薄膜式铂电阻温度传感器制造技术

本申请揭示一种薄膜式铂电阻温度传感器，包括：基底，包括第一表面以及相对设置的第二表面；铂导电线路，所述铂导电线路设于所述基底的第一表面，所述铂导电线路至少包括第一铂导电线路以及第二铂导电线路，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在所述基底表面延伸设置，且垂直于所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路延伸方向的截面以并列电性连接方式实现第一铂导电线路与所述第二铂导电线路的并联；所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在相同的温度下电阻率不同。本申请提供的温度传感器，在同一温度下通过至少两种电阻率的导电材料电性连接构成完整的铂导线线路，以此达到所述铂电阻随着时间或者温度变化测温具有重现性和稳定性。温具有重现性和稳定性。温具有重现性和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
薄膜式铂电阻温度传感器


[0001]本申请涉及温度传感器
，尤其涉及一种薄膜式铂电阻温度传感器。

技术介绍

[0002]温度是表征物体冷热程度的物理量,它可以通过物体随温度变化的某些特性（如电阻、电压变化等特性）来间接测量。金属铂(Pt)的电阻值随温度变化而变化,并且具有很好的重现性和稳定性，利用铂的此种物理特性制成的传感器称为铂温度传感器，铂电阻的金属微观结构的特性使之随温度变化相对比较稳定，通常使用的铂电阻温度传感器的金属微观特性随着温度变化的参数为0.003851。
[0003]但是现有技术中在某一些特定场景，金属微观特性随着温度变化的参数并不稳定，不能达到随着时间或者温度变化而具有重现性和稳定性。本申请将提供了一种金属微观特性参数的调整方式，使之能够具有重现性和稳定性，可以使得铂温度传感器的金属微观特性参数调控成目标值。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要提供一种薄膜式铂电阻温度传感器以解决上述的技术问题。
[0005]本申请一个技术方案是：
[0006]一种薄膜式铂电阻温度传感器，其特征在于，包括：
[0007]基底，所述基底包括第一表面以及相对设置的第二表面；
[0008]铂导电线路，所述铂导电线路设于所述基底的第一表面，所述铂导电线路至少包括第一铂导电线路以及第二铂导电线路，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在所述基底表面延伸设置，且垂直于所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路延伸方向的截面以并列电性连接方式实现第一铂导电线路与所述第二铂导电线路的并联；其中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在相同的温度下电阻率不同。
[0009]在其中一实施例中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路通过叠加的方式设置。
[0010]在其中一实施例中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路通过并列的方式设置。
[0011]在其中一实施例中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路凸设于所述基底的第一表面。
[0012]在其中一实施例中，所述基底的第一表面设有凹槽，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路设于所述凹槽中。
[0013]在其中一实施例中，还设有导电连接块，所述导电连接块位于所述基底第一表面，所述导电连接块与所述铂导电线路电性连接。
[0014]在其中一实施例中，还设有保护层，所述保护层位于所述基底的第一表面，且所述保护层覆盖所述铂导电线路。
[0015]在其中一实施例中，所述铂导电线路的宽度为1μm~50μm，厚度为0.5μm~30μm。
[0016]在其中一实施例中，所述导电连接块凸设于所述基底第一表面；或者所述导电连接块嵌设于所述基底第一表面。
[0017]在其中一实施例中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路至少存在部分重叠。
[0018]本申请的有益效果：本申请提供的一种薄膜式铂电阻温度传感器，在同一温度下通过至少两种电阻率的导电材料电性连接构成完整的铂导线线路，以此达到所述铂电阻随着时间或者温度变化测温具有重现性和稳定性，使的温度传感器在制备的过程中可以更加容易控制测温的稳定性。
附图说明
[0019]图1为本申请一种薄膜式铂电阻温度传感器平面结构示意图；
[0020]图2为本申请一种薄膜式铂电阻温度传感器截面结构示意图；
[0021]图3为本申请一种薄膜式铂电阻温度传感器截面另一结构示意图；
[0022]图4为本申请一种薄膜式铂电阻温度传感器截面另一结构示意图；
[0023]图5为本申请一种薄膜式铂电阻温度传感器截面另一结构示意图；
[0024]图6为本申请一种薄膜式铂电阻温度传感器截面另一结构示意图。
具体实施方式
[0025]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以通过许多不同的形式来实现，并不限于下面所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
[0026]需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0027]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]一种薄膜式铂电阻温度传感器，其主要用于温度参数的采集，广泛用于空气、土壤以及水温测量等领域，在电子、机床、治金、石油、化工等领域也有一定应用，主要因为所述铂电阻温度传感器的长期稳定性以及高精度等特征，所述铂电阻温度传感器包括：
[0029]基底，所述基底包括第一表面以及相对设置的第二表面；所述基底至少可耐高温100℃，使的所述基底在100℃以上的工作环境中还能继续工作，不影响器件的性能，可承受的最低温度至少为
‑
100℃；所述基底可以为玻璃、陶瓷、硅片、微晶玻璃等可以耐高温的材料，同样还可以耐低温的材料；
[0030]铂导电线路，所述铂导电线路设于所述基底的第一表面，所述铂导电线路至少包
括第一铂导电线路以及第二铂导电线路，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路电连接，其中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在相同的温度下电阻率不同；所述第一铂导电线路以及第二铂导电线路可以通过印刷或者喷墨打印的方式形成于所述基底的第一表面，然后再通过高温烧结形成铂导电线路，此时，相当于将铂导电金属制成导电浆料或者导电墨水的形式，这样就可以通过丝印或者喷墨打印的方式制备；在其他实施例中，第一铂导电线路以及第二铂导电线路还可以通过溅射、蒸镀或者化学沉积的方式形成于基底表面；或者丝印、喷墨打印可以与溅射、蒸镀或者化学沉积结合使用，目的就是获得更好的稳定以及具有重现性的温度传感器。
[0031]在其中一实施例中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路叠加设置或者并列设置，此时相当于两个不同材料或者不同电阻率的导电线路并联，即所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在所述基底表面延伸设置，且垂直于所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路延伸方向的截面以并列电性连接方式实现第一铂导电线路与所述第二铂导电线路的并联；或者所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路串联设置；在一些实施例中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路可以是混联，即一个温度传感器中铂导电线路既有并联也有串联。
[0032] 在其中一实施例中，当所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路上下设置或者并列设置（即其截面在基底本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜式铂电阻温度传感器，其特征在于，包括：基底，所述基底包括第一表面以及相对设置的第二表面；铂导电线路，所述铂导电线路设于所述基底的第一表面，所述铂导电线路至少包括第一铂导电线路以及第二铂导电线路，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在所述基底表面延伸设置，且垂直于所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路延伸方向的截面以并列电性连接方式实现第一铂导电线路与所述第二铂导电线路的并联；其中，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路在相同的温度下电阻率不同。2.根据权利要求1所述的一种薄膜式铂电阻温度传感器，其特征在于，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路通过叠加的方式设置。3.根据权利要求1所述的一种薄膜式铂电阻温度传感器，其特征在于，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路通过并列的方式设置。4.根据权利要求2或3所述的一种薄膜式铂电阻温度传感器，其特征在于，所述第一铂导电线路与所述第二铂导电线路凸设于所述基底的第一表面。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李绪亮，张克栋，张雨，邱圆，贾小敏，赵冬冬，何显能，周健，
申请(专利权)人：苏州纳格传感技术有限公司，
类型：新型
国别省市：