基板清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板清洗装置，涉及显示面板制造技术领域。基板清洗装置包括清洗箱、基板运送机构、喷淋机构和可视窗清洁机构，清洗箱上设有可视窗，基板运送机构和喷淋机构均设于清洗箱内，基板运送机构设于可视窗和喷淋机构之间，待清洗基板通过基板运送机构运送至喷淋机构的上方，喷淋机构对待清洗基板进行喷射清洗。可视窗清洁机构包括清洁组件，清洁组件设于可视窗的下方，能自可视窗的一端移动至另一端，以清洁可视窗。当可视窗聚集大量水珠或水汽后，清洁组件自可视窗的一端移动至另一端，清洁可视窗上的水珠或水汽，以便于通过可视窗观察基板的传送情况，当基板的传送发生异常时及时处理，避免基板或设备损坏。避免基板或设备损坏。避免基板或设备损坏。

【技术实现步骤摘要】
基板清洗装置


[0001]本技术涉及显示面板制造
，尤其涉及一种基板清洗装置。

技术介绍

[0002]在液晶显示面板制造过程中，经常会使用大量的药液和水对玻璃基板进行喷淋冲刷，期间会产生大量的水汽，尤其对于有喷淋机构的高压冲洗，会使得清洗箱的可视窗上聚集很多水汽，导致无法通过可视窗观察清洗箱内的基板传送情况，不便于对基板的传送异常及时进行处理，造成基板或设备损坏。
[0003]现有技术中通常通过用力拍打可视窗，使得水珠掉落，或者将可视窗拆下用无尘布进行擦拭。这样清洁水汽的方式极不便利，而且效果不佳。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种基板清洗装置，便于对可视窗上的水珠或水汽进行有效清洁，从而能够及时处理基板的传送异常，避免基板和设备损坏。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]基板清洗装置，包括清洗箱，其上设有可视窗；所述基板清洗装置还包括：
[0007]基板运送机构和喷淋机构，均设于所述清洗箱内，所述基板运送机构设于所述可视窗和所述喷淋机构之间，待清洗基板通过所述基板运送机构运送至所述喷淋机构的上方，所述喷淋机构对所述待清洗基板进行喷射清洗；
[0008]可视窗清洁机构，包括清洁组件，所述清洁组件设于所述可视窗的下方，能自所述可视窗的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗。
[0009]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述清洗箱的内壁上设置有导轨，所述导轨设置有两个，两个所述导轨分别设置于所述可视窗的相对两侧；r/>[0010]所述清洁组件包括雨刮器，所述雨刮器通过底座固定，所述底座的下方设有滚轮，所述滚轮与所述导轨配合，以使所述雨刮器自所述可视窗的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗。
[0011]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述清洁组件还包括吹气部件，所述吹气部件能对所述雨刮器清洁后的所述可视窗进行吹气干燥。
[0012]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述雨刮器为橡胶雨刮器，所述吹气部件包括狭缝式风刀和高压气体管路，所述狭缝式风刀设于所述橡胶雨刮器的一侧，所述狭缝式风刀包括狭缝部，所述高压气体管路的出气口与所述狭缝部的进风口连接，所述狭缝部的出风口正对所述可视窗设置，压缩干燥空气通过所述高压气体管路进入所述狭缝部，以对所述可视窗吹气干燥。
[0013]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述狭缝部的进风口设置有凹槽，所述凹槽的横截面为圆形，所述高压气体管路的出气口与圆形的所述凹槽连接。
[0014]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述凹槽的直径大于所述狭缝部的宽度，所
述狭缝部的出气口与所述可视窗之间留有预设间距。
[0015]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述雨刮器为海绵雨刮器，所述底座包括容纳腔、压缩干燥空气的接入口和多个出气孔，所述容纳腔设于所述底座内，所述底座与所述海绵雨刮器连接的侧面均匀布设有多个出气孔，所述压缩干燥空气的接入口设于所述底座的另一侧面，所述压缩干燥空气的接入口和多个所述出气孔均与所述容纳腔连通；
[0016]所述吹气部件包括高压气体管路，所述高压气体管路与所述压缩干燥空气的接入口连接。
[0017]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述可视窗清洁机构还包括管路引导组件，所述管路引导组件包括引导绳和引导环，所述引导绳设于所述可视窗的一侧，并沿所述雨刮器的移动方向延伸，所述引导环设有多个，多个所述引导环均可移动地设于所述引导绳，所述高压气体管路依次穿过多个所述引导环与所述吹气部件连接。
[0018]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述滚轮内设防水电机，所述防水电机与所述滚轮传动连接。
[0019]作为基板清洗装置的一个可选方案，所述底座由金属或磁铁制成；所述清洗箱的外壁对应所述底座设有磁铁滑块，移动所述磁铁滑块，能带动所述滚轮同步移动。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术提供的基板清洗装置，清洗箱内设有基板运送机构和喷淋机构，待清洗基板通过基板运送机构运送至喷淋机构的上方，喷淋机构对待清洗基板进行喷射清洗。清洗箱上设有可视窗，基板运送机构设于可视窗和喷淋机构之间，通过可视窗观察清洗箱内的基板运送机构是否异常。喷淋机构对待清洗基板进行高压冲洗，可视窗上容易聚集水珠或水汽。通过设置可视窗清洁机构，可视窗清洁机构包括清洁组件，清洁组件设于可视窗的下方，当可视窗聚集大量水珠或水汽后，清洁组件自可视窗的一端移动至另一端，以清洁可视窗上的水珠或水汽，以便于通过可视窗观察基板的传送情况，当基板的传送发生异常时及时处理，避免基板或设备损坏。该基板清洗装置，通过清洁组件能够对可视窗进行清洁，清洁方式简单便捷，而且清洁效果好。
附图说明
[0022]图1是本技术具体实施方式提供的基板清洗装置的滚轮通过电机驱动的结构示意图；
[0023]图2是本技术具体实施方式提供的基板清洗装置的滚轮通过磁铁滑块驱动的结构示意图；
[0024]图3是本技术具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构的俯视图；
[0025]图4是本技术具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构沿清洁组件移动方向的侧视图；
[0026]图5是本技术具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构沿垂直于清洁组件移动方向的侧视图；
[0027]图6是本技术具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的俯视图；
[0028]图7是本技术具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构沿清洁组件移动方向的侧视图；
[0029]图8是本技术具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的清洁组件的结构示意图；
[0030]图9是本技术具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的高压气体管路随清洁组件移动过程中的高压气体管路的状态示意图；
[0031]图10是本技术具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的高压气体管路随清洁组件移动至可视窗的另一端的高压气体管路的状态示意图；
[0032]图11是本技术具体实施方式提供的第三种可视窗清洁机构的底座上出气孔的分布示意图；
[0033]图12是本技术具体实施方式提供的第三种可视窗清洁机构的底座和海绵雨刮器的侧视图。
[0034]图中：
[0035]1、清洗箱；2、喷淋机构；3、雨刮器；4、导轨；5、底座；6、滚轮；7、狭缝式风刀；8、高压气体管路；9、管路引导组件；10、磁铁滑块；11、可视窗；31、橡胶雨刮器；32、海绵雨刮器；51、压缩干燥空气的接入口；52、出气孔；71、狭缝部；91、引导绳；92、引导环。
具体实施方式
[0036]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0037]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基板清洗装置，包括清洗箱(1)，其上设有可视窗(11)；其特征在于，所述基板清洗装置还包括：基板运送机构和喷淋机构(2)，均设于所述清洗箱(1)内，所述基板运送机构设于所述可视窗(11)和所述喷淋机构(2)之间，待清洗基板通过所述基板运送机构运送至所述喷淋机构(2)的上方，所述喷淋机构(2)对所述待清洗基板进行喷射清洗；可视窗清洁机构，包括清洁组件，所述清洁组件设于所述可视窗(11)的下方，能自所述可视窗(11)的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗(11)。2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述清洗箱(1)的内壁上设置有导轨(4)，所述导轨(4)设置有两个，两个所述导轨(4)分别设置于所述可视窗(11)的相对两侧；所述清洁组件包括雨刮器(3)，所述雨刮器(3)通过底座(5)固定，所述底座(5)的下方设有滚轮(6)，所述滚轮(6)与所述导轨(4)配合，以使所述雨刮器(3)自所述可视窗(11)的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗(11)。3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述清洁组件还包括吹气部件，所述吹气部件能对所述雨刮器(3)清洁后的所述可视窗(11)进行吹气干燥。4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述雨刮器(3)为橡胶雨刮器(31)，所述吹气部件包括狭缝式风刀(7)和高压气体管路(8)，所述狭缝式风刀(7)设于所述橡胶雨刮器(31)的一侧，所述狭缝式风刀(7)包括狭缝部(71)，所述高压气体管路(8)的出气口与所述狭缝部(71)的进风口连接，所述狭缝部(71)的出风口正对所述可视窗(11)设置，压缩干燥空气通过所述高压气体管路(8)进入所述狭缝部(71)，以对所述可视窗(11)吹气干燥。5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪杰，杨莉，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：