本申请涉及一种晶体尾部直径测量方法、装置、计算机设备和单晶炉。所述方法包括：基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括所述反射镜的镜内图像，所述镜内图像包括所述晶体的尾部图像；基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。采用本方法能够基于反射镜实现对晶体尾部的直径测量，工作人员根据准确测量的直径数据对单晶炉进行调整，还可以达到提高晶体品质的效果。体品质的效果。体品质的效果。
【技术实现步骤摘要】
晶体尾部直径测量方法、装置、计算机设备和单晶炉
[0001]本申请涉及制晶
，特别是涉及一种晶体尾部直径测量方法、装置、计算机设备和单晶炉。
技术介绍
[0002]在单晶制备过程中，为保证晶体质量，往往会在单晶拉制完成后进行收尾的工序，其过程中，晶体尾部的直径由上至下逐渐变小，直至收尖脱离液面。收尾工序需要对晶体尾部的直径进行监测，若出现微小偏差则容易造成收尾失败。然而目前的晶体直径测量只能在等径过程中对光圈进行检测以判断直径，在收尾阶段，由于光圈收缩至受晶体遮挡的区域而无法观测；同时，由于图像采集装置耐高温性差，而且若为了获取尾部图像而调整采集装置的位置，可能导致在单晶硅的其他制备阶段中无法获取有效实时图像的情形，因此目前无法对图像采集装置的位置进行调整，收尾过程仍是基于先前的实验数据写入到收尾过程中，并通过经验丰富的员工或技术手段进行手动及时的调整。
[0003]可见，目前的传统技术还未能提供一种可行的晶体尾部的直径测量方法。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够实现晶体尾部直径测量的晶体尾部直径测量方法、装置、计算机设备和单晶炉。
[0005]第一个方面，本实施例提供了一种晶体尾部直径测量方法，在单晶炉内设置有反射镜，所述方法包括：
[0006]基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括所述反射镜的镜内图像，所述镜内图像包括所述晶体的尾部图像；
[0007]基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。
[0008]在其中一个实施例中，所述晶体的尾部图像包括光圈图像，所述基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径包括：
[0009]基于所述光圈图像确定光圈尺寸；
[0010]基于所述光圈尺寸确定所述晶体的尾部直径。
[0011]第二个方面，本实施例提供了一种晶体尾部直径测量方法，其特征在于，在单晶炉内设置有电光源，所述方法包括：
[0012]基于接收到的测量指令控制所述电光源发射光束，所述光束经过晶体尾部并在单晶炉内壁呈现出投影图像；
[0013]获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像包括所述投影图像；
[0014]基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。
[0015]在其中一个实施例中，所述单晶炉包括导流管，所述获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像包括：
[0016]获取图像采集装置所采集的所述导流管上的投影图像。
[0017]在其中一个实施例中，所述光束为线激光。
[0018]第三个方面，本实施例提供了一种单晶炉，包括单晶炉本体、控制模块、图像采集装置以及反射镜，其中：
[0019]所述控制模块与所述图像采集装置连接，所述反射镜设置于所述单晶炉本体内；
[0020]所述图像采集装置用于采集所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括所述反射镜的镜内图像，所述镜内图像包括晶体的尾部图像；
[0021]所述控制模块用于基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像；基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。
[0022]第四个方面，本实施例提供了一种单晶炉，包括单晶炉本体、控制模块、图像采集装置以及电光源，其中：
[0023]所述电光源用于发射光束，所述光束经过晶体尾部并在单晶炉内壁呈现出投影图像；
[0024]所述图像采集装置用于采集所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像包括所述投影图像；
[0025]所述控制模块用于基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像；基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。
[0026]第五个方面，本实施例提供了一种晶体尾部直径测量装置，所述装置包括：
[0027]获取模块，用于基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括反射镜的镜内图像，所述镜内图像包括所述晶体的尾部图像；
[0028]确定模块，用于基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。
[0029]第六个方面，本实施例提供了一种晶体尾部直径测量装置，所述装置包括：
[0030]发射模块，用于基于接收到的测量指令控制电光源发射光束，所述光束经过晶体尾部并在单晶炉内壁呈现出投影图像；
[0031]获取模块，用于获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像包括所述投影图像；
[0032]确定模块，用于基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。
[0033]第七个方面，本实施例提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述方法的步骤。
[0034]上述晶体尾部直径测量方法、装置、计算机设备和单晶炉，通过在单晶炉内设置反射镜，基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括所述反射镜的镜内图像，所述镜内图像包括所述晶体的尾部图像；基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径，可以基于反射镜实现对晶体尾部的直径测量，工作人员根据准确测量的直径数据对单晶炉进行调整，还可以达到提高晶体品质的效果。
附图说明
[0035]图1为一个实施例中晶体尾部直径测量方法的应用环境图；
[0036]图2为一个实施例中晶体尾部直径测量方法的流程示意图；
[0037]图3为另一个实施例中晶体尾部直径测量方法的流程示意图；
[0038]图4为另一个实施例中晶体尾部直径测量方法投影图像的示意图；
[0039]图5为另一个实施例中晶体尾部直径测量方法中单晶炉的结构图；
[0040]图6为一个实施例中晶体尾部直径测量装置的结构框图；
[0041]图7为另一个实施例中晶体尾部直径测量装置的结构框图；
[0042]图8为一个实施例中计算机设备的内部结构图。
具体实施方式
[0043]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0044]本申请实施例提供的晶体尾部直径测量方法，可以应用于如图1所示的应用环境中。其中，终端102通过网络与服务器104进行通信。数据存储系统可以存储服务器104需要处理的数据。数据存储系统可以集成在服务器104上，也可以放在云上或其他网络服务器上。在其中一个实施例中，图像采集装置将所采集的单晶炉内的实时图像发送至服务器104，该实时图像由数据存储系统进行存储，终端102基于接收到的测量指令从服务器104或图像采集装置获取实时图像，实时图像中包括反射镜的镜内图像，该镜内图像包括晶体的尾部图像；基于实时图像确定晶体的尾部直径。服务器104可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现。
[0045]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体尾部直径测量方法，其特征在于，在单晶炉内设置有反射镜，所述方法包括：基于接收到的测量指令获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括所述反射镜的镜内图像，所述镜内图像包括所述晶体的尾部图像；基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。2.根据权利要求1所述的晶体尾部直径测量方法，其特征在于，所述晶体的尾部图像包括光圈图像，所述基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径包括：基于所述光圈图像确定光圈尺寸；基于所述光圈尺寸确定所述晶体的尾部直径。3.一种晶体尾部直径测量方法，其特征在于，在单晶炉内设置有电光源，所述方法包括：基于接收到的测量指令控制所述电光源发射光束，所述光束经过晶体尾部并在单晶炉内壁呈现出投影图像；获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像包括所述投影图像；基于所述实时图像确定所述晶体的尾部直径。4.根据权利要求3所述的晶体尾部直径测量方法，其特征在于，所述单晶炉包括导流管，所述获取图像采集装置所采集的所述单晶炉内的实时图像包括：获取图像采集装置所采集的所述导流管上的投影图像。5.根据权利要求4所述的晶体尾部直径测量方法，其特征在于，所述光束为线激光。6.一种单晶炉，其特征在于，包括单晶炉本体、控制模块、图像采集装置以及反射镜，其中：所述控制模块与所述图像采集装置连接，所述反射镜设置于所述单晶炉本体内；所述图像采集装置用于采集所述单晶炉内的实时图像，所述实时图像中包括所述反射镜的镜内图像，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，高宇，叶钢飞，陈思源，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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