；第三种，六面体镀膜玻璃初始状态下镀膜面B为水平朝向，需要进行竖直拾取组件和移动拾取组件的交换吸附，使得六面体镀膜玻璃发生翻转使得镀膜面B朝上。
[0020]相比于现有技术，本专利技术的优点在于：
[0021](1)本专利技术通过CCD相机，对蓝膜晶圆盘内的六面体镀膜玻璃的位置和镀膜面B的朝向进行快速拍照定位和判定，利用相互配合的竖直拾取组件和移动拾取组件，对需要进行翻转的六面体镀膜玻璃进行交换吸附以使得其镀膜面B朝上，无需单独设置翻转机构，简化了翻转操作流程，实现了晶体AB面的快速检测、拾取、翻转以及转移，提高了检测的效率。
[0022](2)本专利技术通过设置在转动盘上的且用来固定移动拾取组件的自转台，方便调整移动拾取组件的朝向，使得其电木吸头朝向六面体镀膜玻璃的镀膜面B,快速实现交换吸附和翻转。
[0023](3)本专利技术通过与CCD相机连接且与转动盘联动的角度调节机构，方便调节CCD相机对六面体镀膜玻璃的拍摄角度，使得CCD相机倾斜拍摄时定位六面体镀膜玻璃的镀膜面B的朝向，进而方便判定是否进行交换吸附以及吸附时移动拾取组件的转动角度。
[0024](4)本专利技术公开的光学晶体AB面的检测方法，代替人工利用显微镜和夹子进行判断和翻转转移，提高了检测速度同时提高准确度，实现快速识别和翻转转移。
附图说明
[0025]图1为本专利技术的立体结构示意图；
[0026]图2为本专利技术中转动架的装配结构示意图；
[0027]图3为本专利技术中平面二维丝杆组件和拾取翻转机构的装配结构示意图；
[0028]图4为本专利技术中转动盘的后本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学晶体AB面检测装置，包括作业台(1)，所述作业台(1)上放置有对称设置的蓝膜晶圆盘(5)和检测盒(6)，蓝膜晶圆盘(5)上粘接有扩晶后的多个六面体镀膜玻璃(7)，六面体镀膜玻璃(7)包括相对设置且镀膜厚度不同的镀膜面A和镀膜面B以及四个切割面C；其特征在于，所述作业台(1)上设有设置在蓝膜晶圆盘(5)和检测盒(6)之间的转移架(2)，转移架(2)连接有驱动转移架(2)转动的第一动力机构，转移架(2)上安装有一组对称设置的平面二维丝杆组件(3)，平面二维丝杆组件(3)下方连接有用来拾取和翻转六面体镀膜玻璃(7)的拾取翻转机构(4)；所述拾取翻转机构(4)包括安装架(401)，安装架(401)上安装有用来判断六面体镀膜玻璃(7)的镀膜面朝向的CCD相机(402)，安装架(401)位于CCD相机(402)内侧固定安装有竖直拾取组件(403)，竖直拾取组件(403)外侧设有移动拾取组件(407)，移动拾取组件(407)连接有与安装架(401)转动连接的转动盘(405)，转动盘(405)连接有第二伺服电机(409)；所述移动拾取组件(407)固定连接有与转动盘(405)转动连接的自转台(406),自转台(406)连接有与转动盘(405)固定连接的第三伺服电机(410)。2.根据权利要求1所述的一种光学晶体AB面检测装置，其特征在于，所述CCD相机(402)连接有角度调节机构，角度调节机构包括与CCD相机(402)固定连接并与安装架(401)转动连接的安装轴(8)，安装轴(8)连接有摆动动力机构，摆动动力机构包括固定在安装轴(8)端部的第一被动齿轮(9)，第一被动齿轮(9)啮合有与安装架(401)滑动连接的齿条框(10)，齿条框(10)卡接有偏心盘(12)，偏心盘(12)固定连接有与安装架(401)转动连接的传动轴(13)，传动轴(13)端部固定连接有与转动盘(405)啮合的第二被动齿轮(14)，转动盘(405)的圆周侧壁上设有与第二被动齿轮(14)啮合的卡齿。3.根据权利要求2所述的一种光学晶体AB面检测装置，其特征在于，所述齿条框(10)呈水平L型，齿条框(10)包括水平齿条(1001)、与水平齿条(1001)一体成型且竖直设置的卡接框(1003)以及设置在水平齿条(1001)上部的滑动卡槽(1002)，安装架(401)内壁固定连接有与滑动卡槽(1002)配合的滑轨(11)。4.根据权利要求1所述的一种光学晶体AB面检测装置，其特征在于，所述转移架(2)包括转动板(201)，转动板(201)下端固定连接有支撑轴(202)，支撑轴(202)通过轴承座与作业台(1)转动连接；所述第一动力机构包括套接在支撑轴(202)上的蜗轮(203)，蜗轮(203)啮合有蜗杆(204)，蜗杆(204)连接有第一伺服电机(205)。5.根据权利要求4所述的一种光学晶体AB面检测装置，其特征在于，所述转动板(201)为矩形板，转动板(201)两侧开设有用来安装平面二维丝杆组件(3)的安装槽(2011)，第一伺服电机(205)外侧套设有防护罩(206)。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢安，谢贤仁，陈永恩，陈孝君，蒋磊，王志坚，
申请(专利权)人：厦门竣铭科技有限公司，
类型：发明
国别省市：