一种定心对准机构制造技术

本申请提供一种定心对准机构，包括基座，基座上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽；中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆进行支撑和旋转驱动；导向槽绕中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆；定位杆的轴线方向与第一方向平行，滑动方向与导向槽的延伸方向平行；基座的底部对应定位杆设有驱动机构，用于同步驱动所有定位杆相对导向槽进行滑动；基座的顶部设有缺口检测机构，用于检测晶圆上的缺口。根据本申请实施例提供的技术方案，通过在中心孔的外圈设置定位杆，利用定位杆同步移动的动作可以有效对晶圆进行定心；同时，通过在中心孔内设置既能升降又能旋转的转动机构，延伸功能可确保晶圆只与旋转机构接触。旋转机构接触。旋转机构接触。

【技术实现步骤摘要】
一种定心对准机构


[0001]本申请涉及半导体设备
，具体涉及一种定心对准机构。

技术介绍

[0002]目前，在晶片的生产过程中，对圆心的定位是一个重要的环节；实现圆心定位的方法目前比较好的一种是光学的，此方法多是利用CCD相机的辅助，加上软件工程师大量的运算，找到晶圆片的中心和缺口的方向。
[0003]但是，该方法对软件开发人员的知识水平要求高，投入的精力大；且更要借助高清相机及相机的算法，成本特别的高；维修保养难度大，受用的企业有限；因此，如何进行低成本的对圆心进行定位的问题亟待进行解决。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种定心对准机构。
[0005]本申请提供一种定心对准机构，包括
[0006]基座，所述基座上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽；
[0007]所述中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆进行支撑和旋转驱动；
[0008]所述导向槽绕所述中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆；
[0009]所述定位杆的轴线方向与所述第一方向平行，滑动方向与所述导向槽的延伸方向平行；
[0010]所述基座的底部对应所述定位杆设有驱动机构，用于同步驱动所有所述定位杆相对所述导向槽进行滑动；
[0011]所述基座的顶部设有缺口检测机构，用于检测所述晶圆上的缺口。
[0012]进一步的，
[0013]所述转动机构包括旋转电机，所述旋转电机可升降安装在所述基座上，输出端安装有对接头；
[0014]所述对接头位于所述中心孔内，截面与所述中心孔的截面相匹配，端部设有真空槽，用于对所述晶圆进行吸附。
[0015]进一步的，
[0016]所述基座的底部设有与所述中心孔同轴的安装套；
[0017]所述安装套上对应所述旋转电机设有安装板；
[0018]所述安装板上沿所述第一方向设有滑轨；
[0019]所述旋转电机通过匹配的滑块与所述滑轨连接。
[0020]进一步的，
[0021]所述安装板上还安装有升降电机；
[0022]所述升降电机的轴线方向与所述第一方向平行，输出端安装有驱动丝杆；
[0023]所述旋转电机上对应所述驱动丝杆设有对接块，且通过对接块与所述驱动丝杆螺
纹连接。
[0024]进一步的，
[0025]所述旋转电机远离所述对接头的一端还安装有真空管接头；
[0026]所述真空管接头与真空槽连接。
[0027]进一步的，
[0028]所述驱动机构包括驱动盘，所述驱动盘可转动安装在所述基座上，对应所述定位杆设有匹配的驱动槽；
[0029]所述驱动槽呈弧形，用于驱动所述定位杆相对所述导向槽进行滑动。
[0030]进一步的，
[0031]所述基座的底部还设有定心电机，所述定心电机与驱动盘之间通过同步带连接；
[0032]所述基座上对应所述同步带设有松紧调节机构；
[0033]所述松紧调节机构包括与所述同步带抵接的调节导轨；
[0034]所述调节导轨可滑动安装在所述基座上，远离所述同步带的一端与定心完成传感器连接。
[0035]进一步的，
[0036]所述调节导轨还与调节螺栓连接；
[0037]所述调节螺栓位于所述同步带远离所述调节导轨的一侧，与所述调节导轨之间通过拉簧连接。
[0038]进一步的，
[0039]所述缺口检测机构包括对射式缺口检测传感器，所述对射式缺口检测传感器一端安装在所述基座上，一端安装在安装座上；
[0040]所述安装座呈倒L型，固定安装在所述基座上。
[0041]进一步的，
[0042]所述基座的底部对应所述定位杆还设有安装盘；
[0043]所述安装盘上对应所述导向槽设有滑槽；
[0044]所述滑槽的宽度相对大于所述导向槽的宽度，且内部设有与所述定位杆连接的限位滑块；
[0045]所述限位滑块的厚度与所述滑槽的深度相同，一端抵在所述基座上，一端通过盖板限位。
[0046]本申请具有的优点和积极效果是：
[0047]本技术方案通过在中心孔的外圈设置定位杆，利用定位杆同步移动的动作可以有效对晶圆进行定心；同时，通过在中心孔内设置既能升降又能旋转的转动机构，延伸功能可确保晶圆只与旋转机构接触，避免同时与基座接触从而发生剐蹭；旋转动能则是可以对晶圆的角度进行调节，从而确保晶圆在定心完成后的输出位置统一。
附图说明
[0048]图1为本申请实施例提供的定心对准机构的结构示意图；
[0049]图2为本申请实施例提供的定心对准机构的底部的结构示意图；
[0050]图3为本申请实施例提供的定心对准机构的安装盘的结构示意图；
[0051]图4为本申请实施例提供的定心对准机构的对接头的结构示意图。
[0052]图中所述文字标注表示为：100－基座；110－导向槽；111－定位杆；120－安装套；121－安装板；122－滑轨；130－安装盘；131－滑槽；132－限位滑块；200－晶圆；300－旋转电机；301－滑块；302－真空管接头；310－对接头；311－真空槽；320－升降电机；400－驱动盘；410－驱动槽；420－定心电机；430－同步带；440－调节导轨；441－调节螺栓；442－拉簧；450－定心完成传感器；500－对射式缺口检测传感器；510－安装座。
具体实施方式
[0053]为了使本领域技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图对本申请进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本申请的保护范围有任何的限制作用。
[0054]请参考图1－4，本实施例提供一种定心对准机构，包括基座100，基座100上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽110；中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆200进行支撑和旋转驱动；导向槽110绕中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆111；定位杆111的轴线方向与第一方向平行，滑动方向与导向槽110的延伸方向平行；基座100的底部对应定位杆111设有驱动机构，用于同步驱动所有定位杆111相对导向槽110进行滑动；基座100的顶部设有缺口检测机构，用于检测晶圆200上的缺口。
[0055]本实施例中，转动机构不仅可以相对基座100进行转动，还能相对基座100进行升降，当晶圆200通过机械后输入后，转动机构会先进行延伸，与晶圆200对接并固定，然后机械手在断开与晶圆200的连接并离开；同时，转动机构也会进行收缩，将晶圆200放置在基座100上并断开连接；此时，所有定位杆111同步向中心孔移动便可有效对晶圆200进行定心。
[0056]本实施例中，定位杆111对晶圆200完成定心后，便会自动复位，同时，转动机构也会再次延伸，将晶圆200顶升后转动到角度后输出，从而形成一个完本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定心对准机构，其特征在于，包括基座(100)，所述基座(100)上沿第一方向设有中心孔，沿中心孔的径向方向设有导向槽(110)；所述中心孔内可升降安装有转动机构，用于对晶圆(200)进行支撑和旋转驱动；所述导向槽(110)绕所述中心孔均匀排布，内部设有可相对滑动的定位杆(111)；所述定位杆(111)的轴线方向与所述第一方向平行，滑动方向与所述导向槽(110)的延伸方向平行；所述基座(100)的底部对应所述定位杆(111)设有驱动机构，用于同步驱动所有所述定位杆(111)相对所述导向槽(110)进行滑动；所述基座(100)的顶部设有缺口检测机构，用于检测所述晶圆(200)上的缺口。2.在根据权利要求1所述的定心对准机构，其特征在于，所述转动机构包括旋转电机(300)，所述旋转电机(300)可升降安装在所述基座(100)上，输出端安装有对接头(310)；所述对接头(310)位于所述中心孔内，截面与所述中心孔的截面相匹配，端部设有真空槽(311)，用于对所述晶圆(200)进行吸附。3.在根据权利要求2所述的定心对准机构，其特征在于，所述基座(100)的底部设有与所述中心孔同轴的安装套(120)；所述安装套(120)上对应所述旋转电机(300)设有安装板(121)；所述安装板(121)上沿所述第一方向设有滑轨(122)；所述旋转电机(300)通过匹配的滑块(301)与所述滑轨(122)连接。4.在根据权利要求3所述的定心对准机构，其特征在于，所述安装板(121)上还安装有升降电机(320)；所述升降电机(320)的轴线方向与所述第一方向平行，输出端安装有驱动丝杆；所述旋转电机(300)上对应所述驱动丝杆设有对接块，且通过对接块与所述驱动丝杆螺纹连接。5.在根据权利要求2所述的定心对准机构，其特征在于，所述旋转电机(300)远离所述对接头(310)的一端还安装有真空管接头(302)；所述真空管接头(302)与真空槽(311...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈义，
申请(专利权)人：北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：