一种新型一体式真空腔体结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一体式真空腔体结构技术领域，尤其是一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体和竖管，所述竖管的左右两侧下方分别固接有支架，所述支架的内壁连接有固定结构，所述竖管的外壁底部固接有圆环，所述阀体的左侧连通有外壳，通过固定结构中螺杆通过支架向外侧转动，进而带动滑块向外侧移动，移动的滑块带动圆杆在斜槽的内壁进行滑动，从而使竖板向上移动，移动的竖板带动底部的夹板与插接外界管道的圆环抵紧抵紧，从而使竖管与外界管道的连接，改变多个螺栓固定形式，便于一体式真空腔体结构安装，方便操作，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型一体式真空腔体结构


[0001]本技术涉及新型一体式真空腔体结构
，具体为一种新型一体式真空腔体结构。

技术介绍

[0002]一体式真空腔体结构是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变，这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。
[0003]例如授权公告号为“CN215163064U”的一种一体式真空腔体结构，通过法兰将主阀与冷泵装置连接，所述主腔体、主阀和法兰是一体式的，主阀包括连接部和主阀部，连接部与主阀部均为中空的结构并且连接部与主阀部相通，连接部的左侧面与主腔体的排气通口相对应的位置一体式连接，连接部的右侧面与主阀部连接，所述连接部的横截面为梯形，所述连接部的左侧面的高度大于右侧面的高度，但是在一体式真空腔体结构使用中，虽然法兰和阀体成为了一体式，但是依旧采用法兰与外界管道进行固定，法兰在固定时需要配合多个螺栓进行固定，这就需要逐一将螺栓进行旋拧完成一体式真空腔体结构的安装，浪费时间，导致一体式真空腔体结构安装繁琐，不便于操作，降低了工作效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决导致一体式真空腔体结构安装繁琐，不便于操作，降低了工作效率的问题，而提出的一种新型一体式真空腔体结构。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]设计一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体和竖管，所述竖管的左右两侧下方分别固接有支架，所述支架的内壁连接有固定结构，所述竖管的外壁底部固接有圆环，所述阀体的左侧连通有外壳。
[0007]优选的，所述固定结构包括竖板和斜槽，所述竖板的外壁上方与支架的内壁滑动卡接，所述竖板的前后两侧分别技工有斜槽，所述斜槽的内壁滑动卡接有圆杆，所述圆杆的内侧固接有滑块，所述滑块的外侧转动连接有螺杆，所述螺杆的外壁与支架的内壁螺纹连接，所述竖板的底部固接有夹板。
[0008]优选的，所述螺杆的外侧固接有握把。
[0009]优选的，所述阀体的底部与竖管的顶部相连通。
[0010]优选的，所述外壳的内壁左侧连通有冷却管。
[0011]优选的，所述外壳的顶部圆口插接有活塞。
[0012]本技术提出的一种新型一体式真空腔体结构，有益效果是：通过固定结构中螺杆通过支架向外侧转动，进而带动滑块向外侧移动，移动的滑块带动圆杆在斜槽的内壁进行滑动，从而使竖板向上移动，移动的竖板带动底部的夹板与插接外界管道的圆环抵紧，从而使竖管与外界管道的连接，改变多个螺栓固定形式，便于一体式真空腔体结构安装，方便操作，提高了工作效率。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图；
[0014]图2为图1中竖板、斜槽和圆杆的连接关系结构示意图；
[0015]图3为图2中圆杆和滑块的连接关系结构示意图；
[0016]图4为图1中外壳、冷却管和支撑板的连接关系结构示意图。
[0017]图中：1、阀体，2、固定结构，201、竖板，202、斜槽，203、圆杆，204、滑块，205、螺杆，3、竖管，4、外壳，5、支架，6、圆环，7、活塞，8、握把，9、冷却管，10、支撑板。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术作进一步说明：
[0019]实施例1：
[0020]请参阅图1
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4：本实施例中，一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体1和竖管3，阀体1为单向阀如何操作使用已是现有技术，型号根据使用需求进行选取，竖管3的左右两侧下方分别固接有支架5，支架5的内壁连接有固定结构2，竖管3的外壁底部固接有圆环6，阀体1的左侧连通有外壳4。
[0021]固定结构2包括竖板201和斜槽202，竖板201的外壁上方与支架5的内壁滑动卡接，竖板201受力通过支架5的内壁上下滑动，竖板201的前后两侧分别技工有斜槽202，斜槽202的内壁滑动卡接有圆杆203，圆杆203受力通过斜槽202内壁进行轨迹滑动，圆杆203的内侧固接有滑块204，滑块204的外侧转动连接有螺杆205，螺杆205内侧受力通过滑块204外侧轴承进行转动，螺杆205的外壁与支架5的内壁螺纹连接，竖板201的底部固接有夹板，螺杆205的外侧固接有握把8，握把8便于带动螺杆205左右转动；
[0022]通过固定结构2中螺杆205通过支架4向外侧转动，进而带动滑块204向外侧移动，移动的滑块204带动圆杆203在斜槽202的内壁进行滑动，从而使竖板201向上移动，移动的竖板201带动底部的夹板与插接外界管道的圆环抵紧，从而使竖管3与外界管道的连接，改变多个螺栓固定形式，便于一体式真空腔体结构安装，方便操作，提高了工作效率。
[0023]阀体1的底部与竖管3的顶部相连通，外壳4的内壁左侧连通有冷却管9，外壳4的顶部圆口插接有活塞7，活塞7材质为橡胶。
[0024]工作原理：
[0025]在使用该结构时，先使外界管道与竖管3插接，同时外界管道的圆环与圆环6的底部相抵紧，这时配合握把8带动螺杆205通过支架5向外侧转动，进而带动滑块204向外侧移动，移动的滑块204带动圆杆203在斜槽202的内壁进行滑动，从而使竖板201向上移动，移动的竖板201带动底部的夹板与插接外界管道的圆环抵紧，从而使竖管3与外界管道的连接，然后外界管道将气体送入竖管3中，同时阀体1打开使气体进入外壳4的内部，这时外壳4内部的冷却管9对进入的气体进行降温，气体排出外壳4时，使活塞7向上拉动脱离外壳4的顶部，随后气体排出。
[0026]实施例2：
[0027]请参阅图1
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4：本实施例中，一种新型一体式真空腔体结构，还包括支撑板10，支撑板10的底部与外壳4的内壁底部相固接，支撑板10的内壁与冷却管9的外壁相固接。
[0028]工作原理：
[0029]在气体进入外壳4和排出外壳4时，外壳4内部的气压会发生变化，会对冷却管9造成晃动，这时支撑板10会对冷却管9进行支撑，保证冷却管10的稳定性。
[0030]虽然本技术已通过参考优选的实施例进行了图示和描述，但是，本专业普通技术人员应当了解，在权利要求书的范围内，可作形式和细节上的各种各样变化。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型一体式真空腔体结构，包括阀体(1)和竖管(3)，其特征在于：所述竖管(3)的左右两侧下方分别固接有支架(5)，所述支架(5)的内壁连接有固定结构(2)，所述竖管(3)的外壁底部固接有圆环(6)，所述阀体(1)的左侧连通有外壳(4)。2.根据权利要求1所述的一种新型一体式真空腔体结构，其特征在于：所述固定结构(2)包括竖板(201)和斜槽(202)，所述竖板(201)的外壁上方与支架(5)的内壁滑动卡接，所述竖板(201)的前后两侧分别技工有斜槽(202)，所述斜槽(202)的内壁滑动卡接有圆杆(203)，所述圆杆(203)的内侧固接有滑块(204)，所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁吉思，朱波，
申请(专利权)人：巴托真空科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：