一种HFCVD用绕丝装置制造方法及图纸

技术编号:38413602 阅读:6 留言:0更新日期:2023-08-07 11:18
本实用新型专利技术提供一种HFCVD用绕丝装置,其特征在于,包括绕丝板、定位装置、卡紧装置、拉直装置;所述定位装置、卡紧装置、拉直装置设置于所述绕丝板上;所述定位装置包括第一定位机构、第二定位机构;所述第一定位机构与第二定位机构相对设置;所述第一定位机构包括若干等间距设置的第一定位件,所述第二定位机构包括若干等间距设置的第二定位件;所述绕丝板为不锈钢、铝塑板、UV板材质中的一种;所述绕丝板厚度为1

【技术实现步骤摘要】
一种HFCVD用绕丝装置


[0001]本技术涉及热丝气相沉积
,具体而言,涉及一种HFCVD用绕丝装置。

技术介绍

[0002]在HFCVD(热丝化学气相沉积)中,为了得到表面无裂纹、厚度均等和磨耗比高的优质膜片,温度至关重要;若温度不适合生长要求,则会在膜片的表面出现网裂,导致产品质量不合格;在对温度把控过程中,贵金属丝的设置是否符合要求起到至关重要的作用。
[0003]若贵金属丝长短各异或者贵金属丝松紧度不一致,均会导致金刚石膜片厚度不一致。目前,使用辅助工具将贵金属丝材料拉直,利用卡尺量取一定长度的贵金属丝再进行缠绕,容易出现整个贵金丝布局中各段贵金属丝长度不同现象,甚至贵金属丝材料在温度升高的过程中容易出现塌丝现象,使本次生产过程不能正常进行;同时此方法制作过程所需时间较长,步骤冗杂,对操作人员的操作要求较高,所浪费的贵金属丝也较多,严重增加生产成本,因此在此过程中如何简便设置贵金属材料(如钨丝、钽丝、钼丝和铼丝等),实现贵金属丝长度一致、间距相等、绷紧成度一致,是本领域的技术难题。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题,本技术的目的在于提供一种HFCVD用绕丝装置,通过所述HFCVD用绕丝装置包括绕丝板、定位装置、卡紧装置、拉直装置,实现了对贵金属丝进行缠绕,同时实现贵金属丝长度一致、间距相等、绷紧成度一致,且解决了贵金属丝在使用过程中出现塌丝的问题。
[0005]本技术提供了一种HFCVD用绕丝装置包括绕丝板、定位装置、卡紧装置、拉直装置;所述定位装置、卡紧装置、拉直装置设置于所述绕丝板上;所述定位装置包括第一定位机构、第二定位机构;
[0006]所述第一定位机构与第二定位机构相对设置;所述第一定位机构包括若干等间距设置的第一定位件,所述第二定位机构包括若干等间距设置的第二定位件;所述绕丝板为不锈钢、铝塑板、UV板材质中的一种;
[0007]所述绕丝板厚度为1

12mm;优选的,所述绕丝板材质为不锈钢板时,厚度为1

3mm,粗糙度要求Ra12.5

Ra25;绕丝板材质为铝塑板时,厚度为5

8mm,粗糙度Ra6.3

Ra12.5;绕丝板材质为UV板时,厚度为10

12mm,粗糙度Ra3.2

Ra6.3。
[0008]与现有技术相比,本技术具有以下有益效果:所述HFCVD用绕丝装置实现对ф0.1

1.5mm的贵金属丝进行按预设要求进行布置;
[0009]通过所述定位装置包括第一定位机构、第二定位机构;实现贵金属丝按预设布置要求缠绕在第一定位机构、第二定位机构之间,具体通过所述贵金属丝依次绕过第一定位件、第二定位件、第一定位件、第二定位件
……
进行缠绕;
[0010]通过所述卡紧装置实现对贵金属丝一端固定在所述卡紧装置上,然后对贵金属丝在定位装置上进行绕丝;通过所述拉直装置实现对缠绕在所述第一定位件、第二定位件之
间贵金属丝进行均匀拉直,从而实现各段贵金属丝绷紧程度一致,即避免了各段贵金属丝出现塌丝现象;
[0011]最终通过所述HFCVD用绕丝装置实现对贵金属丝进行按预设布局布置时操作简单,布置后各段贵金属丝长度一致、间距相等、绷紧程度一致,且在布置过程中不易出现贵金属丝损坏。
[0012]通过所述绕丝板厚度为1

12mm,实现ф0.1

1.5mm的贵金属丝进行按预设要求进行布置,同时避免了金属丝在定位装置上缠绕后进行拉直时,避免了绕丝板变形等问题。
[0013]进一步的,所述第一定位机构包括至少6个第一定位件;若干所述第一定位件按直线排列,所述相邻两个第一定位件之间的间距为5

7mm;
[0014]所述第二定位机构包括至少6个第二定位件;若干所述第二定位件按直线排列,所述相邻两个第二定位件之间的间距为5

7mm;
[0015]进一步的,所述第一定位机构与第二定位机构平行设置,所述第一定位机构与第二定位机构之间的距离为1

3mm。
[0016]采用上述进一步技术方案的有益效果在于,通过所述相邻两个第一定位件之间的距离为5

7mm,所述相邻两个第二定位件之间的距离为5

7mm,实现所述贵金属丝在第一定位件、第二定位件之间布置时,即避免了相邻的贵金属丝接触或距离较近容易出现贵金属丝在使用过程中容易损坏或者局部温度过高,又避免了距离较远导致温度不均匀。
[0017]进一步的,所述第一定位件外表面上设有第一限位部,所述第一限位部包括至少一个第一限位槽,所述第一限位槽的深度为0.35

0.5mm;
[0018]所述第二定位件外表面上设有第二限位部,所述第二限位部包括至少一个第二限位槽,所述第二限位槽的深度为0.35

0.5mm。
[0019]采用上述进一步技术方案的有益效果在于,通过所述第一限位槽位于第一定位件表面,所述第一限位槽的深度为0.35

0.5mm;实现对缠绕在第一定位件上的贵金属丝进行位置限定,避免其贵金属丝在收紧过程中位置出现变化;通过所述第一限位部包括至少一个第一限位槽,实现在一个第一定位件上缠绕多层贵金属丝,从而可以实现对第一定位机构、第二定位机构之间区域的温度高低根据需要进行控制。
[0020]进一步的,所述第一限位槽包括第一限位槽A部和位于第一限位槽A部两端的第一限位槽B部,所述第一限位槽A部宽度小于第一限位槽B部宽度;
[0021]所述第二限位槽包括第二限位槽A部和位于第一限位槽A部两端的第二限位槽B部,所述第二限位槽A部宽度小于第二限位槽B部宽度;所述第一限位槽B部与所述第二限位槽B部相对设置;
[0022]优选的,所述第一限位槽A部宽度为0.35

0.5mm,所述第一限位槽B部宽度为0.5

0.8mm;所述第二限位槽A部宽度为0.35

0.5mm,所述第二限位槽B部宽度为0.5

0.8mm。
[0023]采用上述进一步技术方案的有益效果在于,通过所述第一限位槽A部宽度小于第一限位槽B部宽度;即实现了贵金属丝在第一限位槽A部进行限位,同时避免了在实现纤维前提下,由于贵金属在缠绕、收紧过程中上下摆动导致在第一限位槽B部附近的槽壁进行摩擦,导致贵金属丝容易出现损坏。
[0024]进一步的,所述第一定位件高度为1

6mm;第一定位件表面相邻两个第一限位槽平行设置,同一第一定位件上的第一限位槽为若干个等间距设置的第一限位槽,相邻第一限
位槽平行设置,相邻第一限位槽之间的间距为1

1.5mm;
[0025]本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种HFCVD用绕丝装置,其特征在于,包括绕丝板、定位装置、卡紧装置、拉直装置;所述定位装置、卡紧装置、拉直装置设置于所述绕丝板上;所述定位装置包括第一定位机构、第二定位机构;所述第一定位机构与第二定位机构相对设置;所述第一定位机构包括若干等间距设置的第一定位件,所述第二定位机构包括若干等间距设置的第二定位件;所述绕丝板为不锈钢、铝塑板、UV板材质中的一种;所述绕丝板厚度为1

12mm。2.根据权利要求1所述的HFCVD用绕丝装置,其特征在于,所述第一定位机构包括至少6个第一定位件;若干所述第一定位件按直线排列,相邻两个第一定位件之间的间距为5

7mm;所述第二定位机构包括至少6个第二定位件;若干所述第二定位件按直线排列,所述相邻两个第二定位件之间的间距为5

7mm。3.根据权利要求2所述的HFCVD用绕丝装置,其特征在于,所述第一定位机构与第二定位机构平行设置,所述第一定位机构与第二定位机构之间的距离为1

3mm。4.根据权利要求1所述的HFCVD用绕丝装置,其特征在于,所述第一定位件外表面上设有第一限位部,所述第一限位部包括至少一个第一限位槽,所述第一限位槽的深度为0.35

0.5mm;所述第二定位件外表面上设有第二限位部,所述第二限位部包括至少一个第二限位槽,所述第二限位槽的深度为0.35

0.5mm。5.根据权利要求4所述的HFCVD用绕丝装置,其特征在于,所述第一限位槽包括第一限位槽A部和位于第一限位槽A部两端的第一限位槽B部,所述第一限位槽A部宽度小于第一限位槽B部宽度;所述第二限位槽包括第二限位槽A部和位于第二限位槽A部两端的第二限位槽B部,所述第二限位槽A部宽度小于第二限位槽B部宽度;所述第一限位槽B部与所述第二限位槽B部相对设置。6.根据权利要求5所述的HFCVD用绕丝装置,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:张敬群王玉宝赵小玻张哲曹延新刘明昭王晓玲李治中张鑫维潘信君
申请(专利权)人:中材人工晶体研究院山东有限公司
类型:新型
国别省市:

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