本实用新型专利技术提供了一种碳化硅托盘，为一体成型结构，包括底板、一号耳板和二号耳板，所述一号耳板垂直安装至底板的一端，所述二号耳板垂直安至底板的另一端形成U字型结构，所述底板的两侧分别设有一号侧壁a和一号侧壁b，所述一号耳板的两侧分别设有二号侧壁a和二号侧壁b，所述二号耳板的两侧分别设有三号侧壁a和三号侧壁b，所述二号侧壁a、一号侧壁a和三号侧壁a依次首尾相接形成一号侧栏，所述二号侧壁b、一号侧壁b和三号侧壁b依次首尾相接形成二号侧栏，使碳化硅托盘整体形成槽状体。本实用新型专利技术通过清洗使托盘具备稳定承载运输二氧化硅的能力。的能力。的能力。
【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅托盘及清洗装置
[0001]本技术属于碳化硅清洗领域，尤其是涉及一种碳化硅托盘。
技术介绍
[0002]在对二氧化硅进行制程工艺时，由于制程工艺时二氧化硅会同时成积在碳化硅托盘上的特性，所以需要使用一种碳化硅托盘清洗装置，由于碳化硅托盘要经过腐蚀性化学品才能去除掉碳化硅托盘表面成积的二氧化硅粉末，如果使用人工进行清洗时，会有一定的安全隐患。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种碳化硅托盘及清洗装置，通过清洗使托盘能够循环使用满足制程能力的要求。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种碳化硅托盘，为一体成型结构，包括底板、一号耳板和二号耳板，所述一号耳板垂直安装至底板的一端，所述二号耳板垂直安至底板的另一端形成U字型结构，所述底板的两侧分别设有一号侧壁a和一号侧壁b，所述一号耳板的两侧分别设有二号侧壁a和二号侧壁b，所述二号耳板的两侧分别设有三号侧壁a和三号侧壁b，所述二号侧壁a、一号侧壁a和三号侧壁a依次首尾相接形成一号侧栏，所述二号侧壁b、一号侧壁b和三号侧壁b依次首尾相接形成二号侧栏，使碳化硅托盘整体形成槽状体。
[0006]进一步的，所述一号耳板与底板的连接处设有三角板，所述二号耳板与底板的连接处也设有三角板，所述三角板用于增强托盘整体性。
[0007]进一步的，所述底板的表面设有若干平行设置的加强筋，所述加强筋连接一号侧壁a和一号侧壁b。
[0008]进一步的，所述加强筋的数量为2个，分别设置在底板的2/4处和3/4处。
[0009]进一步的，所述一号耳板和二号耳板的结构相同，所述一号耳板和二号耳板的表面均设有田字型的镂空。
[0010]进一步的，所述底板的表面设有若干均匀分布的长条孔。
[0011]进一步的，所述一号侧壁和二号侧壁结构相同，所述一号侧壁的上表面，由两侧向中间逐渐升高，形成中部尖状结构；所述一号侧壁a和一号侧壁b上设有若干均匀分布的圆孔。
[0012]清洗装置，用于清洗一种碳化硅托盘，包括移动平台、移动机构、腐蚀槽、漂洗槽、循环机构和机械臂，所述移动平台一侧分别设有腐蚀槽和漂洗槽，所述腐蚀槽设有循环机构、一号进液管和二号进液管，所述漂洗槽设有三号进液管；所述移动平台上设有移动机构，所述移动机构的移动板上安装时机械臂，所述机械臂用于将托盘分别在腐蚀槽和漂洗槽中清洗，所述移动机构、循环机构和机械臂均连接至控制器。
[0013]进一步的，所述一号进液管、二号进液管和三号进液管均设有一个流量计，每个所
述流量计均连接至控制器，所述一号进液管用于输入氢氟酸、二号进液管用于输出水；三号进液管也用于输入水，且漂洗槽中的水为持续流动状。
[0014]进一步的，所述移动机构包括移动滑轨、移动丝杠、移动板和移动电机，所述移动滑轨设置在移动平台上，所述移动丝杠一端连接至移动电机输出端，所述移动板通过螺母座与移动丝杠连接，且与移动滑轨滑动连接，实现对滑动板的驱动；
[0015]所述循环机构包括循环管和循环泵，循环管一端连通至腐蚀槽的底端，另一端设置在腐蚀槽的上部，循环泵设置在循环管上，用于将腐蚀槽内的液体循环处理。
[0016]相对于现有技术，本技术所述的一种碳化硅托盘及清洗装置具有以下优势：
[0017](1)本技术所述的一种碳化硅托盘及清洗装置，通过自动化的操作对托盘进行清洗，快速高效，并且不会对人造成损坏。
[0018](2)本技术所述的一种碳化硅托盘及清洗装置，通过俯视腐蚀槽和漂洗槽对托盘进行两次清洗，达到使用的目的。
附图说明
[0019]构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0020]图1为本技术实施例所述的碳化硅托盘示意图；
[0021]图2为本技术实施例所述的清洗装置示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1、底板；11、一号侧壁a；12、一号侧壁b；13、加强筋；2、一号耳板；21、二号侧壁a；22、二号侧壁b；3、二号耳板；31、三号侧壁a；32、三号侧壁b；4、三角板；5、移动平台；6、移动机构；61、移动滑轨；62、移动丝杠；63、移动板；64、移动电机；7、腐蚀槽；71、一号进液管；72、二号进液管；8、漂洗槽；81、三号进液管；9、循环机构；91、循环管；92、循环泵；10、机械臂。
具体实施方式
[0024]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，
可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0028]一种碳化硅托盘，如图1图2所示，包括底板1、一号耳板2和二号耳板3，所述一号耳板2垂直安装至底板1的一端，所述二号耳板3垂直安至底板1的另一端形成U字型结构，所述底板1的两侧分别设有一号侧壁a11和一号侧壁b12，所述一号耳板2的两侧分别设有二号侧壁a21和二号侧壁b22，所述二号耳板3的两侧分别设有三号侧壁a31和三号侧壁b32，所述二号侧壁a21、一号侧壁a11和三号侧壁a31依次首尾相接形成一号侧栏，所述二号侧壁b22、一号侧壁b12和三号侧壁b32依次首尾相接形成二号侧栏，使碳化硅托盘整体形成槽状体。
[0029]优选的，所述一号耳板2与底板1的连接处设有三角板4，所述二号耳板3与底板1的连接处也设有三角板4，所述三角板4用于增强托盘整体性。
[0030]优选的，所述底板1的表面设有若干平行设置的加强筋13，所述加强筋13连接一号侧壁a11和一号侧壁b12。
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅托盘，其特征在于：为一体成型结构，包括底板、一号耳板和二号耳板，所述一号耳板垂直安装至底板的一端，所述二号耳板垂直安至底板的另一端形成U字型结构，所述底板的两侧分别设有一号侧壁a和一号侧壁b，所述一号耳板的两侧分别设有二号侧壁a和二号侧壁b，所述二号耳板的两侧分别设有三号侧壁a和三号侧壁b，所述二号侧壁a、一号侧壁a和三号侧壁a依次首尾相接形成一号侧栏，所述二号侧壁b、一号侧壁b和三号侧壁b依次首尾相接形成二号侧栏，使碳化硅托盘整体形成槽状体。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅托盘，其特征在于：所述一号耳板与底板的连接处设有三角板，所述二号耳板与底板的连接处也设有三角板，所述三角板用于增强托盘整体性。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅托盘，其特征在于：所述底板的表面设有若干平行设置的加强筋，所述加强筋连接一号侧壁a和一号侧壁b。4.根据权利要求3所述的一种碳化硅托盘，其特征在于：所述加强筋的数量为2个，分别设置在底板的2/4处和3/4处。5.根据权利要求1所述的一种碳化硅托盘，其特征在于：所述一号耳板和二号耳板的结构相同，所述一号耳板和二号耳板的表面均设有田字型的镂空。6.根据权利要求1所述的一种碳化硅托盘，其特征在于：所述底板的表面设有若干均匀分布的长条孔。7.根据权利要求1所述的一种碳化硅托盘，其特征在于：所述一号侧壁和二号侧壁结构相同，所述一...
【专利技术属性】
技术研发人员：严政先，孙希凯，石明，董建斌，东士博，谭永麟，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。